液体流量センサー Liquid Flow Sensor Solutions Your Partner for Humidity and Flow Sensor Solutions 革新的な流量センサー技術 カスタマイズソリューション 全ての産業で、プロセスモニタリングとフィードバック制御の重要性が高まっ ています。その結果、最新鋭の流体システムには、安全で信頼性のある液体の ポンピングや供給を保証するために、流量センサーが使われています。 微小流体向け平面基板カスタマイズデザイン 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.co.jp/liquidflow 特許取得済み技術 (非接触測定) 当社の CMOSens® 流量センサー技術は、駆動部品のない熱型 マイクロセンサー方式で、超微少液体流量の測定に最適です。媒 体から隔離された液体流量センサーは、ナノリッターレベ ル まで測定可能です。この世界最小で、最も正確な液体流量セン サーは、最良なコストパフォーマンスで、新たなデザインアプ ローチを可能にします。当社流量センサーでは、フローチャネ ルの外壁に取り付けられた CMOSens Ⓡ デジタルマイクロチッ プが重要な素子で、その壁を通して内側の流量が正確に測定さ れます (US 特許 6,813,944)。 ヒーター 液体の流れ 温度センサー マイクロセンサーチップ 流量測定方法 革新的なアイデアを実現するためには、時に新しい ソリューションを必要とする場合があります。当社 のエキスパートチームは、当社のテクノロジーを通 して、そのソリューションを見つけることに鋭意取 り組んでいます。例えば、高腐食性化学薬品への耐 性、省スペース化および低コスト化などの特別な要 求に応じたカスタムデザインが可能です。また、大 量生産向けに使い捨てセンサーの対応も行っており ます。 当社の最先端センサー技術及び液体流量センシング の豊富な経験は、たくさんのお客様のプロジェクト を成功に導いてきました。医療機器、診断装置やプ ロセスコントロールなどの多様なアプリケーション にて当社のカスタマイズセンサーは使用されていま す。お客様が何を求めているか理解し、当社の技術 を最大限利用して、その要求を達成することが不可 欠と考えております。 小流量 高感度センサーとともに長年培ってきた経験と専門 性が、nl/min から ml/min の超微小流量測定を可能 にしました。 高速 CMOS チップ上に統合された MEMS センサーが、そ の小さな熱式流量測定方式により 50 ms 以下の超高 速応答を可能にしました。 顧客要求対応時の柔軟性および省コスト性 当社には、顧客要求へ柔軟に対応して高性能かつ省 コスト性に優れたカスタムセンサーソリューション をご提案できる先進的な技術があります。 高速性、小型性、信頼性 *原寸大 当社液体流量センサーの標準品は、高いコストパフォーマンスを 提供し、またさまざまな用途に対応できることから、お客様の 開発投資を低減できます。不活性で生体親和性を持つ非接触型 センサーのフローチャネルは、液体の流れを乱す可動部品や障 害物が内部にないので、プロセスとの互換性が保証されていま す。デジタル出力とアナログ出力が選択できますのでシームレス な実装が可能です。配管経路の途中に挿入接続しても手間はか からず、配管が複数分岐するマニフォールドシステムにもダウン マウント接続であれば容易に取付け可能です。また、より複雑な 目的に合わせてのカスタマイズ対応も可能です。 異なる直径をもつキャピラリーを使い、当社液体流量センサー は 70 nl/min から 120 ml/min までの 6 段階の測定レンジに より必 要な 流 量に対応します。そして、センサー素子に加え、 チップには信号の線形化、温 度補償および自己診断のアルゴ リズムに必要なデジタル回路を集積しています。 蚊の吸血 約 10 μl/min nl/min 薬液の注入 約 5 ml/min μl/min チップからのデジタル出力 直線のフロー チャネル マイクロセンサーチップ チューブ壁面からの測定 エスプレッソマシーン 約 250 ml/min ml/min 当社センサーは、70 nl/min から 120 ml/min まで流量を測定することが可能です。 使い捨てチューブに 流れる液体流量を測定 …あるいはマイクロ 流体基板*の中 半導体 自動化 診断 医療 液体流量センサー 製品紹介 SLQ-QT500 石 英 ガ ラ ス や P FA な ど の 高 純 度 な接液面材のみを使い、3 ml/min から 120 ml /min までの流量で校 正されたこのセンサーは、測定精 度が厳密な半導体産業分野などの 投薬用途に最高です。速いレスポ ンスによって、類のない測定時間 で流量をモニターすることができ ます。 モデル 最小受注数量 SLI/SLS シリーズ SL I /SL S シリーズは、ハウジング で 保 護さ れてい るた め 、研 究 室 や 自動 化 産 業に 最 適 です。他 の 液 体 流 量 セン サー同 様、W i n d o w s の P C ビ ュー ワ ー や ロ ガ ーソ フト、 接 続 ケ ーブ ル が 付 い てくる 評 価 キットを準備しております。 フルスケール流量 測定値精度 双方向測定 LG16/LG01 OEM 向け OEM 機器に流体センサーを一体化 するのには、省スペースな LG16 シリーズが最適です。I 2 C コミュ ニケーションのデジタル版 と、0-5 V のアナログ出力版 があります。LG01 センサーは、 フロー検出 (気泡、液漏れ) に最適 です。 