（平成27年度鳥取県戦略産業雇雇用創造プロジェクト共催）公開講座「最先端デバイイス製造におけるプラズマプロロセスの役割」～原子スケール加加工への取り組み～講演者京都大学大学院工学研究科大江利口浩浩二准教授私たちの日常生活において、プラズマは様々な場面で活躍しています。あまり目立たたない活躍の場として、今日の情報化社会を支える電子機機器の中心部分である超集積回路の製造工程があります。プラズマを用いた加工は現在、その精度がナノスケールルにまで微細化し、人類が保有する最先端技術の１つですす。本講演では、最先端デバイス加工におけるプラズマププロセスを概観しながら、最新の技術・研究を紹介しますす。ぜひ、ご参加下さい。日時聴講無料平成27年11月19日（木木）13：15～14：30 場所鳥取大学工学部 26講講義室対象者県内企業の皆さま・学学内教職員・学生申込締切平成27年1 11月17日（火）お申込は、問い合わせ先もしくははホームページにて承ります学内教職員・学生は申込不要です <主催・問い合わせ先> 鳥取大学学工学部附属先端融合研究センター〒680 0-8552 鳥取市湖山町南4丁目101番地地域学部棟4階4010室 TEL・FAX : 0857-31-6738（内線4346） E-Mail : [email protected] H.P.： http://www.eng.tottori-u.ac.jp/tifrec （平成27年度鳥取県戦略産業雇雇用創造プロジェクト共催）「最先端デバイスス製造におけるプラズマプロセスの役割」～原子スケール加工への取り組み～講義概要・プラズマについて・最先端デバイスとその製造工工程・プラズマを用いた超微細加工工・超微細加工における技術的課課題・プラズマプロセスの今後の展展望 ※内容等について一部変更する場合がござざいます講演者紹介江利口浩二准教授授京都大学大学院工学研研究科専門分野プラズマ応用工学、信頼性物理学電子デバイス工学、光物性工学略歴 1991年 1991年 2005年 2007年 2004年究科修士課程物理工学専攻修了京都大学大学院工学研究松下電器産業株式会社（（現パナソニック株式会社）入社京都大学大学院工学研究究科航空宇宙工学専攻助教授同大学同研究科同専攻准教授京都大学博士（工学） <主催・問い合わせ先> 鳥取大学学工学部附属先端融合研究センター〒680 0-8552 鳥取市湖山町南4丁目101番地地域学部棟4階4010室 TEL・FAX : 0857-31-6738（内線4346） E-Mail : [email protected] H.P.： http://www.eng.tottori-u.ac.jp/tifrec （平成27年度鳥取県戦略産業雇雇用創造プロジェクト共催）場所鳥取大学工学部工 26講義室「最先端デバイス製造におけるプラズマプロセスの役割」～原子スケール加工への取り組み～大学入口工学部 26 講義室 <主催・問い合わせ先> 鳥取大学学工学部附属先端融合研究センター〒680 0-8552 鳥取市湖山町南4丁目101番地地域学部棟4階4010室 TEL・FAX : 0857-31-6738（内線4346） E-Mail : [email protected] H.P.： http://www.eng.tottori-u.ac.jp/tifrec