Optics & Optical Coatings フレームレスミラーユニット フレームレスビームスプリッターユニット アプリケーション システム 光学素子 GMMUHP GBSMU ミラーホルダーの枠を無くし、 ホルダーの前面を全てミラーにしました。 基板に熱膨張係数が小さいセラミック （または合成石英） を高精度研磨しているので、 きわめて高い面精度と温度 安定性が得られます。 YAGレーザの各種波長に使用できるラインナップを用意しています。 ◦ミラータイプは、 高精度研磨したセラミックに誘電体多層膜をコーティングしているので、 ガラスにコートされた誘電体多層膜ミラーとそん色 ありません。 ホルダー ベース 手動ステージ ◦極限までミラーの有効面積を拡大し、 かつ、 コンパクトなミラー調整機構を実現しました。 ◦温度変化によって反射波面が崩れることがないので、 精密な光学系に最適です。 ◦この製品はコート後 （ホルダーの状態） の面精度を保証しています。 ◦レーザ耐力が高く、 ハイパワーレーザでも使用できます。 ▪この製品に関する特許 （特許第4586110号） は2011年11月にシグマ光機㈱が取得しています。 ご案内 アクチュエータ ▶ベースへの取り付け方法はMHGミラーホルダーと同様です。 C010 ▶ポストスタンド （PST-＊＊：別売り） 、 ロッド （RO-＊＊：別売り） に取り付けが可能 です。 自動ステージ D036、D043 注意 ▶面精度保証データは製品には添付されません。面精度保証データの書面が 必要な場合は別途データ作成費用がかかります。営業までお問合せください。 ▶レーザ光などの直線偏光をビームスプリッターに入射する場合、偏光方位に よって反射率や透過率が変化します。厳密に分岐比１ ： １に調整する場合は、 偏光方位を45度に傾けるか円偏光にしてご使用ください。 ▶誘電体多層膜は入射ビームの偏光状態により反射率波長特性が変わります。 P偏光はS偏光に比べて反射率が低く、反射帯域も狭くなります。 ▶仕様の反射率は、P偏光とS偏光の反射率の平均値で表しています。 ▶入射角度45° 以外で使用した場合、反射率が低くなる可能性があります。 ▶適応波長以外の波長で使用した場合、 反射率が低くなる可能性があります。 光源 索引 ガイダンス ミラー ビームスプリッター 共通仕様 ■ホルダー部 GMMUHP-24.4 GMMUHP-49 GBSMU-49 3軸 2軸 あおり ±3 ±2 回転 ±3 ±2 あおり 0.74 0.26 回転 0.74 0.26 主要材質 シンチュウ アルミ 表面処理 スーパーブラッククロム 黒アルマイト 質量 （kg） 0.04 0.16 タイプ ミラー ビームスプリッター 材質 セラミック タイプ 偏光素子 可動軸数 レンズ 調整範囲 （° ） MEオプティクス フィルター プリズム 基板/窓 光学データ メンテナンス 分解能 （° /回転） フェムト秒レーザ フレームレス 面精度保証 ハイパワー用 超広域帯 誘電体多層膜 アルミコート 金コート 調整ネジロック機構 入射角度45° 支点 （回転中心） 合成石英 反射波面 λ/10 スクラッチ−ディグ 反射率 セラミックまたは合成石英 45° ±3° コート後面精度 スーパーミラー 調整ネジ 誘電体多層膜コート ■ミラー部 入射角度 セレクションガイド 機能説明図 20−10 ＞99％ 平均50±5％ カタログ コード W3001 ミラータイプ 品番 価格 〔￥〕 適応波長 〔nm〕 ミラー部形状 〔mm〕 コート範囲 〔mm〕 面精度保証範囲 〔mm〕 レーザ耐力※ 〔J/cm2〕 GMMUHP-24.4-355 58,500 355 24.4×24.4×7 23×23 φ20 8 GMMUHP-24.4-532 58,500 532 24.4×24.4×7 23×23 φ20 26.5 28 GMMUHP-24.4-1064 58,500 1064 24.4×24.4×7 23×23 φ20 GMMUHP-49-355 85,500 355 49×49×8.5 48×48 φ30 8 GMMUHP-49-532 85,500 532 49×49×8.5 48×48 φ30 26.5 GMMUHP-49-1064 85,500 1064 49×49×8.5 48×48 φ30 28 ※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz カタログ コード W3406 ビームスプリッタータイプ 品番 GBSMU-49-VIS 価格 〔￥〕 適応波長 〔nm〕 ミラー部形状 〔mm〕 コート範囲 〔mm〕 面精度保証範囲 〔mm〕 透過有効径 〔mm〕 レーザ耐力※ 〔J/cm2〕 90,000 400〜700 49×49×12 48×48 φ30 φ20 2.1 ※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz B014 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] 外形図 （単位：mm） GMMUHP-24.4 GMMUHP-49/GBSMU-49 アプリケーション システム 調整ネジ 調整ネジロック機構 調整ネジ 光学素子 調整ネジロック機構 品番 T M N GMMUHP-49 8.5 21 30 GBSMU-49 12 29.5 33.5 T 18 MAX 21 ベース 49 24.4 10 MAX14 7 4-C5 手動ステージ φ12 25.4 50 49 5.5 2-φ4.4取付穴 φ7.2ザグリ 18.7 25.4 25 13.7 12.7 アクチュエータ 2.7 12.7 24.4 5 4-C0.3 ホルダー M 25 50 2-M6P1トオシ φ7.5ザグリ N 自動ステージ 光源 索引 フレームレスミラー反射率波長特性（参考データ） GMMUHP-355 GMMUHP-532 100 100 98 98 Ｒ Ｒ 96 〔％〕 P偏光 94 〔％〕 S偏光 平均 92 90 300 310 R：反射率 320 330 340 350 360 ガイダンス ミラー ビームスプリッター 96 P偏光 94 370 380 390 平均 90 450 400 偏光素子 S偏光 92 500 レンズ 550 600 λ 〔nm〕 λ 〔nm〕 フィルター GMMUHP-1064 フレームレスビームスプリッター透過率波長特性（参考データ） T：透過率 100 98 Ｒ Ｔ 平均 〔％〕 950 1000 1050 1100 λ 〔nm〕 光学データ 80 S偏光 92 90 900 100 P偏光 94 1150 1200 1250 プリズム 基板/窓 GBSMU-VIS 96 (%" 〔％〕 MEオプティクス メンテナンス 60 40 P偏光 S偏光 20 0 400 平均 500 600 700 800 λ 〔nm〕 セレクションガイド スーパーミラー フェムト秒レーザ フレームレス 面精度データ （参考データ） ・面精度測定方法 Zygoレーザ干渉計で計測 ・面精度測定波長 632.8nm ・面精度保証温度 23℃±2℃ TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 面精度保証 ハイパワー用 超広域帯 誘電体多層膜 アルミコート 金コート B015
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