異常放電防止ユニットA2Kシリーズ

電源
異常放電防止ユニット【A2K シリーズ】
A2K シリーズは反応性スパッタリングプロセスにおいて、直流電源にプラス電圧をパルス印加しターゲット上の電荷を中和する
異常放電防止ユニットとなります。
既設装置にも簡単に取り付け可能で、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。
A2K-40K
特
用
長
高スループット
異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能
基板ダメージの低減
アーク起因の基板ダメージを低減可能
途
FPD 用反応性スパッタリング装置
産業コーティング用反応性スパッタリング装置
カラーＴＦＴ用反応性スパッタリング装置
基板温度の抑制
RFスパッタリングに比べ基板温度の抑制が可能
簡易な接続性
既存の装置にも接続が可能 ※ 1
逆パルス周波数の変更可能
A2KH-25/50：1kHz ～ 20kHz、A2K-20K/40K：1kHz ～
50kHz の範囲で可能
パルス同期システム
複数台の A2K の出力パルス同期が可能 ※ 2, ※ 3
■応用：パルス同期システム
同一チャンバー内でカソードが近接しており、
カソードが対向、
もし
くは複数台のA2Kの放電が干渉している時には、
位相制御機能をご
使用頂くことでA2Kの逆パルスを同相にし、
放電の干渉を防止させ
ることが可能です。※3,※4
A2K-20K、40Kは各々 6 台まで並列運転可能
※1：弊社DC電源：DPGシリーズとの接続が可能
※2：A2KH-25、
50、
A2K-20K、
40Kの混在使用によるパルス同期および
並列運転はできません
※3：A2KH-25/50 は外部同期ユニット（PHSM/PHSS）が必要
※4：A2K-20K/40Kは光同期ケーブル（Pulse link cable）が必要
No.1
出力電圧波形
No.2
出力電圧波形
電源
マスタースレーブ接続により大容量化が可能
異常放電防止ユニット【A2K シリーズ】
仕
型　式
A2KH-25
入力
AC90 ～ 110V
様
A2KH-50
A2K-20K
120VA
400VA
A2K-40K
AC100 ～ 240V
周波数
単相　50/60Hz
電力
100VA
漏洩電流
1mA以下
動作電圧
-100 ～ -800V
動作電流
0 ～ 25A
0 ～ 50A
0 ～ 50A
入力構造
コネクタ接続
端子台もしくはコネクタ接続
コネクタ接続
パルス幅
5μs/10μs　内部スイッチで切替
1 ～ 18μs ※周波数制限有
出力仕様
発振周波数
パルス幅　5μs選択時の周波数2,5,10,15,20kHz
パルス幅　10μs選択時の周波数1, 2.5 , 5, 7.5 ,10kHz
1kHz ～ 50kHz
1kHz毎に可変
逆パルス電圧
DC電源出力電圧の10-20%
（負荷インピーダンスに依存）
耐圧
連続
-1500Vdc
制御電源入力
入力仕様
0 ～ 100A
並列運転機能
無し
冷却方式
強制空冷
外形寸法
（W×D×H)※6
238mm×450mm×149mm
431mm×450mm×149mm
483mm×630mm×177mm
質量
16kg
26kg
30kg
適合規格
最大6台まで可能※5
RoHS指令
45kg
動作周囲温度　5℃～ 40℃
（結露なき事）
動作環境　直射日光、
熱、
ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと
※5：A2K-20KとA2K-40Kの混在使用は不可
※6：突起部含まず
外
形
寸
法
図
A2KH-25
A2KH-50
単位：mm
単位：mm
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A2K-40K
A2K-20K
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䃥
単位：mm
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株式会社アルバック規格品事業部
国内販売：　アルバック販売株式会社
■東日本営業統括部 TEL 03-5218-6011
（代）
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単位：mm
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（代）
海外販売：　株式会社アルバック
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当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。 2459J/2015083000SP

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