スライド タイトルなし - イビデンエンジニアリング

(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
報告書No.*******
*****御中
**年**月**日
分析測定結果報告書
件名:(例)電子基板上の付着異物の成分分析
(ご依頼日:**年**月**日)
測定方法:フーリエ変換赤外分光光度法(FT-IR)
測定機器:*******
解析ソフト:KnowItAll Informatics System
【試料名】
・基板付着異物
イビデンエンジニアリング株式会社
環境技術事業部 アナリティカルソリューションG
〒503-0973 岐阜県大垣市木戸町1122番地
TEL 0584-75-3238
FAX 0584-75-3239
承認:** **
担当:** **
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.1
目次
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
P.3
分析目的・結論・コメント
P.4
試料写真・測定方法・解析条件
P.5
「基板付着異物」のデータベース検索結果
P.6
「基板付着異物」のFT-IRスペクトル
P.7
【参考資料】「アクリル樹脂」のFT-IRスペクトル
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.2
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
分析目的・結論・コメント
【分析目的】
電子基板上の付着異物の成分を調査する。
【結論】
「基板付着異物」は、アクリル樹脂であると推察されます。
アクリル樹脂は、接着剤、粘着剤、塗料などに使用されています。
【コメント】
・「基板付着異物」のFT-IRスペクトルからは、****cm-1にO-H伸縮振動、****cm-1にメチル基の
C-H伸縮振動、****cm-1及び****cm-1にメチレン基のC-H伸縮振動、****cm-1にC=O伸縮振動、
****cm-1及び****cm-1にC-H対称変角振動、****cm-1及び****cm-1にC-O伸縮振動が観察されます。
以上のことから、「基板付着異物」はアクリル樹脂であると推察されます。
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.3
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
試料写真・測定方法・解析条件
【試料写真】
図1 試料外観(試料写真はあくまで一例です)
【測定方法】
付着異物をマイクロサンプリングにて採取した後、
KBr板で挟み込み、顕微透過法にて測定を行いました。
【解析条件】
検索アルゴリズムは1次微分後のユークリッド距離、検索波数領域は全領域による解析をしました。
KnowItAll のヒットクオリティーインデックス(HQI)というパラメータは、ヒット率を数値で表すものです。
Sadtler HQIは999-0の値を取り、999を完全一致としてランク付けをします。なお、この値は検索アル
ゴリズムやサーチ範囲などに依存して変動するものです。
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.4
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
「基板付着異物」のデータベース検索結果
名称
HQI
スペクトル
POLY(2-ETHYLHEXYL
ACRYLATE)
834.90
100
80
%T
60
40
- BPX
基板付着異物
...
#54;
...
LPSR Pet
20
- アクリル樹脂
4000
3800
3600
3400
3200
3000
2800
2600
2400
2200
cm⁻¹
2000
1800
1600
1400
1200
1000
800
600
400
ハ リュー
Name
Name
POLY(2-ETHYLHEXYL ACRYLATE)
Classification
POLYACRYLIC AND POLYMETHACRYLIC ESTERS
Source of Sample
ALDRICH CHEMICAL COMPANY, INC., MILWAUKEE, WISCONSIN
Technique
FILM(CAST FROM TOLUENE)
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.5
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
「基板付着異物」のFT-IRスペクトル
769
726
960
1540
80
%T
1380
1119
60
0
4000
3500
3000
1167
1738
2959
2930
20
1244
2873
2861
1462
40
2500
cm⁻¹
2000
1500
1000
測定方法:顕微透過法
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.6
【参考資料】「アクリル樹脂」のFT-IRスペクトル
(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります
100
80
%T
1381
1036
60
40
1259
...
1463
BPX #54;
0
4000
3800
3600
3400
3200
3000
2800
1736
2960
2930
2874
2861
1166
20
2600
2400
2200
cm⁻¹
2000
1800
1600
1400
1200
1000
800
600
400
ハ リュー
Name
Name
POLY(2-ETHYLHEXYL ACRYLATE)
Classification
POLYACRYLIC AND POLYMETHACRYLIC ESTERS
Source of Sample
ALDRICH CHEMICAL COMPANY, INC., MILWAUKEE, WISCONSIN
Technique
FILM(CAST FROM TOLUENE)
Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group
Page.7