空圧サーボ弁 J814シリーズ ノズルフラッパ型小型空気圧サーボ弁 WHAT MOVES YOUR WORLD J814シリーズ 概要 J814 シリーズ空圧サーボ弁は、3 方弁および 4 方弁の用途に利用される 高応答、高精度の空気圧サーボ弁です。指令信号対制御圧力の再現性 が良いので空圧式のシステムで圧力または力の制御、振動制御や位置 制御等を行なうのに適しています。また、3 方弁では真空を応用した使 い方も可能です。 3 方弁は、0.5MPa の弁圧力損失で標準タイプは 1 ∼ 50NL/min、大 流量タイプは∼ 200NL/min の定格流量の 1 段型サーボ弁です。その構 造は、1 対のノズルとフラッパーが 1 組のエアギャップを持つトルクモー タで駆動される方式です。サーボ弁の設計はシンプルで堅牢であり、長 時間の使用に対して信頼性が保たれるものになっています。 4 方弁は、一対のノズルの上流にそれぞれオリフィスを設け、制御ポート を 2 つ有しています。0.5MPa の弁圧力損失で 1 ∼ 14NL/min の定格 流量の 1 段型サーボ弁です。 目次 概要 2 作動原理 3 特長 3 技術データ 3 一般技術データ 3 サーボ弁流量特性グラフ 3 サーボ弁圧力特性グラフ 3 断面構造 4 取付寸法図 4 使用事例 5 空圧アプリケーション例 5 画像の左側は大流量タイプ 注記:本 書に記 載されている情 報 、内 容は予 告なく変 更する場 合があります。最 新 情 報は弊 社までお問 い 合わせください 。 2 J814シリーズ 概要/技術データ 特長 作動原理 入力電流がトルクモータのコイルに流れ、アマチュアに 磁気による力と極性を与えます。 ● アマチュアは、上下磁極との磁気的関係により、入力電 流の大きさと極性に応じて傾きます(トルク発生)。 ● 左 右のノズ ル の 中 間 に位 置していたフラッパは、アマ チュアと一体のため、アマチュアの傾きにつれて変位し、 左右のノズルの開度を変化させます。 ● ● トルクモータを用いた 1 段型ノズルフラッパ弁 ● 高い分解能と低いヒステリシス ● 小型軽量 ● 低消費電力 ● 高応答性 ● 摺動部がなく頑強で長寿命設計 3 方弁では左右のノズルの開度に応じて制御圧力が供給 ● 圧力から大気圧力まで変化するので、入力電流に応じて 制御圧力を出力することができます。 4 方弁では、2 つの制御ポートの差圧力が入力電流にほ ぼ比例して出力されます。 ● 技術データ 一般技術データ(標準タイプ) J814(3 方弁) 1 ∼ 50 NL/min 項目 定格流量 (弁圧力降下 500 kPa 時) 1,000 kPa 0 ∼ 1,000 kPa 1,500 kPa 1,500 kPa 定格圧力 制御圧力範囲 供給側耐圧 戻り側耐圧 0 ∼ 100 mA 定格電流 J814(4 方弁) 1 ∼ 14 NL/min ± 100 mA ≦ 3.0 % ヒステリシス − 10 ∼ 60 ℃ 使用温度範囲 適合流体 圧縮空気 質量 約 400 g 200 NL/min までの定格流量の大流量弁もあります。日本ムーグまでご相談ください。 サーボ弁流量特性グラフ(3 方弁) サーボ弁圧力特性グラフ(3 方弁) 50 700 600 40 35 出力圧力 [kPa] 出力流量 [NL/min] 45 30 25 20 15 10 30 0 20 40 60 80 300 200 入力信号 [% ] 0 100 サーボ弁流量特性グラフ(4 方弁) 700 P-C1 流量 15 P-C 2 流量 10 5 出力圧力 [kPa] 2 0 -100 0 20 40 60 80 入力信号 [% ] 100 サーボ弁圧力特性グラフ(4 方弁) 600 25 出力流量 [NL/min] 400 100 5 0 500 C2 500 400 300 200 C1 100 -50 0 入力信号 [% ] 50 100 0 -100 -50 0 入力信号 [% ] 50 100 3 J814シリーズ 技術データ 3 方弁 4 方弁 断面構造(ノズルフラッパ弁) 断面構造(ノズルフラッパ弁) 大気 コントロールポート 供給ポート (真空)(コントロールポート) (大気) コントロール ポート 1 ※()内は真空での使用時 銘板 ケーブル長 7 7 ラベル 18 約250mm 18 約250mm 47(最大) 47(最大) φ38 ケーブル長 ラベル 43 43 タンクポート EX 21.5 4.6 制御ポート C2 11.6 11.6 29.6 17.9 4.2 33.8 43 タンクポート