流体 出力 最大ケーブル長さ SLG アナログ RS485 SLG64-0075 1個 SLI SLI-0430 SLI-1000 1個 水 炭化水素 1 ml/min 10 ml/min 水 炭化水素 5 ml/min 80 ml/min 水 炭化水素 5% ○ ○ 水系又は炭化水素系の流体 0 -1 0V (校正は 水 又は IPA) 水系又は炭化水素系の流体 0 -1 0V (校正は 水 又は IPA) ○ ○ 最大耐圧 モデル (○)1 RS485: 100 m (○)1 RS485: 100 m 外径 1/16“ 外径 1/32“, 1/16“, 1/8“ 1000 bar SLG64-0075 50 bar SLI-0430 12 bar SLI-1000 12 bar SLI-2000 40 ml/min 水 10% ○ 水系の流体 0 -1 0V ○ (○)1 RS485: 100 m 外径 1/32“, 1/16“, 1/8“ 12 bar SLS-1500 SLQ-QT500 1個 120 ml/min 120 ml/min 水 炭化水素 10% ○ 水系又は炭化水素系の流体 0 -1 0V (校正は 水 又は IPA) ○ (○)1 RS485: 100 m 外径 1/4“ 12 bar SLQ-QT500 LG16-0025 1.5 μl/min 水 10% LG16-0150 7 μl/min 70 μl/min LPG10 OEM LS32 OEM LG16 OEM 1個 0 -5 V ○ 外径 1/32“ 200 bar LG16-0025 水 炭化水素 水系又は炭化水素系の流体 0 -5 V (校正は 水 又は IPA) ○ 外径 1/32“ 200 bar LG16-0150 80 μl/min 500 μl/min 水 炭化水素 水系又は炭化水素系の流体 0 -5 V (校正は 水 又は IPA) ○ 外径 1/32“ 100 bar LG16-0430 1 ml/min 10 ml/min 水 炭化水素 水系又は炭化水素系の流体 0 -5 V (校正は 水 又は IPA) ○ 外径 1/16“, 1/8“ 12 bar LG16-1000 LG16-2000 5 ml/min 水 水系の流体 ○ 外径 1/16“, 1/8“ 5 bar LG16-2000 LG16-2000HC 80 ml/min 炭化水素 炭化水素系の流体のみ (校正は IPA) ○ 外径 1/16“, 1/8“ 5 bar LG16-2000HC 40 ml/min 水 ○ I2C: 30 cm 外径 1/8“ 12 bar LS32-1500 100 μl/min 水 ダウンマウント 10 bar I2C: 30 cm LPG10-0500 3 bar LPG10-1000 LG16-0430 LG16-1000 LS32-1500 LPG10-0500 LPG10-1000 LG012000A090 LG012000A005 オプション 量産用:25個 評価用: 3個 量産用: 20個 評価用 : 1個 量産用:100個 評価用: 1個 1個 1 ml/min 5% 220 ml/min 水 検出レベル：0.25 ml/min ○ 10% ○ 水系の流体 5% ○ 水系の流体 ✕ 水系の流体 水 50 ml/min 水 検出レベル：4.5 ml/min 水系の流体 10% 0 -5 V ○ ○ 0 V 表示: 検出レベル未満の 流量あるいは気泡 5 V 表示: 検出レベル以上の 流量 LPG10 シリーズは、非常に限られ たスペースで、優れた性能と高速応 答を可能にした、現在当社よりご提 供できる最も小さいサイズの液体流 量センサーです。この革新的なデザ イ ン は 、 当 社 の 高 感 度 マ イ ク ロ チ ッ プにより平面微小流体用基板に流れ る液体流量を管壁外から測定しま す。基板底部にある流体ポートはマ ニフォールドシステムへ容易に接続 することができます。 nl/min 10 SLS 80 μl//min 500 μl/min 10% チューブ径 I 2C SLS-1500 LG01 OEM 1 水 炭化水素 LPG10 OEM 向け この流量センサーは、耐薬品性とともに 小型で機械的に堅牢なハウジングを備え ています。接液部材質 (高性能ステンレス スチール、PEEK 及び PTFE) は、優れた生 体親和性及び化学薬品耐性を備えます。 また、このセンサーはバイオメディカル マーケットに理想的な製品であると同時 に 0–40 ml/min の流量範囲でその他のさ まざまなアプリケーションに対して省コス ト性および省スペース性に優れ、信頼性も 高いソリューションを提供します。 SLQ SLI-2000 5 μl/min 10 μl/min LS32-1500 OEM 向け I2C: 30 cm 3m 外径 1/16“, 1/8“ µl/min 100 1 ml/min 10 100 1 10 100 LG01-2000A090 3 bar LG01-2000A005 流量レンジ 水 (H2O) 炭化水素 (HC) 150110-JP-LF いつでも どこでも センシング スイス Sensirion AG Laubisrütistrasse 50 8712 Staefa Switzerland Phone +41 44 306 40 00 Fax +41 44 306 40 30 [email protected] www.sensirion.com アメリカ Sensirion Inc. 2801 Townsgate Road, Suite 204 Westlage Village, CA 91361 United States Phone +1 805 409 4900 Fax +1 805 435 0467 [email protected] 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