レイアウト 2

Motion
171
高性能ロングトラベル直進ステージ
High-Performance Long-Travel Linear Stages
• 剛性が大きく、FEMで最適化された成形アルミニウム製のボディは
熱変形を防止
• 予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリュードライブに
より、短いステップ時間および整定時間でのすばやい移動が可能
NS
GU
E
• 狭い設置面積で高い力学応答性と高信頼性を実現する非接触駆
動システムのLMバージョン
F I C ATI O
発注のご案内
IMS
基本材料
ケージ付きボールを使用した複列再循環
ベアリング
駆動方法
IMS-LM
成型アルミニウム
ボールベアリング
3相同期アイロンコア
バックラッシュのない
ボールスクリュー
5
ピッチ（mm）
-
CC、PP：
フィードバック
スクリューに取り付けた
スチール製
ロータリーエンコーダ、
リニアスケール、
4000ポイント／回転、
信号周期20 µm、1 Vpp、
インデックスパルス
XPSコントローラ使用時は
CCHA：スチール製リニア
信号を32768分割
スケール、信号周期20 µm
原点
光学式
光学式
ケーブル長（m）
5（付属）
力学仕様（LMモデル）
最大速度（mm/s）、負荷なし
推奨モーションコントローラ／ドライバ：
測定機器
リミットスイッチ
電動光学マウント
ドライブスクリュー
リニアモータ
（ホール効果センサなし）
モデルシリーズ移動量ドライブ 4点
(mm)
取り付け
300
例：
400
CC
M-IMS800LM-SAは、800 mm
500
CCHA
移動量、
リニアモータドラ
MIMS
600
イブ、および4点取り付けの
PP
800 (1)
LM
-SA (2) ミリ仕様バージョンのIMS
1000 (1)
ステージです。
1200 (1)
1)
LMドライブバージョンのみ。
2)
800、
1000、
および1200 mm移動量に対応。
M-:
ミリ仕様バージョンの場合
CC:
ロータリーエンコーダ付きDCモータ
CCHA: リニアエンコーダ付きDCモータ
PP:
ロータリーエンコーダ付きステッピングモータ
LM: リニアモータ
SA:
4点取り付け
電動多軸キネマティックコントローラ&ドライバ
ステージ
設計仕様
電動アクチュエータ
IMSシリーズの直進ステージは、ILSシリーズより長い300～1200 mmの直進移動を可能にしてILSシリーズを補完します。低価格な
がら堅牢なデザインと高い性能を実現しており、精密な産業用および実験用アプリケーションに適したコスト効率の高いソリュー
ションです。このステージは、優れた荷重性能と長寿命をもたらす再循環ボールベアリングスライド、負荷中の曲がりやたわみを
防止するFEMで最適化された成形アルミニウム製のボディなどを備えています。IMSシリーズには、ボールスクリューとリニアモ
ータドライブのバージョンがあります。予荷重をかけたバックラッシュのないボールスクリューバージョンは、短いステップ時間
および整定時間でのすばやい移動を可能にします。PPおよびCCモデルでは、スクリューに直接取り付けられた1回転につき4000ポ
イントのエンコーダで位置の測定値が読み取られます。CCHAモデルは、0.1 µmの分解能でのフィードバックが可能なリニアスケ
ールを搭載しています。リニアモータバージョンのIMS-LMシリーズは、中央に配置された鉄を使わない高効率3相同期リニアモー
タを駆動素子として採用して、高速、高加速度、および高システム応答性を実現しています。IMSシリーズのステージは、半導体
ウェーハ検査、マイクロエレクトロニクスの試験と組み立て、ピックアンドプレイス、DNAシーケンシング、あるいはレーザマシ
ニングなどのさまざまな精密産業用アプリケーションに最適です。また、4点取り付けのIMS-LM-SAバージョンは、遅延ラインや、
その他の平坦でない取り付け面のアプリケーションに最適です。
電動回転ステージ
SP
CI
• 精密循環ボールベアリングスライドがボールケージの移動をともな
わない正確なリニアモーションを実現
ANTE
ED
RoHS
Compliant
AR
電動垂直ステージ
• 単軸またはガントリ構造で最大1200 mmまで移動が可能
電動直進ステージ
IMSシリーズ
XPS P257を参照
ESP301 P261を参照
IMS-PPのみ
500
26
最大力（連続）（N）
100
最大力（ピーク）（N）
140
仕様の定義については、P302「モーションの基礎と基準」をご覧ください。
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
特殊な製品
最大加速度（m/s2）、負荷なし
電動回転ステージ
電動垂直ステージ
電動直進ステージ
172
Motion
仕様
IMS（M-IMS）
PP
移動量（mm）
電動アクチュエータ
コントローラ&ドライバ電動多軸キネマティック
ステージ
CCHA
300, 400, 500, 600
300, 400, 500, 600, 800, 1000, 1200
最小移動量（µm）
1.25
0.2
一方向再現性（µm）
1.25
0.5
0.5
双方向再現性2（µm）
2.5または±1.25
1または±0.5
0.5または±0.25
軸上精度、保証値1（µm）
0.02
IMS300:
10または±5
IMS300:
8または±4
IMS400:
12.5または±6.25
IMS400:
11または±5.5
IMS500:
15または±7.5
IMS500:
12.5または±6.25
IMS600:
20または±10
IMS600:
15または±7.5
IMS300
9または±4.5
IMS400
11または±5.5
IMS500
15または±7.5
IMS600
20または±10
IMS800(SA)
25または±12.5
IMS1000(SA)
30または±15
IMS1200(SA)
最大速度（mm/s）
100
200
IMS300：
ピッチ2,3（µrad）
ヨー2,3（µrad）
200
150または±75
150または±75
IMS500:
150または±75
IMS600:
250または±125
IMS400：
150または±75
