Lam Research at a glance Innovative Technology Trusted Productivity Fast Solutions lamresearch.com www.lamresearch.com 概要 ラムリサーチは全世界の半導体産業にウェーハ加工装置とサービスを提供するリーディング企業であり、 お客様がより微細で高速、そして電力効率の良い電子デバイスを作れるように革新的なソリューションを 開発しています。 そして私たちの日々の暮らしの中へのテクノロジーの普及に努めています。 半導体メーカーは、携帯電話、コンピュータ機器、そしてエンターテインメント機器で使用する小さくて 複雑なチップを生産しますが、そのために非常に洗練された製造プロセスと（製造）装置が必要となりま す。 そして半導体メーカーが、一粒の砂の1/1000より小さいスケールでデバイスを製造する際に、ラム リサーチの装置は大きな役割を果たしています。実際に今日では、ほとんどすべての最先端のIC（集積回 路半導体）の製造過程でラムリサーチの装置は使用されています。 ラムリサーチは、薄膜デポジション、プラズマエッチ、フォトレジストストリップ、そしてウェーハ洗浄 の装置市場のリーディング企業として、ウェーハプロセス前工程およびアドバンスト・パッケージアプリ ケーションで幅広い製品群を提供しています。また包括的なカスタマーサポートは装置のライフサイクル 全般にわたり価値をお届けいたします。それは装置の納入に始まり、生産量増加対応や新技術へのアップ グレードなどを通じ装置の資産としての終了管理までサポートいたします。協業、継続的なイノベーショ ン、そしてその確約を通して、ラムリサーチは原子スケールでの技術をお届けし、お客様の将来の技術形 成を可能にしてまいります。 製品紹介 Deposition Dielectric & hardmask films: VECTOR® PECVD/ALD family, SPEED® gapfill HDP-CVD family Metal films: SABRE® ECD family, ALTUS® tungsten ALD/CVD family Film treatment: SOLA® UV thermal processing family Etch Conductor etch: 2300® Kiyo® family, 2300® Versys® Metal family Dielectric etch: 2300® Flex™ family Through-silicon via etch: 2300® Syndion® family MEMS & deep silicon etch: TCP® 9400DSiE™ family Strip Standalone strip: GxT®, G400®, G3D® Integrated strip: Strip45™, Microwave Stripper Clean Spin wet clean: DV-Prime®, Da Vinci®, SP Series Plasma bevel clean: 2300® Coronus® family Support Service, spares, upgrades, technical training Reliant™ Systems – refurbished and newly built legacy products Key Facts Headquarters Contact Information 設立 : 1980 Lam Research Corporation 4650 Cushing Parkway Fremont, CA 94538 (510) 572-0200 (800) 526-7678 [email protected] 売上 : ~$4 Billion USD in 2013 従業員 : ~6,500 拠点 : 16 か国 NASDAQ Symbol: LRCX [email protected] [email protected] [email protected] The Lam Research logo, Lam Research, and all product names listed herein are either registered trademarks or trademarks of Lam Research Corporation or its subsidiaries. © 2014 Lam Research Corporation. All rights reserved. 201403-01204L
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