空圧サーボ弁

空圧サーボ弁
J814シリーズ
ノズルフラッパ型小型空気圧サーボ弁
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J814シリーズ
概要
J814 シリーズ空圧サーボ弁は、3 方弁および 4 方弁の用途に利用される
高応答、高精度の空気圧サーボ弁です。指令信号対制御圧力の再現性
が良いので空圧式のシステムで圧力または力の制御、振動制御や位置
制御等を行なうのに適しています。また、3 方弁では真空を応用した使
い方も可能です。
3 方弁は、0.5MPa の弁圧力損失で標準タイプは 1 ∼ 50NL/min、大
流量タイプは∼ 200NL/min の定格流量の 1 段型サーボ弁です。その構
造は、1 対のノズルとフラッパーが 1 組のエアギャップを持つトルクモー
タで駆動される方式です。サーボ弁の設計はシンプルで堅牢であり、長
時間の使用に対して信頼性が保たれるものになっています。
4 方弁は、一対のノズルの上流にそれぞれオリフィスを設け、制御ポート
を 2 つ有しています。0.5MPa の弁圧力損失で 1 ∼ 14NL/min の定格
流量の 1 段型サーボ弁です。
目次
概要
2
作動原理
3
特長
3
技術データ
3
一般技術データ
3
サーボ弁流量特性グラフ
3
サーボ弁圧力特性グラフ
3
断面構造
4
取付寸法図
4
使用事例
5
空圧アプリケーション例
5
画像の左側は大流量タイプ
注記:本 書に記 載されている情 報 、内 容は予 告なく変 更する場 合があります。最 新 情 報は弊 社までお問 い 合わせください 。
2
J814シリーズ
概要/技術データ
特長
作動原理
入力電流がトルクモータのコイルに流れ、アマチュアに
磁気による力と極性を与えます。
●
アマチュアは、上下磁極との磁気的関係により、入力電
流の大きさと極性に応じて傾きます(トルク発生)。
●
左 右のノズ ル の 中 間 に位 置していたフラッパは、アマ
チュアと一体のため、アマチュアの傾きにつれて変位し、
左右のノズルの開度を変化させます。
●
●
トルクモータを用いた 1 段型ノズルフラッパ弁
●
高い分解能と低いヒステリシス
●
小型軽量
●
低消費電力
●
高応答性
●
摺動部がなく頑強で長寿命設計
3 方弁では左右のノズルの開度に応じて制御圧力が供給
●
圧力から大気圧力まで変化するので、入力電流に応じて
制御圧力を出力することができます。
4 方弁では、2 つの制御ポートの差圧力が入力電流にほ
ぼ比例して出力されます。
●
技術データ
一般技術データ(標準タイプ)
J814(3 方弁)
1 ∼ 50 NL/min
項目
定格流量 (弁圧力降下 500 kPa 時)
1,000 kPa
0 ∼ 1,000 kPa
1,500 kPa
1,500 kPa
定格圧力
制御圧力範囲
供給側耐圧
戻り側耐圧
0 ∼ 100 mA
定格電流
J814(4 方弁)
1 ∼ 14 NL/min
± 100 mA
≦ 3.0 %
ヒステリシス − 10 ∼ 60 ℃
使用温度範囲 適合流体
圧縮空気
質量 約 400 g
200 NL/min までの定格流量の大流量弁もあります。日本ムーグまでご相談ください。
サーボ弁流量特性グラフ(3 方弁)
サーボ弁圧力特性グラフ(3 方弁)
50
700
600
40
35
出力圧力 [kPa]
出力流量 [NL/min]
45
30
25
20
15
10
30
0
20
40
60
80
300
200
入力信号 [% ]
0
100
サーボ弁流量特性グラフ(4 方弁)
700
P-C1 流量
15
P-C 2 流量
10
5
出力圧力 [kPa]
2
0
-100
0
20
40
60
80
入力信号 [% ]
100
サーボ弁圧力特性グラフ(4 方弁)
600
25
出力流量 [NL/min]
400
100
5
0
500
C2
500
400
300
200
C1
100
-50
0
入力信号 [% ]
50
100
0
-100
-50
0
入力信号 [% ]
50
100
3
J814シリーズ
技術データ
3 方弁
4 方弁
断面構造(ノズルフラッパ弁)
断面構造(ノズルフラッパ弁)
大気
コントロールポート 供給ポート
(真空)(コントロールポート) (大気)
コントロール
ポート 1
※()内は真空での使用時
銘板
ケーブル長
7
7
ラベル
18
約250mm
18
約250mm
47(最大)
47(最大)
φ38
ケーブル長
ラベル
43
43
タンクポート EX
21.5
4.6
制御ポート C2
11.6 11.6
29.6
17.9
4.2
33.8
43
タンクポート EX
Oリング
JIS B2401-P5
16.9
供給ポート IN
Oリング
2-JIS B2401-P9
4.6
33.8
制御ポート C
43
(4.6)
4.6
43
コントロール
ポート 2
取り付け寸法図
銘板
φ38
Oリング
JIS B2401-P5
大気
制御ポート C1
Oリング
21.5
4.6
3-JIS B2401-P9
取付ボルト
12.7
33.8
供給ポート IN
(4.6)
取付ボルト
4-M4×25L
4-M4×25L
C1
IN
白
結線
4
EX
赤
ブロック図
EX
IN
C
赤
33.8
取り付け寸法図
供給
ポート
白
結線
ブロック図
C2
J814シリーズ
使用事例
使用事例
●
ロボット
●
半導体製造装置
●
アクティブ除振装置
●
アニマトロニクス
●
荷重試験機
●
押し付け力制御装置
●
内圧制御装置
空圧アプリケーション例
荷重試験装置
アクティブ除振システム
サーボアンプ
サーボアンプ
指令信号
指令信号
J814
J814
シリンダ
加速度センサ
テーブル
供給
供給
〔空気バネ〕
位置センサ
チャンバ
ロードセル
ワーク
チャンバ内圧力制御
位置、荷重制御装置
サーボアンプ
サーボアンプ
指令信号
指令信号
J814
J814
荷重制御または
位置制御
P 圧力センサ
供給
供給
流体
位置センサ
ロードセル
5
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