概 要 本エキシマ・ＹＡＧ・半導体レーザー用ビームホモジナイザーは、光強度分布を高度均一にする光学系で、 試料に均一照射による表面処理とアニール、又は、加工試料全面に高度な均一微細加工に欠かせない光学系 です。当社の製品は正方形と線条形の二種類ホモジナイザとビーム合せコリメータ光学系、又は、アニール 用照射エリア縁急峻化レンズ系と微細加工用高解像度投影レンズ系等も有ります。近年大型 LCD パネル光配 向膜表面処理用ファイバ転送ホモジナイザ光学系も開発して、製品としてラインアップしました。 共 通 仕 様 ◆ ◆ 入射ビーム 強度分布 8 波長 248nm 時 ● 寿命 10 Shot 以上 ● 不均一性≦±5%（RMS≦5%） ● 縁急峻性 正方形ビームシリーズ ● 光強度耐力 10ns／2J／Pulse 50%−90%エリアエッジ ≦25μm PHO-SQ 最大 100mm 指定可 (正方形或は長方形) 全角 2°∼ 10° 設計によるもの ≧ 90% (縁急峻化タイプ場合 60%) ● 予備整形系 ● 縁急峻化タイプ ● サイズ連続可変 ズームレンズ ◆ ビームサイズ ◆ ビーム発散角 ◆ スループット ◆ オプション 強度分布図 ビーム形状30×30mm、50μm エッジ 線条形ビームシリーズ ◆ ビームサイズ ◆ スループット ◆ 諸オプション 強度分布図 PHO-LN 長軸方向 MAX＝ 500mm ● 短軸方向 MIN＝100μm ≧ 90% (急峻タイプ 60%) ● 長短軸ビームサイズ可変系 ● 短軸方向幅 10μ 集光レンズ ● 部分拡大図 ファイバ転送シリーズ PHO-FT ◆←レーザー組込型ファイバ転送型 PHO-FT301L ● 正方形平行ビーム出力型・二倍ズーム標準装備 ● 適用光源： LD と DPSS、出力最大 100W 対応可能 ◆ FC/PC 出力端 ビーム整形レンズ系 FT9015L → ● ラインビーム (赤)： 最大拡がり角 140° ● 正方形ビーム(緑)： 平行光最大□100mm ● コリメーター(青)： ガウシャン M^2≦1.1 その他 エキシマ等レーザー光学系 ◆ 微細加工 1μm 解像度投影レンズ PHO-HR シリーズ ◆ その他高強度紫外レーザー用 F-θレンズ等光学系 ◆ 出力可変バリアブルアッテネーターPHO-VA シリーズ ◆ エキシマ用角型ミラー、プリズム、 微調マウント 紫外レーザーと光学系 4 件の 特 許 出 願 中 フ フォ ォト トン ンリ リサ サ− −チ チ 株式会社 〒136-0076 東京都江東区南砂 2-35-5 成沢ビル ● ● T E L 03-6659- 8368 http://www.prd.co.jp ● ● F A X 03-6659-8369 [email protected]
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