［優 秀 賞］ 大型ガラス基板片面研磨装置 株式会社 芝技研 〒239-0836 神奈川県横須賀市内川2-5-53 TEL. 046（837）1610 http://www.shibagiken.co.jp/japanese/ ワークサイズより小さい研磨定盤を採用した大型ガ 代表取締役 ラス基板の片面研磨機。小径定盤により発生しやすく 福島 洋一 氏 なる定盤エッジでの条痕対策として、エッジ部分を薄 くし、ガラスからの反力により逃がす機造を採用。多 種の研磨パターンを組み合わせることで均一な研磨を 実現した。研磨再現性には、定盤回転数を一定とし、 さらに研磨時の定盤回転駆動電流値を一定する研磨圧 制御を採用した。薄板ガラス研磨にはガラス固定にス テンレス薄板にバックパッドを貼る水貼り方式を採用 し、研磨後のガラス取り外しを容易とするなどの工夫 がなされている。 本装置は、研磨パターンによる研磨量が既知であれ ば、組合せにより目的とする研磨ができる。研磨量は 0.2μｍ／分とワークサイズに対し研磨定盤が小さ く、効率が悪く見えるが、研磨定盤の仕事量に換算す ると従来の倍になる。３∼４倍の研摩定盤速度で、 AFM測定でRａ0.1nmを達成している。 ［優 秀 賞］ 自動紙折り機「AFC-566FKT」 太陽精機株式会社 〒601-8204 代表取締役社長 堀 八郎 氏 京都市南区久世東土川町242 TEL. 075（921）9211 http://www.taiyo-seiki.jp/ 紙折り機は、調整箇所が多く、従来機の操作には 高度なスキルが必要とされ、また各部の調整に多く の時間を必要としていた。 本機は、多くの調整箇所（38箇所）を自動化する だけでなく、操作性も飛躍的に向上させ、最高水準 の業務用紙折り機とした。 タッチパネル操作部に用紙サイズと折形を入力し、 用紙厚測定部に用紙を挟むだけで各部が自動設定さ れ、特に調整にスキルと時間を要する折ローラ隙間 調整は、全隙間を５μm単位で一括設定できる。また 業界初の赤外線リモコン操作スイッチの採用で、機械の各部に移動することなく、操作パネルで設定値 を見ながら安全かつ迅速に調整できるようになった。 国内だけでなく欧州市場においても高い評価を受けており、出荷台数の60％超は海外向けとなってい る。 6
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