気体流量計測／制御 調節計 1 MCS200シリーズ 小形エアマスフローセンサ 小形エアマスフローセンサ MCS200シリーズは、 記録計 ／指示計 2 大気分析機の空気流量計測、ガス分析機の窒素流量計測、 微小電子部品の真空吸着確認用途などにご利用いただけます。 MCS100シリーズと比べて、 より小形、軽量であることが特長です。 配管との接続はマニフォールド取付けとなります。 3 変換器 MCS200S,L 燃焼安全 制御機器 4 操作端 5 センサ 6 形 番 計測流量レンジ MCS200S9500 MCS200S0001 MCS200S0003 0〜500mL/min 0〜1L/min 0〜3L/min 形 番 計測流量レンジ 空気/窒素, ただし検出流体が塩素, 硫黄, 酸等の腐食成分を含まないこと。 MCS200R9500 MCS200R0006 −500〜＋500mL/min −6〜＋6L/min 20℃, 1気圧（101.325kPa（abs）） に換算した1分間あたりの体積流量値 20℃, 1気圧（101.325kPa（abs）） に換算した1分間あたりの体積流量値 計測対象気体 MCS200R 計測対象気体 空気/窒素, ただし検出流体が塩素, 硫黄, 酸等の腐食成分を含まないこと。 および乾燥気体であること。 および乾燥気体であること。 ダスト, およびミスト （オイルミスト） を含まない清浄気体であること。 ダスト, およびミスト （オイルミスト） を含まない清浄気体であること。 応答性 5ms以下（ステップ状の流量変化に対する95％出力応答時間） 応答性 出力信号 DC1〜5V（ノンリニア特性）, 許容負荷抵抗 1MΩ以上 出力信号 DC1〜5V（ノンリニア特性）, 許容負荷抵抗 1MΩ以上 使用温度範囲 −10〜＋60℃ （周囲温度, 計測気体温度ともに） 使用温度範囲 −10〜＋60℃ （周囲温度, 計測気体温度ともに） 使用圧力範囲 −100〜＋200kPa（ただし圧力特性保証範囲は−70〜＋200kPa） 使用圧力範囲 −100〜＋200kPa（ただし圧力特性保証範囲は−70〜＋200kPa） 定格電源電圧 DC24V, リップル：10％以下（DC24V駆動時） 定格電源電圧 DC24V, リップル：10%以下（DC24V駆動時） 消費電流 12mA以下 消費電流 12mA以下 質 量 約5g（ケーブルを含まず） 質 量 約5g（ケーブルを含まず） 形 番 MCS200L0001 MCS200L0003 0〜1L/min 0〜3L/min 計測流量レンジ 5ms以下（ステップ状の流量変化に対する95%出力応答時間） 20℃, 1気圧（101.325kPa（abs）） に換算した1分間あたりの体積流量値 計測対象気体 空気/窒素, ただし検出流体が塩素, 硫黄, 酸等の腐食成分を含まないこと。 および乾燥気体であること。 ダスト, およびミスト （オイルミスト） を含まない清浄気体であること。 応答性 300ms以下（ステップ状の流量変化に対する95%出力応答時間） 出力信号 DC0.5〜3.5V（ノンリニア特性）, 許容負荷抵抗 1MΩ以上 電源電圧が5V以下のときの電圧出力範囲は,「0.5〜（v−1.5）V」以上となります。 （vは電源電圧を表します） 調節器 7 例：電源電圧＝4.8Vのときは3.3V［＝4.8−1.5］以上となります。 使用温度範囲 −10〜＋60℃ （周囲温度, 計測気体温度ともに） 使用圧力範囲 −100〜＋200kPa（ただし圧力特性保証範囲は−70〜＋200kPa） 定格電源電圧 DC5V, リップル：0.2%以下 消費電流 6mA以下 質 量 約5g（ケーブルを含まず） ●機種選定の際は, スペックシートNo.CP-SS-1855を必ずご覧ください。 ／制御 気体流量計測 8 計測レンジ 0〜500mL/min フローセンサモデル（高精度） 0〜1L/min 駆動電圧 コネクタ仕様 DC24V ケーブル垂直取出し DC5V ケーブル垂直取出し DC24V ケーブル水平取出し 0〜3L/min 小形エアマスフローセンサ 0〜1L/min フローセンサモデル（DC5V駆動） 0〜3L/min 小形エアマスフローセンサ −500〜＋500mL/min チャックセンサモデル（デュアルレンジ） −6〜＋6L/min 形 番 納 期 MCS200S9500 MCS200S0001 MCS200S0003 MCS200L0001 MCS200L0003 MCS200R9500 MCS200R0006 ●価格は弊社販売員にお問合わせください。 〈納期〉◎ : 常時在庫品 空調制御機器 9 品 名 小形エアマスフローセンサ 無印 : 受注生産品 （弊社販売員にお問合わせください。） 品 名 専用コネクタ付ハーネス 形 番 内 容 価 格（円） 81446888-001 MCS200S, L用, ハーネス長2m 800 81446888-002 MCS200S, L用, ハーネス長3m 1,000 81447239-001 MCS200R用, ハーネス長2m 1,000 81447239-002 MCS200R用, ハーネス長3m 納 期 ◎ 1,200 〈納期〉◎ : 常時在庫品 無印 : 受注生産品 （弊社販売員にお問合わせください。） 8-24 気体流量計測／制御 1 小形エアマスフローセンサ 調節計 MCS200シリーズ （単位：mm） 2 4.5 10 4.5 記録計 ／指示計 コネクタ：日本圧着端子製造製 BM03B-SRSS-G-TB 相手側：SHR-03V-S-B 適合コンタクト：SSH-003GA-P0.2（AWG32∼28対応） 変換器 3 28.2 4 23.8 ±0.1 5 8.2 ガスケット 5.5 ±0.1 3 燃焼安全 制御機器 10.2 12.05 20 操作端 2- φ 16 2. 1 ± 0. 1 穴 センサ 6 コネクタ：日本圧着端子製造製 BM03B3.9-AGHS-GH-TF 相手側：AGHR-03V-1-H，SAGH-002GU-P0.3 （AWG♯30∼♯26対応） 4.5 10 調節器 4.5 7 28.2 3 5.5 ±0.1 8.2 16 9 空調制御機器 23.8 ±0.1 11.8 10.2 ／制御 ガスケット 気体流量計測 8 20 2- φ 2. 1 ± 0. 1 穴 8-25
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