特集 ?O2@@@@@@@@6X?e? ?W2@@@@@@@@@@@)Ke? W&@@@@@@@@@@@@@@@?? ?W&@@@@@@@@@@@@@@@@L? ?7@@@@@@@@@@@@@@@@@)X J@@@@@@@@@@@@@@@@@@@) 7@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ 3@@@@@@@@@@@@@@@@@@@@ V'@@@@@@@@@@@@@@@@@@? ?N@@@@@@@@@@@@@@@@@5? @@@@@@@@@@@@@@@@(Y? ?I'@@@@@@@@@@@@0Y?? V4@@@@@@@@@0M?e? ?W2@@@@@@@6Xe? W&@@@@@@@@@)X?? ?W&@@@@@@@@@@@)X? W&@@@@@@@@@@@@@)X 7@@@@@@@@@@@@@@@1 @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ @@@@@@@@@@@@@@@@@ 3@@@@@@@@@@@@@@@5 V'@@@@@@@@@@@@@(Y ?V'@@@@@@@@@@@(Y? V'@@@@@@@@@(Y?? ?V4@@@@@@@0Ye? ウェーハ検査・測定・分析 田中機販のウェーハ検査装置 独自技術で微細欠陥を検出 ウェーハ端面も精細に表示 ★田中機販の会社概要★ ①設立：1995年 ②本社：神奈川県横浜市 ③代表取締役：田中澄夫 ④資本金：300万円 ⑤営業品目：各種検査装置の販売、 各種膜付加工、各種金型の加工、 半導体用洗浄機器のOEM販売、 半導体製造装置の再販など ●ウェーハ検査でのニーズが拡大 高い垂直分解能でリアルタイムで表示でき、エピ 田中機販で扱うビジョンサイテック社製の目視 ウェーハのわずかなスリップ欠陥に対しても威力 検査装置「Micro-MAX」シリーズが、半導体のウ を発揮する。 ェーハ検査向けで注目されている。独自の数学理 一方、従来のビューワ検査では困難とされてい 論による光学・照明・映像処理技術を組み合わせ たウェーハ端面部の微細な表面情報の可視化に成 ることで、ナノレベルの現象をマクロ視野で可視 功したのが、明視野方式・ウェーハ端面ディテー 化できるのが最大の特徴だ。「GaN向けサファイヤ ル可視化検査装置「VMW-800P/1200P」。ウェーハ ウェーハの目視検査では、大幅なスループットの の端面部は複雑な曲線形状をしているが、独自の 向上を実現している」（技術営業部 部長 中川健二 “リフレクター照明”により、深い被写界深度で全 氏）。同製品シリーズは“見える”をキーワードに 端面部を鮮明に表示することが可能となった。従 製品展開しており、幅広い分野で採用されている。 来のビューワ検査では、様々な欠陥を詳細に表示 累計販売台数は200台を超え、これまではハードデ しようとすると、エッジ部のどこかにデッドポイ ィスク向けが多かったが、最近では大手半導体メ ントが発生した。同製品は高い可視化性能を維持 ーカーでの採用が決まるなど、 しつつ、表面から裏面にかけ 徐々にではあるが半導体業界 てのエッジ全域で、デッドポ 内でも、同製品の性能の良さ イントゼロを達成。このため、 が浸透してきているようだ。 ウェーハ端面部や表面の加工 特に、半導体向けでは、新 品質、数層にも成膜された膜 技術の液浸露光の登場により、 面の剥離や異常などの確認お 従来以上にウェーハエッジな よび検証がカラーにより精細 ▲「Micro-MAX」で観察したウェーハ端面 どの端面検査やレジスト残渣 に表示できる。 の処理検査など、微細化に伴 田中機販では、暗視野方式 う検査工程が重要になっている。「様々な欠陥が見 の表面外観マクロ検査などもラインナップする他、 えることで、欠陥発生のポイントを推定できる」 顧客のニーズに応じたカスタマイズにも速やかに （中川氏）とし、さらなる拡販に注力している。 対応できる体制を取っている。「光学検査で困った ら、弊社やビジョンサイテックに連絡がくるよう ●十数Åレベルの欠陥も明確に確認可能 な製品を展開していきたい」（中川氏）とし、今後 様々な基板の凹凸微細欠陥の検査を対象に開発 は他の装置メーカーとのコラボレーションも視野 されたのが、明視野方式表面外観マクロ検査装置 に入れた営業活動や研究開発を行い、“見える”技 「VMX-2200」だ。主に、うねりやシャロウスクラ 術をさらに磨き、ナノインプリント市場での展開 ッチの観察に特化しており、十数Åレベルの欠陥 も見据えた需要開拓を行っていく方針だ。 も明確に確認できる。また、従来の明視野方式は 使用する光源の波長とレンズのNA、CCDの画素ピ ＊本製品に関する問い合わせ先＊ ッチで分解能が規定されたが、VMX-2200では独自 ㈲田中機販 〒226-0018 神奈川県横浜市緑区長津田みなみ台1-36-11 のハイブリッド画像技術により鮮明な欠陥画像を TEL：045-489-5522 FAX：045-489-5521 得ることが可能。AFMやレーザのようなピンスポ URL：http://www.t-kihan.com ットでの表面測定では、全体像が把握できないが、 Mail：[email protected] 同製品により見落としがちな加工精度の全体像を 106 Electronic Journal 2008年5月号
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