Technical Newsletter
#tnl2015-0008j
HogoMax の類似品に関するご注意
他社製品は使用しないでください
水溶性保護膜『HogoMax』は、レーザ加工前に加工面に塗布することでデブリ(レーザ加工屑)の付
着を大幅に抑制します。
弊社レーザ装置は HogoMax 使用を前提としており、他社製品ではバンプなど凹凸部に未塗布領域
ができデブリが付着する恐れがあります。
弊社では HogoMax 以外の塗布性を保証しておりません。他社製品の使用で生じる塗布条件出し/
装置故障対応は保証期間内であっても有償となりますのでご了承ください。
対象装置
DFL7161 / DFL7160 / DFL7020 (2015/04/27 現在)
HogoMax と類似品の違い
類似品は加工マージンが少なく、条件によってはレーザ加工位置の近傍にデブリが付着します。
Protective film
水溶性保護膜
200
Feed sped [mm/s]
400
600
HogoMax
類似品
Process condition
Wafer
: 5.9W_40kHz_Just focus
: mirror Si
お問い合わせ
本件についてのお問い合わせは、弊社営業担当またはサービス拠点までお願いいたします。
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