卓上型走査電子顕微鏡：エネルギー分散型 X 線分析装置 TinyEDXS (LE) タイニーエディックス 液体窒素不 要で電 源を入れて数分で使 用可能 軽 元 素（ C , N , O ）か ら 分 析 可 能 点・線・面 分 析 な ど の 豊 富 な 分 析 モ ー ド TinyEDXS(LE) T i n y S E M M i g h t- 8 DX 装 着 時 TinyEDXS (LE) タイニーエディックス 液体窒素不要で電源を入れて数分で使用可能 軽 元 素（ C , N , O ）か ら分 析 可 能 点・線・面 分 析 な ど の 豊 富 な 分 析 モ ード ス ペ クトル 分 析 スペクトル 分 析 例 定 性 ／ 定 量 分 析 例（ステンレス材） 線 分 析（ 例：ハ ン ダ ） ア ス ベ スト 分 析 例 カ ー ボ ン C か ら分 析 可 能 ／自 動 定 性 分 析 定 量 分 析 ／ ス ペ クトル マッ チン グ 線分析 画 像 で 指 定した 線 上を 分 析 連 続 的 に 変 化 する濃 度 を 測 定 する時 に使 用 全 て の 測 定 点 で の ス ペ クトル を 保 存 可 能 で 、 測 定 パ ラメ ー タ を 変 更 して も 再 測 定 不 要 微 量な 測 定に 役 立ちます デ ー タ は C S V フォ ー マットで 出 力 可 能 面分析 元 素 を 色 分 け して マッピ ン グ す る 機 能 同 時 に ８ 元 素 マッピ ン グ が 可 能 面 分 析（ 例：ハ ン ダ ） TinyEDXS(LE) 仕様 検出器有効面積 10 ㎟ 検出器形式 シ リ コ ンド リ フト 検 出 器（ S D D ） エネル ギー分解 能 13 0 e V F W H M (＠ 5 . 9 k e V ) 検出可能元素 C ( 6 ) ∼ A m（ 9 5 ） 検出器窓 軽 元 素 用 有 機 膜 窓（ サ ポ ー ト グ リッド つ き ） 冷却方式 ２ 段 階 電 子 冷 却 式（ 液 体 窒 素 不 要 ） パ ルスプ ロ セッサ 10 e V/ c h 解 析 ソ フト ウ ェ ア １ ．ス ペ クト ル 表 示 マ ー カ ー 表 示 、水 平 / 垂 直 任 意 拡 大 ２ ．定 性 分 析 自 動 定 性 、手 動 定 性 ３ ．定 量 分 析 ス タ ン ダ ー ド レス Z A F 補 正 、1 0 0 ％ ノ ー マ ラ イ ズ 法 ４ ．線 分 析 S E M 像 上 で 分 析 位 置 指 定 、デ ー タ C S V 出 力 可 ５ ．面 分 析 同 時 8 元 素 可 能 製造元 販売元 株式会社テクネックス工房 〒194-0044 東京都町田市成瀬 2305-1 ロフティ町田 TEL. 042-710-4551 FAX. 042-710-4552 http://www.technex.co.jp
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