真空トランスデューサ - 株式会社サヤマトレーディング（Sayama

SETRA SYSTEMS, INC.
モデル７３０
真空トランスデューサ
絶対圧：0～1 から 0～100 kPa まで
ローコスト、コンパクトモデル
特
徴
●コンパクトサイズで、ローコスト
●温度補償範囲が広い
●極めて低いノイズ影響
●接ガス部にインコネルを採用
●ＣＥマーク対応
●ＥＵＲｏＨＳ指令対応
概
要
セトラシステムズ社のローコストでコンパクトなモデル
７３０は、半導体／石油化学／医薬の製造工程およびそ
の他産業の真空用途向けに設計されています。７３０の
新しい高周波対応の回路設計は、今日の最先端の制御に
要求される高速応答性を維持しながら、ノイズ発生を極
めて低く抑えており、またＲｏＨＳ指令に対応していま
す。外部ノイズの除去、速いウォームアップ、周囲環境
による影響の軽減、ゼロ戻りの速さなどの高い性能を、
競合製品より、低コストで実現しております。
モデル７３０の接ガス部には実質的にすべての化学的プ
ロセスに適合するように、すべてインコネルの溶接部品
が採用されています。実績のある堅牢な取付け方式の単
極のセンサは、高い耐圧性と優れた長期安定性を実現し
ています。テンションを加えてあるダイヤフラムは、低
ヒステリシス、高分解能、高い再現性をもたらします。
0～10 から 0～1000Torr まで
用
途
■半導体製造プロセス
■吸収式チラー
■レーザ装置
■オートクレーブ
■真空包装
■凍結乾燥プロセス
■真空蒸留プロセス
■石油化学・製薬
モデル７３０はガスの成分に関係なく、圧力にリニアな
ＤＣ０－５Ｖか０－１０Ｖを出力します。０－５０℃の
温度補償範囲に渡って極めて小さな温度影響で広範な動
的計測が可能です。
温度影響は、ゼロで、±０.２５％ＦＳ/５０℃、スパン
では±１.３５％読み値/５０℃。精度は±０.５％読み値
が標準です（オプションで±０.２５％読み値）。
モデル７３０には、１０Ｔｏｒｒから１０００Ｔｏｒｒ
まで多種の圧力範囲があり、ＤＣ１２－３０Ｖの電源を
使用します。９pin または１５pin のＤ－ｓｕｂあるいは
５pin の端子台で接続です。全て標準的な｢plug and play｣
ピン配列なっています。真空接続についても同様に、標
準的な継手が用意されています。
高精度・高出力の真空・圧力・気圧センサ、加速度センサ、デジタルシステム
モデル７３０の仕様
材質データ
精度データ
度(*1)
精
分
解
能
温度補償範
温度影
(0～50℃)
長期安定
応
答
過負荷耐
囲
響
性
性
圧
±０.５０％読み値
±０.２５％読み値（ｵﾌﾟｼｮﾝ）
無限、出力ノイズレベルによる制限のみ
（0.005％FS）
０～５０℃
ゼロシフト
±０.２５％ＦＳ/５０℃
スパンシフト ±１.３５％読み値/５０℃
±０.５％ＦＳ/年
２０ｍｓｅｃ
３００ｋＰａ
(*1)直線性、ヒステリシス、再現性の総合（ＲＳＳ）精度
環境データ
使
保
耐
用
管
温
温
衝
度
度
動
(*２)
０℃ ～８０℃
－２０℃ ～８５℃
４９０ｍ/ｓｅｃ２
(*2)使用温度は電子回路の使用限界です。媒体温度はこれよりも高いか低
くても使用できる場合があります。
外
観
図
ご注文の際には
ケース
電気接続
ステンレス鋼
９ピンＤ-sub、５ピン端子台
１５ピンＤ-sub 付１５ｃｍピグテール
下の発注コード表を参照
インコネル（ステンレス鋼の継手部は除く）
０.１３７㎏
＜６.０ｍＬ
圧力接続
接ガス部材質
質
量
内部容量
電気データ
回
路
３線式
出力・電源電圧(*3.4) ０－１０Ｖ出力タイプＤＣ１２-３０Ｖ
０－５Ｖ出力タイプＤＣ９-３０Ｖ
消費電流
＜１０ｍＡ
出力ｲﾝﾋﾟｰﾀﾞﾝｽ
＜１Ω
ＣＥ対応
Electro Magnetic Compatibility Directive
2006/108 EC
ＥＵＲｏＨＳ対応
(*3)５０ｋΩ負荷で校正されています。５ｋΩまたはそれ以上の負荷
でも使用できます。
(*4)ゼロ出力、スパン出力ともに±0.5％FS で工場出荷されています。
下記のブロックに、それぞれのコードを選択し、型式をご指定下さい。
（例）７３０Ｇ－０１０Ｔ－Ａ－Ｄ８－２Ｃ－Ｄ９－Ｋ
７３
Ａ
０Ｇ
モデル
730G=730
圧力レンジ
010T=10(Torr)
020T=20(Torr)
100T=100(Torr)
200T=200(Torr)
10CT=1000(Torr)
001K=1kPa
002K=2kPa
010K=10kPa
100K=100kPa
圧力モード
Ａ=絶対圧
圧力接続
4T=0.5”外径ﾁｭｰﾌﾞ
N0=ISO NW10
N1=ISO NW16
N2=ISO NW25
出力
2B=DC 0-5V
2C=DC 0-10V
電気接続
D9=９ﾋﾟﾝ D-Sub
T1=５ﾋﾟﾝ端子台
D7=15 ﾋﾟﾝ D-Sub
付 15cm ﾋﾟｸﾞﾃｰﾙ
精度
K=±0.50％
読み値
A=±0.25％
読み値
D8=8VCR ﾒｽ
2T=外径 0.25”ﾁｭｰﾌﾞ
D4=4VCR ﾒｽ
2M=1/4”NPT ｵｽ
品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。
セトラシステムズ社輸入総代理店
株式会社
サヤマトレーディング
〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12
TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123
e-mail:[email protected]
http://www.sayama.com/
Ver.01 2009/08

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