IMS800:
500または±250
150または±75
IMS800SA:
400または±200
IMS600：
250または±125
IMS1000:
550または±275
IMS1000SA:
450または±225
IMS1200:
600または±300
IMS1200SA:
IMS300
500または±250
100または±50
100または±50
IMS400：
150または±75
IMS500：
150または±75
IMS600：
150または±75
IMS400
150または±75
IMS500
150または±75
IMS600
150または±75
IMS800(SA)
300または±150
IMS1000(SA)
300または±150
IMS1200(SA)
300または±150
20,000
自重（kg）
IMS300:17; IMS400:19; IMS500:21; IMS600:23, IMS800; 24, IMS1000:28, IMS1200:32
2
IMS300:
IMS400:
IMS500：
MTBF（h）
1
35または±17.5
500
150または±75
IMS300：
仕様に記載されたピークtoピークの保証値、又は±保証値の半分を示しています。保証値を約2倍した標準仕様の定義については、P300「モーションコントロー
ルの測定方法」をご覧ください。
秒単位を求めるには、µrad値を4.8で割ります。
荷重特性と剛性
IMS（CC、PP、CCHA）
Cz、通常の中心耐荷重（N）
IMS-LM
100 N
<30 N
-
1 μrad/N.m
Kax、ロール方向剛性（μrad/Nm）
Kaz、ヨー方向剛性（µrad/Nm）
2 μrad/N.m
2 μrad/N.m
1 µrad/N.m
66
1 µrad/N.m
QH、QV ≤ Cz / (1 + D/90)
および
QVは≤ Cxでなければならない
Q、中心から離れた負荷
Cx
-
0.2 μrad/N.m
Kay、ピッチ方向剛性（µrad/Nm）
D
IMS-LM-SA
600 N
-Cx、+Cx、軸耐荷重
電動光学マウント
IMS-LM（-SA）
CC
QH、QV ≤ Cz / (1 + D/90) および
QVは≤ Cxでなければならない
D、荷重の重心とベアリング中心間のカンチレバー距離（mm）
測定機器
Z
D
Z
D
Y
X
QH
H
X
x
kα
Cz
kαy
Y
kαz
+Cx
Cz
特殊な製品
–Cx
IMSの荷重
IMS-LMの荷重
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
QV
Motion
173
電動直進ステージ
寸法（IMS PP、CC、CCHA）
3.54
(90)
1.10
(28)
L1
電動垂直ステージ
7.09
(180)
4.45
(113)
図のモデル：IMS300
1.81
(30)
電動回転ステージ
2.96
(75.2)
寸法インチ表記（カッコ内（mm））
L2
5.91 (150)
SUB-D25Mコネクタ
5.91 (150)
5.91 (150)
M6ネジ用通し穴n1x2
電動アクチュエータ
6.0
(152.4)
5.91
(150)
1/4-20ネジ用通し穴n2x2
5.0 (127)
5.0 (127)
5.0 (127)
n1
4
4
n2
4
4
移動量
11.81 (300)
15.75 (400)
L1
26.30 (668)
30.24 (768)
L2
20.20 (513)
24.13 (613)
(M-)IMS500LM
(M-)IMS600LM
4
6
6
6
19.69 (500)
23.62 (600)
34.17 (868)
38.11 (968)
28.07 (713)
32.01 (813)
EQ180を使用してIMSステージに垂直に取り付け
たRV160（P209参照）
寸法（IMS-LM）
L
CAD
図のモデル：IMS300LM
7.09
(180)
寸法インチ表記（カッコ内（mm））
側面図
（M-）IMS300LM∼（M-）IMS600LM
CADファイルについては、
弊社までお問合せください。
電動多軸キネマティックコントローラ&ドライバ
ステージ
モデル（ミリ仕様）
(M-)IMS300LM
(M-)IMS400LM
7.05
(179)
電動光学マウント
3.54
(90)
1.10
(28)
.83
(21)
.83
(21)
5.91 (150)
5.91 (150)
5.91 (150)
側面図
（M-）IMS800LM（-SA）∼（M-）IMS1200LM（-SA）
M6ネジ用通し穴n1x2
6.0
(152.4)
5.91
(150)
7.09
(180)
5.0 (127)
モデル（ミリ仕様）
(M-)IMS300LM
(M-)IMS400LM
(M-)IMS500LM
5.0 (127)
1/4-20ネジ用
通し穴n2x2
5.0 (127)
L
21.85 (555)
25.79 (655)
29.72 (755)
(M-)IMS600LM
(M-)IMS800LM
(M-)IMS1000LM
(M-)IMS1200LM
(M-)IMS800LM-SA
6
6
23.62 (600)
6
–
31.49 (800)
7
–
39.36 (1000)
8
–
47.23 (1200)
26 x 6（600 x 150）上のネジ穴x4 31.49 (800)
33.66 (855)
44.48 (1130)
52.35 (1330)
60.22 (1530)
44.48 (1130)
(M-)IMS1000LM-SA
(M-)IMS1200LM-SA
28 x 6（750 x 150）上のネジ穴x4 39.36 (1000)
34 x 6（900 x 150）上のネジ穴x4 47.23 (1200)
52.35 (1330)
60.22 (1530)
n2
4
4
6
IMS1000LM
定価は弊社ホームページ(www.newport-japan.jp)にてご確認ください
特殊な製品
移動量
11.81 (300)
15.75 (400)
19.69 (500)
n1
4
4
4
測定機器
4.36
(111)

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