SETRA SYSTEMS, INC. ＶａｃｔｒｏｎＴＭモデル７６０真空トランスデューサ絶対圧：0∼1 から 100 kPa まで 0∼13.3×102 から 0∼13.3×104 Pa までＭｏｄｅｌ７６０Ｖａｃｔｒｏｎシリーズ特徴用 ●ローコスト、小型サイズ ●優れた温度安定性 ●優れたＥＭＩ／ＲＦＩ性能 ●接ガス部にインコネルを使用 ●ＣＥマーク対応概 ■半導体製造プロセス ■Ｒ＆Ｄでのテスト、計測 ■化学分析システム ■工業用ＯＥＭシステム構要セトラシステムズ社のバクトロンモデル 760 は、100kPa 以下の圧力を高精度に計測する用途で設計された静電容量型の絶対圧センサです。フルスケール圧力は、１kPa から 100kPa までです。モデル 760 は±15ＶＤＣの供給電圧で動作し、ＤＣ0-10Ｖ、またはＤＣ0-5Ｖの出力をします。ガス種によらず、圧力に対してリニアな信号を出力します。電気接続は 15 ピンＤサブコネクタまたは、６極の端子台接続となります。金属ケースを使用することにより、サージ電圧や静電気を抑制する構造となっており、また入力・出力側の両方にＲＦＩフィルターを設けています。これにより、ＥＭＩ／ＲＦＩ対策として優れた性能になっています。また、センサ上部にスライド式のカバーが装備され、ゼロ・スパン調整も容易に行うことができます。接ガス部にはインコネルを使用し、腐食性流体にも使用できるようになっています。途造モデル 760 に使用されている高精度なセンサエレメントは、セトラシステムズ社特許の、可変静電容量型センサより開発されたバクトロンセンサです。センサ中央部に位置するフィードスルー部により、ダイアフラムの背面に近接する円形の電極を支えています。電極とダイヤフラムは小さな真空チャンバーの中で、可変コンデンサを形成しています。この真空チャンバーは、不揮発性のゲッターにより、高真空に維持されています。圧力が加わるとダイアフラムがわずかにたわみ、電極とダイアフラムのすき間が小さくなり、静電容量が増加します。この静電容量の変化を検出し、チャージバランス原理（特許）を利用したカスタムＩＣにより、高精度でリニアな電圧信号に変換します。高精度・高出力の真空・圧力・気圧センサ、加速度センサ、デジタルシステムモデル７６０の仕様精度データ精度 R S S ( 1 ) * 直線性（ﾀｰﾐﾅﾙ法）ヒステリシス補償温度ゼロシフトスパンシフト分解能過負荷耐圧電気データ回路電源出力 (2) ＊消費電力時定数コードＡ＜±０.２５％読み値コードＢ＜±０.１５％読み値コードＡ＜±０.１０％読み値コードＢ＜±０.０５％読み値＜±０.1％ＦＳ０∼５０℃ ＜±０．００５％読み値/℃ ＜±０．００８％読み値/℃ ０．０１％ＦＳ３４５kPa ４線式 ±１５ＶＤＣ ±１０％ＤＣ０∼１０ＶまたはＤＣ０∼５Ｖ＜０．５Ｗ（＜１５ｍＡ）＜１０ｍｓｅｃ (２)＊工場出荷時には 50kΩの負荷で校正されています。10kΩまたはそれ以上の負荷で使用できます。外形データケース材質電気接続（１）＊直線性、ヒステリシス、再現性のＲＳＳアルミニウム合金 15 ピンＤサブコネクタまたは６極端子台注文コードを参照インコネル 20.6ml 0.36kg 環境データ使用温度保管温度圧力接続接液部材質(3)＊内部容量 (4) ＊質量０℃∼５０℃ −５０℃∼１２５℃ 寸法図 (3)＊接液部材質には継手は含みません (4)＊1/2”チューブの容量(4.28ml)を含んだ最大容量５９.９４５.０８５８.４２３１.７５５９.９４ φ１２.７０１５ピンＤサブコネクタスライド式ゼロスパン調整用に４.５７１８.５４約１０mm スライドします。６ピンコネクタ６極端子台ご注文の際にはモデル 7601=760 下記のブロックに従って、コードを選択し、ご指定下さい。（例）７６０１−０１０−Ｔ−Ａ−Ｄ８−７Ｃ−Ｄ２−Ａ圧力レンジ 0 0 1 =0-1 0 0 5 =0-5 0 1 0 =0-10 0 2 0 =0-20 1 0 0 =0-100 2 0 0 =0-200 5 0 0 =0-500 圧力単位 k = kPa(1-100) 圧力モード A = 絶対圧 T = 10×13.3Pa (10-1000) (torr 相当) 1 0 C =0-1000 品質向上のため、予告なく仕様変更することがあります。圧力接続 4 T =0.5”O D ﾁｭｰﾌﾞ D 8 =8VCR ﾒｽ N 1 =ISO NW16 N 2 =ISO NW25 N 4 =ISO NW40 ｵﾌﾟｼｮﾝ 2 7 = ﾐﾆｺﾝﾌﾗｯﾄ 2 8 = 2.75”ｺﾝﾌﾗｯﾄ 30=0.05 ｽｳｪｰｼﾞﾛｯｸ T 6 = 1.5”ｻﾆﾀﾘｸﾗﾝﾌﾟ電気接続精度 7 C =±15VDC D 2 =15 ﾋﾟﾝｺﾈｸﾀ A = ＜±0.25％読み値 0-10VDC T2 =6 極端子台 B = ＜±0.15％読み値電源／出力 7 B = ±15VDC 0-5VDC セトラシステムズ社輸入総代理店株式会社サヤマトレーディング〒114-0001 東京都北区東十条 6-10-12 TEL:(03)3903-2181 FAX:(03)3903-0123 e-mail:[email protected] http ://www.sayama.com/