CDM試験器・規格対応に関する操作方法について

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第25信頼性・ESD対策技術展示会
ワークショップ
CDM規格ESDA-JEDEC-JS002-2014
に対応する試験器のご紹介
営業部
矢田善久
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ESDA-JEDEC-JS002-2014
注意する点
FI-CDM試験
① 印加ピンはポゴピンを使用
② 波形観測オシロは1GHzと6GHz
③ 試験環境は湿度30%以下
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ESDA-JEDEC-JS002-2014対応装置
HED-C5000Rシリーズ
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①印加ピンはポゴピンを使用
規格書内 P16 ANNEX D
 電気回路の説明に
ポゴピンを使用することが明確に記載
今回、
ポゴピンを採用した新ユニットを開発しました。
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印加ユニットの新規開発
① ピン先形状を変更
① 今までは特殊加工ピン先約2mm
② ピン先をポゴピンに変更
ポゴピン使用でピン先が長く作れる
ピン先確認用のカメラを使用可能
デバイスピン形状でポゴピンを交換できる
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印加ピン先照明
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印加ユニット新規開発
CDM規格比較表
発行時期
ESDA/JEDEC JS-002-2014
JESD22-C101F
ANSI/ESD S5.3.1-2009
AEC - Q100-011 Rev-C1
2015年 4月発行
2009/12月
2009/12月
2013/3月
FI-CDM又はD-CDMを併記
FI-CDM/D-CDM
/リレー式を併記
印加方式
5.1項
FI-CDM方式に限定
FI-CDM方式に限定
Pin先形状の定義
5.1項
Pogo Pinと明確に記載
図にPogoが描かれているの Probeと記載されているの
み
み
±125, 250, 500, 750, 1000
±200, 500, 1000
観測電圧
±125, 250, 500, 1000, 2000 ±250, 500, 1000, 2000
Small & Large
(旧JEDEC同等)
校正モジュール
記載無し
4pf & 30pf
Ipeak(Small on 500V)
4.4-5.9A
(1GHzオシロ)
4.8-6.6A
(1GHzオシロ)
3.6-5.4A
(1GHzオシロ)
Ipeak(Large on 500V)
9.1-12.3A
(1GHzオシロ)
9.7-13.2A
(1GHzオシロ)
11.2-16.8A
(1GHzオシロ)
Ipeak(Small on 500V) 上位オシロ
6.1-8.3A
(6GHzオシロ以上)
6.0-9.0A
(3GHzオシロ時)
Ipeak(Large on 500V) 上位オシロ
10.3-13.9A
(6GHzオシロ以上)
14.4-21.6A
(3GHzオシロ時)
試験環境
7.2.1項湿度は30%を超えてはならない規定無し
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低湿度を推奨
規定無し
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試験環境の条件規定
 FI-CDMの環境で試験を行う
デバイス周囲湿度は30%以内とする
気中放電なので湿度でストレスが変化
湿度をコントロールするためのガス調整可能に
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試験環境の条件規定
ガス供給口
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ガスﾊﾞﾙﾌﾞコントロールSW
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試験環境の条件規定
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試験環境の条件規定
メイン画面右下の赤線内
温湿度管理
オプション設定で、温湿度管理を行う設定にした場合表示されす。
温度：測定した温度が表示されます。
湿度：測定した湿度が表示されます。
窒素ボタン：窒素の供給または停止を行います。
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時代を捉え、挑戦し、進化し続ける
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