(注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 報告書No.******* *****御中 **年**月**日 分析測定結果報告書 件名:(例)電子基板上の付着異物の成分分析 (ご依頼日:**年**月**日) 測定方法:フーリエ変換赤外分光光度法(FT-IR) 測定機器:******* 解析ソフト:KnowItAll Informatics System 【試料名】 ・基板付着異物 イビデンエンジニアリング株式会社 環境技術事業部 アナリティカルソリューションG 〒503-0973 岐阜県大垣市木戸町1122番地 TEL 0584-75-3238 FAX 0584-75-3239 承認:** ** 担当:** ** Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.1 目次 (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります P.3 分析目的・結論・コメント P.4 試料写真・測定方法・解析条件 P.5 「基板付着異物」のデータベース検索結果 P.6 「基板付着異物」のFT-IRスペクトル P.7 【参考資料】「アクリル樹脂」のFT-IRスペクトル Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.2 (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 分析目的・結論・コメント 【分析目的】 電子基板上の付着異物の成分を調査する。 【結論】 「基板付着異物」は、アクリル樹脂であると推察されます。 アクリル樹脂は、接着剤、粘着剤、塗料などに使用されています。 【コメント】 ・「基板付着異物」のFT-IRスペクトルからは、****cm-1にO-H伸縮振動、****cm-1にメチル基の C-H伸縮振動、****cm-1及び****cm-1にメチレン基のC-H伸縮振動、****cm-1にC=O伸縮振動、 ****cm-1及び****cm-1にC-H対称変角振動、****cm-1及び****cm-1にC-O伸縮振動が観察されます。 以上のことから、「基板付着異物」はアクリル樹脂であると推察されます。 Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.3 (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 試料写真・測定方法・解析条件 【試料写真】 図1 試料外観(試料写真はあくまで一例です) 【測定方法】 付着異物をマイクロサンプリングにて採取した後、 KBr板で挟み込み、顕微透過法にて測定を行いました。 【解析条件】 検索アルゴリズムは1次微分後のユークリッド距離、検索波数領域は全領域による解析をしました。 KnowItAll のヒットクオリティーインデックス(HQI)というパラメータは、ヒット率を数値で表すものです。 Sadtler HQIは999-0の値を取り、999を完全一致としてランク付けをします。なお、この値は検索アル ゴリズムやサーチ範囲などに依存して変動するものです。 Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.4 (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 「基板付着異物」のデータベース検索結果 名称 HQI スペクトル POLY(2-ETHYLHEXYL ACRYLATE) 834.90 100 80 %T 60 40 - BPX 基板付着異物 ... #54; ... LPSR Pet 20 - アクリル樹脂 4000 3800 3600 3400 3200 3000 2800 2600 2400 2200 cm⁻¹ 2000 1800 1600 1400 1200 1000 800 600 400 ハ リュー Name Name POLY(2-ETHYLHEXYL ACRYLATE) Classification POLYACRYLIC AND POLYMETHACRYLIC ESTERS Source of Sample ALDRICH CHEMICAL COMPANY, INC., MILWAUKEE, WISCONSIN Technique FILM(CAST FROM TOLUENE) Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.5 (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 「基板付着異物」のFT-IRスペクトル 769 726 960 1540 80 %T 1380 1119 60 0 4000 3500 3000 1167 1738 2959 2930 20 1244 2873 2861 1462 40 2500 cm⁻¹ 2000 1500 1000 測定方法:顕微透過法 Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.6 【参考資料】「アクリル樹脂」のFT-IRスペクトル (注)ご依頼の内容によって報告書の構成が変わります 100 80 %T 1381 1036 60 40 1259 ... 1463 BPX #54; 0 4000 3800 3600 3400 3200 3000 2800 1736 2960 2930 2874 2861 1166 20 2600 2400 2200 cm⁻¹ 2000 1800 1600 1400 1200 1000 800 600 400 ハ リュー Name Name POLY(2-ETHYLHEXYL ACRYLATE) Classification POLYACRYLIC AND POLYMETHACRYLIC ESTERS Source of Sample ALDRICH CHEMICAL COMPANY, INC., MILWAUKEE, WISCONSIN Technique FILM(CAST FROM TOLUENE) Environmental Engineering Division Analytical Solutions Group Page.7
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