真空発生器 真空ポンプ
真空ポンプ対応ユニット
真空パッド 真空関連機器 技術資料
様々な配管条件に対応する単体タイプエジェクタ
真空発生器
●圧縮空気を真空に変化させ、
圧縮空気
（P）
真空発生器 VU
（管形ユニオンストレートタイプ）
排気
（EX）
真空パッドと組み合わせることで
ワーク
（物）
の搬送に利用可能。
●性能、形状の異なるタイプが豊富に揃い、
様々な条件に対応可能。
真空用チューブ
電磁弁直付形
電磁弁直付形
管形
小型管形
VH
VS
VU
パッド直付形
パッド直付形
破壊機能付
60
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
真空パッド
角形
New VUM
VY
VK
真空
（V）
（吸引）
ワーク
（物）
VQ
VB
VM
VC
「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けの
VH, VS, VU, VCタイプを用意。
金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質には HNBR を採用。
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
■ 特長
▶ VYの特長を動画によって分かりやすくご案内しております。
http://www.pisco.co.jp/product/detail/e/e04/
VYタイプ（破壊機能付）
●真空発生器と真空破壊機能を一体化。
通常の電磁弁を用いた真空発生器より、大幅な低価格化を実現。
●小型・軽量ですので、真空配管末端部での使用が可能。
また、遮断弁の搭載により、吸着・破壊サイクルの高速化を実現。
VUMタイプ（超小型管形）
●超小型、超軽量エジェクタ。
の特長を動画によって分かりやすくご案内しております。
▶ VUM
http://www.pisco.co.jp/product/detail/e/e03/
外径：ø8.5㎜、質量：max. 7.7g
●ノズル径：ø0.3、ø0.4、ø0.5㎜を用意。
低消費流量へのニーズに対応。
真空特性
61
VH · VS
VU
VUM
H03
L03
E03
H04
L04
E04
H05
L05
E05
ノズル径
(ømm)
定格供給圧力
(MPa)
0.5
0.3
0.35
0.5
0.4
0.35
0.5
0.5
0.35
真空度
(-kPa)
90
66
88
90
66
90
90
66
90
吸込流量
(ℓ/min[ANR])
2
3
1
4
7
2
7
12
3
消費流量
(ℓ/min[ANR])
4.5
3.5
8
6.5
11.5
8
※ 上記表内真空特性の記号は、H：高真空度形、L：大流量形、E：低供給圧力高真空度形となります。
●小型パッドホルダ（VPMB）へのダイレクト接続が可能。
VY
●専用固定用ホルダ（VUK04（別売り）
）により、着脱作業が簡単。
VB
VC, VMタイプ（パッド直付形）
VM · VC
●パッド直付タイプ（VC,
VM）に、ノズル径：ø0.3、ø0.4㎜を追加。
低消費流量へのニーズに対応。
真空特性
H03
L03
H04
L04
ノズル径
(ømm)
定格供給圧力
(MPa)
0.3
0.5
0.4
0.5
真空度
(-kPa)
90
66
90
66
吸込流量
(ℓ/min[ANR])
2
4
4
7.5
※ 上記表内真空特性の記号は、H：高真空度形、L：大流量形となります。
消費流量
(ℓ/min[ANR])
4.5
8
管形(VU)タイプの場合
角形(VB)タイプの場合
真空発生器 VB
真空発生器 VU
真空パッド
真空用フィルタ VFU
真空パッド
ソレノイドバルブ SVA
真空発生器 VH
真空パッド直付形(VC, VM)タイプの場合
ソレノイドバルブ SVA
真空用フィルタ VFU
真空発生器 VC
真空パッド
ソレノイドバルブ SVB
ワーク
真空パッド 真空関連機器 技術資料
電磁弁直付形(VH, VS)タイプの場合
真空ポンプ対応ユニット
ワーク
ワーク
ソレノイドバルブ SVA
真空発生器 真空ポンプ
■ 配管例
真空パッド
62
ワーク
破壊機能付形(VY)タイプの場合
■例1
■例2. ツイン3方弁(SVA21)を使用の場合
VH · VS
VU
ソレノイドバルブ SVB
チューブフィッティング
PY
VUM
ソレノイドバルブ SVA
VY
レギュレータ
RVU
チェックバルブ
CVPU
VB
真空発生器 VY
VM · VC
真空発生器 VY
VRL
VVV
真空パッド
真空パッド
VG
ワーク
VQ
ワーク
PポートとPDポートをチェック弁(別売り)で接続し、チェッ
ク弁からPDポート間の残圧を破壊エアとして使用します。
破壊エアの流量は破壊エア流量調整ニードルにより調整し、
破壊時間の調整はチェック弁とPDポートをつなぐチューブ
の長さで調整できます。
真空破壊エアでワークを瞬時に離脱させたい時などは、破壊
エア圧と流量を調整しますが、ワークを吹き飛ばしてしまう
など気をつけなければならないことがあります。上図は真空
破壊用のエアの圧力を低圧にしたい時など、真空発生用と
真空破壊用の供給エアに異なった圧力を使用する場合の例で
