（左炉、右炉ともに構造は同じ）
電離真空計
⑥
⑩
ピラニー真空計
⑪
④
⑧
③
②
調節つまみ
ヒータースイッチ
D.Pスイッチ
R.Pスイッチ
①
メインスイッチ
リーク（パー
ジ）スイッチ
二連式真空炉
粗引きバルブ
⑤
主バルブ
⑨
補助バルブ
⑦
各種バルブ

直流電源装置

11.位置図 （PDFファイル 1.9MB）

VPC$`ú!`

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