流量コントローラー・レトロフィットによる CMP装置スラリー削減ファーストゲート株式会社 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 1 会社概要 全世界に目を向け、スピードを追求し、成功へのソリューションをいち早くお客様にご提供する企業となる FASTGATE to SUCCESS 事業内容（1）半導体製造装置ならびに関連製品の輸出入販売（2）半導体製造装置の技術サポート 会社の強み Only OneとNumber One商品のみを取り扱う 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 2 1 メーカー概要 Malema Sensors 所在地：フロリダ州主な製品： 1. コリオリ流量計/超音波流量計 2. 薬液・スラリー流量コントローラー 3. リリーフバルブ製品の特長 1. ウエット部は全てPFA/PTFE製 2. 高精度・高速制御 3. US製大手半導体製造装置に多数搭載 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 3 ご紹介商品コリオリ式流量コントローラー 2015/10/2 超音波式流量コントローラー第７回装置・保守部会技術情報交換会 4 2 製品の特長 高精度コントロールによる薬液流量の安定 High Accuracy Control 応答性の速さ Quick Response ウェット部は全てPFE,PTFE製 PFE&PTFE Wet Parts 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 5 コリオリ式流量コントローラー Malema社製コリオリ式流量コントローラーの特長 A B 泡に強い！発泡性ケミカルに最適 No Flow When flowing 応答が速い！ Malema独自の制御システムを搭載 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 6 3 コリオリ式流量コントローラー Malema社製コリオリ式流量コントローラー（CMFC)の特長 Malema独自の制御ソフトを搭載 PIDプラス バルブポジションモニターを搭載バルブ開度を随時モニタリング 温度モニター付き温度変化に対して補正可能 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 7 バブル混入時の計測データ発泡性薬液に強いコリオリ式流量コントローラー！他社製超音波流量コントローラー 2015/10/2 Malema社製コリオリ式流量コントローラー第７回装置・保守部会技術情報交換会 8 4 レスポンス速度計測データ素早いレスポンスでスラリーを削減！他社製超音波流量コントローラー 2015/10/2 Malema社製コリオリ式流量コントローラー 9 第７回装置・保守部会技術情報交換会 Malema社製CMFCの特長 高精度制御を行う事により、スラリーを必要な分だけ正確に供給 現在のスラリー消費量を20％カット 発泡性タングステンスラリー、発泡性洗浄液の流量制御に最適 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 10 5 その他の特長 薬液制御用として、ニードルバルブ搭載タイプのコリオリ式流量コントローラーもラインアップ ※ポストクリーニング（後洗浄）用で使用 US大手デバイスメーカーで採用され、装置への標準搭載が決定している A社、E社製CMP装置用レトロフィットキットを準備して、交換作業も実施可能 各種高精度超音波流量コントローラーもご用意 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 11 製品に対するお問合せをお待ちしておりますファーストゲート株式会社〒110-0004東京都台東区下谷1-13-6 下谷ポラリスビル402 Tel : 03-5830-3181 Fax : 03-5826-7550 担当土肥司 [email protected] 2015/10/2 第７回装置・保守部会技術情報交換会 12 6