報道関係者各位 プレスリリース 2015 年 11 月 25 日 並木精密宝石株式会社 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 大口径 単結晶ダイヤモンドの開発に成功 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 並木精密宝石株式会社（東京都足立区、代表取締役社長:矢口洋一）は青山学院大学 澤邊厚仁教授 と共同で大口径 高品質単結晶ダイヤモンドの結晶成長開発に成功しました。半導体基板分野へ 2016 年度より順次サンプル販売を開始します。 現在のダイヤモンド基板製造には、高温高圧合成法により育成させたダイヤモンド基板を下地とし て、その上に化学気相蒸着法によるホモエピタキシャルする手法が主に用いられていますが、この 方法の場合、基板サイズが小さいものに限られていました。 そこで当社では、異種基板を下地として用いるヘテロエピタキシャル法を用い、青山学院大学が開 発した Ir/MgO 下地処理技術を導入しました。この技術をベースに当社が新たに開発したマイクロ ニードル成長技術（特許出願中）を複合させクラックを抑制し、ストレスフリー高品質な大口径ダ イヤモンド基板の安定製造を可能としました。さらに、仕上げ加工法として九州大学(九州大学・土 肥俊郎 特任教授)と共同開発したプラズマ融合 CMP 法を適用し、原子レベルで平坦なダイヤモンド 基板を提供します。 2016 年度からの 15mm 角サイズサンプル販売開始、2016 年度末には 1 インチ基板を量産化、さら に 2017 年度内には 1.5 インチへと基板サイズの拡大を目指します。 並木精密宝石株式会社の概要 本社住所：東京都足立区新田 3 丁目 8 番 22 号 設 立 ：1953 年 8 月 28 日 代 表 者 ：代表取締役社長 ＵＲＬ 資本金：１億円 従業員数：550 名（生産工場含む） 矢口洋一 ：http://www.namiki.co.jp/ 【本件に関するお問い合わせ先】 AIJ 営業 並木精密宝石株式会社 営業本部 TEL：03-5390-7627 FAX：03-5390-7655 E-mail：[email protected]
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