す。(但し、真空発生用供給圧力≧真空破壊用供給圧力。)
真空破壊エアの流量は破壊エア流量調整ニードルにより調整
し、破壊時間の調整は真空破壊用バルブなどの制御で行いま
す。
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
■ 注文形式（例）
V
真空発生器
H
①
形状
H
07
6
01
⑨
金属部材質
⑧
追加機能
⑦
排気ポート仕様
②
性能
③
ノズル径
④
真空ポートサイズ
⑥
破壊エア供給ポートサイズ
⑤
エア供給ポートサイズ
① . 形状
形　状
小型管形
角　形
記　号
形　状
形　状
記　号
記　号
UM
電磁弁直付形エルボ
管　形
H
U
B
真空パッド直付形エルボ
電磁弁直付形ストレート
M
S
真空破壊機能付
C
Y
真空パッド直付形ストレート
② . 性能
記　号
H
63
③ . ノズル径
記　号
VH · VS
VU
VUM
03
04
VY
VB
記　号
性　能
記　号
性　能
性　能
低供給圧力高真空度形
大流量形
高真空度形
E
L
（定格供給圧力：0.35MPa）
（定格供給圧力：0.5MPa）
（定格供給圧力：0.5MPa）
05
VM · VC
07
10
12
15
20
ノズル径 性能
（㎜） 記号
H
ø0.3
L
E
H
ø0.4
L
E
H
ø0.5
L
E
H
ø0.7
L
E
H
ø1.0
L
E
H
ø1.2
E
H
ø1.5
L
E
H
ø2.0
L
E
H
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
ー
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
S
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
ー
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
U
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
ー
○
○
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
形状記号
UM
B
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
○
○
○
○
ー
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
Y
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
○
○
○
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
※ 1. ノズル径：0.3, 0.4mm の H, L, E タイプは、VUM, VC, VM タイプのみの設定となります。
※2. ノズル径：0.3, 0.4mm の E タイプは、VUM タイプのみの設定となります。
※3. H タイプ、L タイプの供給圧力は 0.5MPa、E タイプの供給圧力は 0.35MPa です。
M
○
○
ー
○
○
ー
○
○
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
C
○
○
ー
○
○
ー
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
管用テーパネジ
01
02
03
R1/8 R1/4 R3/8
○
○
○
○
形　状
接続口形状
3
記　号
サイズ ø3mm
VH, VS
VB, VY
VU
VUM
○
VC
○
VM
○
ワンタッチ継手
6
8
4
ø6mm
ø8mm
ø4mm
○
○
○
○
○
メートルネジ (mm)
M5
M6
M5×0.8 M6×1
○
○
10
ø10mm
○
○
6C, 6L
管用テーパネジ
01
02
03
R1/8
R1/4
R3/8
○
○
○
8C, 8L 10C, 10L
真空パッド 真空関連機器 技術資料
⑤ . エア供給ポートサイズ
真空ポンプ対応ユニット
形　状
ワンタッチ継手
メートルネジ (mm)
接続口形状
6
8
10
M6
M5
12
M3
記　号 180
3
4
サイズ ø1.8mm ø3mm ø4mm ø6mm ø8mm ø10mm ø12mm M3×0.5 M5×0.8 M6×1
○
○
VH, VS
○
○
○
○
VB, VY
○
○
○
○
VU
○
○
○
VUM ○
○
○
○
○
VC
○
○
VM
真空発生器 真空ポンプ
④ . 真空ポートサイズ
⑥ . 破壊エア供給ポートサイズ（VYタイプのみ記入）
記　号
サイズ
4
ø4mm
6
ø6mm
⑦ . 排気ポート仕様（VH, VS, VU, VC, VYタイプ）
記　号
仕　様
無記入
サイレンサ大気開放仕様
J
集中排気仕様
⑧ . 追加機能（VU, VB, VYタイプのみ記入）
VH · VS
VU
VUM
P
F
記　号
A
S
追加機能 分離可能型（VU のみ） 樹脂タイプ（VB のみ） 機械式センサ付（VB のみ）真空フィルタ付（VY のみ）