EX Oリング JIS B2401-P5 16.9 供給ポート IN Oリング 2-JIS B2401-P9 4.6 33.8 制御ポート C 43 (4.6) 4.6 43 コントロール ポート 2 取り付け寸法図 銘板 φ38 Oリング JIS B2401-P5 大気 制御ポート C1 Oリング 21.5 4.6 3-JIS B2401-P9 取付ボルト 12.7 33.8 供給ポート IN (4.6) 取付ボルト 4-M4×25L 4-M4×25L C1 IN 白 結線 4 EX 赤 ブロック図 EX IN C 赤 33.8 取り付け寸法図 供給 ポート 白 結線 ブロック図 C2 J814シリーズ 使用事例 使用事例 ● ロボット ● 半導体製造装置 ● アクティブ除振装置 ● アニマトロニクス ● 荷重試験機 ● 押し付け力制御装置 ● 内圧制御装置 空圧アプリケーション例 荷重試験装置 アクティブ除振システム サーボアンプ サーボアンプ 指令信号 指令信号 J814 J814 シリンダ 加速度センサ テーブル 供給 供給 〔空気バネ〕 位置センサ チャンバ ロードセル ワーク チャンバ内圧力制御 位置、荷重制御装置 サーボアンプ サーボアンプ 指令信号 指令信号 J814 J814 荷重制御または 位置制御 P 圧力センサ 供給 供給 流体 位置センサ ロードセル 5 より詳しい情報はこちらへ ムーグの製品、各ソリューションおよびサービスに関する詳しい情報は、メールでお問い合わせいただくか、 WEB サイトをご覧ください。また、最寄りのムーグの事業拠点にも直接お問い合わせいただけます。 アイルランド 韓国 ノルウェー アメリカ シンガポール フィンランド アルゼンチン スイス フランス +353 21 451 9000 [email protected] +1 716 652 2000 [email protected] +54 11 4326 5916 [email protected] イギリス +44 168 429 6600 [email protected] イタリア +39 0332 421 111 [email protected] インド +91 80 4057 6666 [email protected] オーストラリア +61 3 9561 6044 [email protected] オランダ +82 31 764 6711 [email protected] +65 677 36238 [email protected] +41 71 394 5010 info.switzerland@moog. com スウェーデン +46 31 680 060 [email protected] スペイン +34 902 133 240 [email protected] 中国 +86 21 2893 1600 [email protected] ドイツ +49 7031 622 0 [email protected] +31 252 462 000 info.netherlands@moog. com トルコ カナダ 日本 +1 716 652 2000 [email protected] +90 216 663 6020 [email protected] +81 46 355 3767 [email protected] www.moog.co.jp ©2015 Moog Inc. 日本ムーグ株式会社 Moog およびムーグはMoog Inc. の登録商標です。 本書に記された全ての商標はMoog Inc. および日本ムーグ株式会社の商標です。 J814 Series-ja YCO / YCO / PDF, AUGUST 2015 WHAT MOVES YOUR WORLD +47 6494 1948 [email protected] +358 10 422 1840 info.fi[email protected] +33 1 4560 7000 [email protected] ブラジル +55 11 3572 0400 [email protected] 香港 +852 2 635 3200 [email protected] 南アフリカ +27 12 653 6768 [email protected] ルクセンブルグ +352 40 46 401 [email protected] ロシア +7 8 31 713 1811 [email protected]
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