ACモード用シリコンカンチレバー OMCL-AC240TS-R3 / OMCL-AC240TN-R3 OMCL Series SINCE 1991 カンチレバーＣｈ ｉ ｐ横断面の違い つまみやすく角が 欠けにくい長方形 台形（従来品） http://www.olympus.co.jp/jp/insg/probe/ Rectangular Silicon Cantilevers with a Sharpened Tetrahedral Probe 【主な特長】 新シリコンカンチレバーの機械特性 定評ある“ＴｉｐＶｉｅｗ”構造 取り扱い易さも格段に向上 低バネ定数ACモード測定用カンチレバーの 尖 鋭 な 探 針 がレ バ ー の 最 先 端に形 成され チップの側壁が垂直なため、 プの側壁が垂直なため、 ピンセットでつま バネ定数と共振周波数は、そのままにレバー ており、 、背 面から光 学 観 察してもレ バ ー で みやすく、 やすく、つまんだ時のシリコンのかけらの 幅を広げることでレーザー光の照射位置の調 隠れない い ため、試料上の観察したい部位への 発生を抑えます。 生 整が容易になりました。 探針位置 置決めが容易です。 OMCL-AC240シリーズの機械特性 バネ定数（N/m） 40 高解像度観察に最適な尖鋭な探針 解像度観察に最適な尖鋭な探針 30 OMCL-AC160 （新） 四面体構造をしている探針は、原理的にその 20 先端が一点で終端し、安定して尖っています。 尖鋭化処理を施した探針の先端は、 １ミクロン 10 OMCL-AC200 以上のところが一層細く尖っており、高解像度 OMCL-AC240（新） 0 100 200 300 共振周波数（kHz） 400 観察に最適です。 OMCL-AC240TS-R3 / OMCL-AC240TN-R3 Ｎ型ドープドシリコン製カンチレバー カンチレ バ ー 素 材は、表 面 抵 抗が0 . 0 1 ∼ 500nm 0.02Ω・ｃｍと低いシリコンを採用（弊社従来 シリコンカンチレバー素材の1／200）。試 料の表面電位測定時等の応用が期待できます。 分割済みのチップ24チップが入ったOMCL-AC240TS-C3, OMCL-AC240TN-C3もご用意しています。 写真右側は探針先端部の拡大SEM写真 ■ 仕様 OMCL-AC240TS-R3 型式 共振周波数(大気中) カンチレバー 70（±20）kHz バネ定数 2N/m（typ.） シリコン（Ｎ型、0.01∼0.02Ω・ｃｍ） カンチレバー材質 背面金属反射コート アルミニウム 14µｍ 探針高さ 7nm（typ.） 探針先端半径 (横から観察時、 レバー先端側) 0度 探針傾き角 (横から観察時、 レバー根元側) 35度 左右とも18度、対称的 (正面から観察時) シリコン（Ｎ型、0.01∼0.02Ω・ｃｍ） 探針材質 チップ チップ形状 長方形横断面、肩落しチップ チップ寸法 3.4（L） ×1.6（W） ×0.3（T）mm 100チップ チップ数 パッケージング 無し 尖鋭化テトラヘドラル、 “TipView”構造 形状 探針 OMCL-AC240TN-R3 240（Ｌ） ×40（Ｗ） ×2.3（Ｔ）µｍ カンチレバー寸法 個別に分割済み ケース中のチップ形状 粘着シート付き耐静電気プラスチックス箱 パッケージ箱 精密技術開発本部 〒192-8512 東京都八王子市久保山町2-3 Tel:042-691-7403 Fax:042-691-7509 取扱販売店名 詳細な技術情報は下記ホームページをご覧ください。また、下記 emailアドレス宛にお問い合わせください。 http://www.olympus.co.jp/jp/insg/probe/ ●仕様・外観については、予告なしに変更する場合があります。あらかじめご了承ください。 MEMS12E-091220
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