レイアウト 2

Motion
181
電動直進ステージ
UTSシリーズ
スチール製ミッドトラベル直進ステージ
Mid-Travel Steel Linear Stages
• 剛性と熱安定性に優れたオールスチール製
• DCモータに20,000カウント/回転の回転エンコーダを取り付けた
モデルは分解能0.1 μmの厳密な位置コントロールに対応
電動垂直ステージ
• 150 mmまでの移動量に対応する超薄型コンパクト設計
• 感度と経済性に優れたステッピングモータモデルもラインナップ
電動回転ステージ
• 10-6 hPaまでの真空仕様
E
CI
ANTE
NS
GU
SP
Compliant
AR
ED
RoHS
F I C ATI O
基本材料
スレンレススチール
ベアリング
リニアボールベアリング
駆動方法
精密研磨バックラッシュ補正リードスクリュー、
デカップリングナット付
ドライブスクリューピッチ
（mm）
2
フィードバック
CC: スクリューにマウントしたロータリーエンコーダ、
PP、PPV6：フィードバックなし
リミットスイッチ
光学検出
原点
光学式、移動範囲中央
モータ
DCサーボ、マイクロステッパ
ケーブル長さ
3 m (付属)
UTS50CCおよびUTS150CCを使用したXYアセンブリの例
DC（CC）
モータ
移動量（mm）
50
最小移動量（µm）
100
ステッピング（PP、PPV6）
150
50
100
0.3
0.3
一方向再現性（µm）
1
1
双方向再現性2（µm）
3.5または±1.75
6または±3
4.5または±2.25
最大速度（mm/s）
ピッチ2（µrad）5
ヨー2（µrad）5
5.5または±2.75
4
5
8または±4.0
204
100または±50
120または±60
75または±37.5
100または±50
120または±60
50または±25
70または±35
90または±45
50または±25
70または±35
90または±45
2.8
3.2
3.7
2.9
3.3
3.8
XPSを使用した場合は0.3 µm、SMC100PPまたはESP301を使用した場合は0.5 µm。
仕様に記載されたピークtoピークの保証値、又は±保証値の半分を示しています。保証値を約2倍した標準仕様の定義については、㈱日本レーザーまでお問い合わ
せください。
軸荷重が1 kgを超える場合は、最大速度を20 mm/sまで下げる必要があります。
SMC100PPを使用した場合は、10 mm/s（UTS-PPV6使用時）、4 mm/s（UTS-PPV6使用時）。
秒単位を求めるには、µrad値を4.8で割ります。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
特殊な製品
3
7または±3.5
5 kg負荷および30%デューティーサイクルで20,000時間
自重（kg）
2
5または±2.5
75または±37.5
MTBF
1
6.5または±3.25
403
測定機器
軸上精度2（µm）
150
電動光学マウント
仕様
電動多軸キネマティックコントローラ&ドライバ
ステージ
設計仕様
電動アクチュエータ
UTSシリーズの直進ステージは、オールスチール構造を持つ薄型デザインのステージで、温度管理が十分でない環境に最適です。
優れた剛性、熱的安定性、および耐荷重性が得られるように設計され、150 mmまでの移動範囲と0.3 µmの最小移動量を実現して
います。DCモータバージョンは、リードスクリューに取り付けられた超高分解能エンコーダと、高精度の最小移動性能と高度な動
的速度コントロールを実現する減速ベルトを備えています。ステッピングモータバージョンは、要求レベルがあまり厳しくない
アプリケーションに適した安価なソリューションです。高出力トルクのステッピングモータがステップ欠損のリスクを最小限に抑
えて、最適な最小移動量を実現します。すべてのUTSシリーズのステージは、均一なスチール設計、ダイアモンド研磨補正された
リードスクリュー、およびバックラッシュ防止予荷重と高性能デカップリングシステムを採用した精密ラッピングナットなどを備
えています。
電動直進ステージ
182
Motion
荷重特性と剛性
Z
D
Q
Cz
kαy
200 N
+Cx、軸荷重
50 N
10 N
-Cx、逆方向軸荷重
10 μrad/Nm
kax、ロール方向剛性
Y
15 μrad/Nm
kay、ピッチ方向剛性
X
電動垂直ステージ
電動回転ステージ
電動アクチュエータ
コントローラ&ドライバ電動多軸キネマティック
ステージ
電動光学マウント
x
kα
Cz、垂直中心耐荷重
+Cx
15 μrad/Nm
Kaz、ヨー方向剛性
Q Cz/(1+D/50)
Q、偏心荷重
–Cx
D、カンチレバー距離（mm）
発注のご案内
モデルシリーズ移動量ドライブ
(mm)
50
CC
MUTS
100
PP
150
真空
仕様 (1)
例：
UTS50CCは、50 mm移動
量およびDCモータドライ
ブのUTSステージです。
V6
10-6 hPaまでの真空に対応。この場合、最大速度と耐荷重は1/2になり
ます。
M-：ミリ仕様バージョンの場合
CC： DCモータ
PP：ステッピングモータ
1)
寸法
M4用ザグリ穴×4、拘束ネジ用、
2.48（63）角上
M4ネジ穴×4、
1.34（34）角上、
深さ：0.16（4）
.20
(5)
B
E
F
G
2.99
(76)
4.13
(105)
SUB-D15
コネクタ
（オス）
UTS50
UTS100
UTS150
A
7.24 (184)
9.21 (234)
11.18 (284)
B
3.54 (90)
4.53 (115)
5.51 (140)
φ0.30（φ7.5）、
貫通穴×4、
ステージ固定拘束
ネジアクセス用
M6ネジ穴 x 9、
0.98 (25) 間隔
深さ：0.47 (12)
H
UTS-PP
図のモデル：UTS100PP
UTS-PPV6
3.07
(78)
1.26
(32) 1.24
(31.5)
C
.39
(10)
.31
(8)
D
4.17
(106)
–
–
F
.76
(19.7)
.65
(16.5)
G
2.26
(57.5)
2.54
(64.5)
H
1.57
(40)
1.50
(38)
UTS-CC &
UTS-PP UTS-PPV6
1.41 (35.8) 1.67 (42.3)
最大
最大
C
D（UTS-PPのみ）
A
UTS-PPV6
.12 (3.15) 最大
下面UTS100CC
M5ネジ穴×4 □92、
深さ0.26（7）
E
3.62
(92)
3.54
(90)
M4用ザグリ穴×4、拘束ネジ用、
2.48
（63）角上
2.39
(109)
.51
(13)
測定機器
2.91
(74)
1.95
(49.5)
.26
(7)
2.44
(62) 2.91
(74)
垂直マウントの構成にはEQ100シリーズ
直角ブラケットを使用します。
.47 (12)
SUB-D15コネクタ
（オス）
3.23
(82)
CAD
CADファイルについては、
弊社までお問合せください。
特殊な製品
通し穴×4、
φ0.30（φ7.5）、
荷台マウント拘束ネジアクセス用
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください

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