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VEC
Inventive Simple Solutions
SVA-25
スムーズベント（ラフ）アタッチメント
Smooth Vent&Rough Attachment
SVA-25
特徴
 スローベントからベントへ、圧力（差）に応じてオリフィスがスムーズに変わります
排気（ラフ）にも使えます（スムーズラフ → スロー排気から排気へ）
 シール部はNW25センターリングと寸法互換、センターリングと入れ換えるだけです
 ベント時間はスプリングの交換で３通り選べます（３種類のスプリング付属）
小流量（スプリングS）ベント時間は標準の約２倍
中流量（スプリングM）標準（出荷時組み込み）
大流量（スプリングL）ベント時間は標準の 1/2 ～ 1/3
 シンプルな構造、制御不要なのでローコストです
真空 CH.
大気 or ガス
真空 CH.
大気 or ガス
ここに SVA-25 を挿入
従来のベント方法
 スローベントとベントの切換えが必要
 切換えのタイミングを決める必要がある
 流量は 2 段階のみ
SVA によるベント方法
SVA の動作は
弊社ホームページの動画をご覧下さい
 切換えが早すぎる → ゴミが舞う
 切換えが遅すぎる → ベント時間が長い
http://www.vec300.com
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Inventive Simple Solutions
SVA-25
スムーズベントアタッチメント
Smooth Vent Attachment
型式と仕様
SVA-25
型式
スプリング S
14 L チャンバーベント時間※２
大きいチャンバーの
推定ベント時間※２
sec
35 sec
CH.容積(L)*2.5
使用圧力範囲
スプリング M
15 sec
※１
スプリング L
7 sec
CH.容積(L)*1.1
CH.容積(L)*0.5
大気圧～10 E-2 Pa
材質
PEEK（弁体）, アルミ（ケース本体、アルマイト処理）
ベント開始オリフィス
φ1
ベント終了オリフィス
約 50 mm2
重量
約 50 g
※１出荷時はスプリングMを組み込んで出荷します。
※２ベント時間は目安です。
使用上の注意
１．できればベントバルブ（NW25 真空バルブ）と組合せて使用してください。
２．真空側の排気抵抗をなくしてください。（ブレークフィルタなどとの併用はできません）
有限会社
ベック
〒253-0071 茅ヶ崎市萩園 2291-4
TEL：0467-83-6993 FAX：0467-82-8427
URL http://www.vec300.com
E-Mail: [email protected]
http://www.vec300.com

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