排 気 装 置 小型高真空排気装置 VPC +,-.,/ • VPC-050 • VPC-050A • VPC-250F 特 長 パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、低コス トタイプの小型高真空排気装置です。取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。 VPC-050 VPC-050A VPC-250F 仕 様 表 型 式 到達圧力 Unit !"#$%&% !"#$%&%' !"#$(&%) Pa 7.0 × 10-4 （1.5 × 10-4 液体窒素使用時） 10-4 台 （10-5 台 液体窒素使用時） 10-4 台 （10-5 台 液体窒素使用時） 油拡散ポンプ（空冷） 50L/sec 油拡散ポンプ（空冷） 50L/sec 油拡散ポンプ（空冷） 200L/sec 油回転真空ポンプ 20L/min 油回転真空ポンプ 20L/min 油回転真空ポンプ 100L/min 25A バタフライバルブ 25A バタフライバルブ 65A クラッパーバルブ 三方向バルブ 三方向バルブ 三方向バルブ VG-25 VG-25 VG-65 単相 100V 1.35kVA メインポンプ 補助ポンプ メインバルブ 補助バルブ 吸気口 単相 100V 0.6kVA 単相 100V 0.6kVA 質量 所要電気量 kg 16 17 55.7 最大寸法 mm 346(W) × 321(D) × 361(H) 346(W) × 321(D) × 361(H) 530(W) × 537(D) × 735(H) ● ● ● RoHS 対応 ※電離真空計・ピラニ真空計・液体窒素トラップ・オイルミストトラップはオプションです。 油拡散ポンプ仕様 最大排気速度 臨界背圧 Unit *")$%&% *")$(%% Pa 10-5 10-5 L/sec 50 200 Pa 13 20 単相 単相 100V 100V 0.25kW 0.45kW 所要電力 使用油 ㏄ SY 20 SX 70 質量 ㎏ 1.8 5.0 VG-25 VG-65 φ 14 φ 27 空冷 空冷 排気管 冷却方式 mm Suction port（VG-25） Suction port （VG-25） Leak port 10A three way valve Oil sealed rotary vacuum pump !"#$(&%) Leak port Gauge port （φ18） Main valve （25A） 10A three way valve S Oil diffusion pump Oil sealed rotary vacuum pump Gauge port（φ18） Leak port Gauge port （φ18） Main valve （25A） Gauge port （φ18） Gas inlet valve Main valve （65A）／ （100A） Leak port Oil-sealed rotary vacuum pump Oil diffusion pump ㈯ ㈪ ㈰ Suction port （VG-65） Three-way valve Oil diffusion pump VG-25 （φ90） ㈭ ㈬ ㈭ ㈰ ㈯ ㈯ ㈫ ㈫ VG-65 （φ145） ㈪ ㉀ 350 吸気フランジ !"#$%&%' !"#$%&% ㉀ 223 93 256 735 型 式 到達圧力 排気系統図 90 346 316 ㈫ ■より詳細な情報は HP へ➡ http://www.ulvac-kiko.com 外観図は P.46に掲載しています。 ㈬ 320 160 480 29 245 285 530
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