「環境にやさしいナノテクものづくり」拠点形成の推進

財団法人科学技術交流財団知的クラスター創成事業
「環境にやさしいナノテクものづくり」拠点形成の推進
先進プラズマナノ基盤技術の開発
～プラズマ技術の展開～
名古屋大学堀研究室
研究開発の概要
① プラズマ技術を用い、カーボンナノウオールの形成が可能となった。このカーボンナノ
ウオールは大表面積、導電性、自己組織化機能を有し太陽電池、ＦＥＤ、燃料電池への
応用が可能であると考えており、全く新規な高効率カーボン太陽電池の実現を目指す。
② 大面積プラズマの応用として、表面波プラズマを利用した微結晶Ｓｉ太陽電池の実現を
目指し、地球再生イノベーションに寄与する。
③ μ波プラズマを用いた金属内面へのＤＬＣコーテングを研究する。
カーボンナノウォール（CNWs）の太陽電池応用
窒素原子の量を制御するこ
とにより、電気伝導のP型、
N型の制御ができ、かつ伝
300 nm
300 nm
導性制御が可能。
Side view
Top view
Si 太陽電池への応用
ポリマーフィルム上への微結晶シリコン堆積
フレキシブルシートへの太陽電池形成
ＤＬＣコーテングへの応用
表面波プラズマを用いた薄膜
太陽電池製造技術の開発
z
Φ4.4
Source gas
Negative Bias
Pressure
gauge
Plasma
Voltage combination
Steel Pipe
50 mm
MVP（Microwave-sheath
To Pump
O Ring
Plasma)法による細穴内面
r
Quartz Window
Coaxial Waveguide
へのDLC成膜。
(a)
Microwave (2.45 GHz)
名古屋大学
大学院工学研究科電子情報システム専攻
名古屋市千種区不老町
電話:052(789)5111(代表) http://www.nagoya-u.ac.jp/
財団法人科学技術交流財団
東海広域知的クラスター創成事業本部
名古屋市中区丸の内二丁目４－７愛知県産業貿易館西館７階
電話：052-231-1656 http://www.astf.or.jp/cluster/

Download Report