⑨ . 金属部材質
VY
VB
記　号
仕　様
真空発生器形状
無記入
標　準
全形状
-S3
銅系金属不使用
VH(集中排気) VS(集中排気) VU(集中排気) VC(集中排気)
VUSM10
VQ
VK
VJ
① . 圧力導入口（負圧）
4
ø4mm
VRL
VG
4
①
圧力導入口（負圧）
機械式圧力センサ
VM · VC
VVV
■ 機械式圧力センサの注文形式
記　号
サイズ
64
6
ø6mm
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
■ 仕様（VYタイプ以外）
使用流体
空気
使用圧力範囲
0.15 ~ 0.7MPa
定格供給圧力
H, L タイプ：0.5MPa（E タイプ：0.35MPa）
使用温度範囲
0 ~ 60°C（凍結なきこと）
■ 角形ユニオン圧力センサタイプ（VB）
・機械式圧力センサタイプ（VUSM）圧力センサ仕様
圧力検出方法
ダイヤフラム－マイクロスイッチ
使用流体
空気
使用温度範囲
0 ~ 60°C（凍結なきこと）
電気定格
3A 250V
設定圧力範囲
-20 ~ -66kPa
精　度
±5kPa
応　差
22kPa 以下
出荷時設定圧
リード線
約 -50kPa
長さ：約 300mm（白：COMMON、赤：N.C.、黒：N.O.）
■ VYタイプの仕様
使用流体
使用圧力範囲
65
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
定格供給圧力
使用温度範囲
給　油
空気（JIS B 8392-1：「等級 1.2.1 ～ 2.4.3」準拠）
0.3 ~ 0.7MPa
H, L タイプ：0.5MPa（E タイプ：0.35MPa）
5 ~ 50°C
不要
■ VYタイプ用真空フィルタの仕様
使用流体
使用圧力範囲
濾過精度
使用温度範囲
濾過面積
材質
空気
-100 ~ 0kPa
10µm
0 ~ 60°C（凍結なきこと）
接続サイズ 44：0.8cm2
接続サイズ 66：1.1cm2
PVF（ポリビニールホルマール）
チューブ
開放リング (POM)
ロック爪 (ステンレス)
1：弾性体スリーブ (NBR)
2：弾性体スリーブ (HNBR)
排気継手 (アルミニウム)
1：ディフューザ (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
2：ディフューザ (特殊ステンレス ※2)
樹脂本体 (PBT)
シーロック加工 (※3)
1：ノズル (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
2：ノズル (特殊ステンレス ※2)
チューブ
1：ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
2：ガイドリング (特殊ステンレス ※2)
1：弾性体スリーブ (NBR)
2：弾性体スリーブ (HNBR)
※1. 上記構造図中の1は、標準仕様時の材質を、2は、銅系金属不使用仕様時の材質をそれぞれ表します。
※2. 耐腐蝕性はSUS303相当となります。
※3. 標準仕様の M5, M6 ネジには、ガスケット材質（SUS304 + NBR または SPCC + NBR）を、銅系金属不使用仕様の M5, M6 ネ
ジには、ガスケット材質（POM）をそれぞれ標準装備しております。
■ 構造図（破壊機能付タイプ：VY の場合）
真空パッド 真空関連機器 技術資料
1：Oリング (NBR)
2：Oリング (HNBR)
ロック爪 (ステンレス)
開放リング (POM)
真空ポンプ対応ユニット
1：金属本体 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
2：金属本体 (特殊ステンレス ※2)
1：ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
2：ガイドリング (特殊ステンレス ※2)
真空発生器 真空ポンプ
■ 構造図（電磁弁直付形エルボタイプ：VH の場合）
チューブ
カートリッジ
樹脂本体 (PBT)
上栓 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
ロックナット (アルミニウム)
Yパッキン (NBR)
スリーブ (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
破壊ニードル (特殊ステンレス)
Oリング (NBR)
栓2 (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
弾性体スリーブ (NBR)
ロック爪 (ステンレス)
ガイドリング (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
開放リング (POM)
スプリングピン (ステンレス)
ノズルピストン (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
66
VH · VS
VU
VUM
スプールパッキン (HNBR)
VY
ディフューザスプリング (ステンレス)
VB
ディフューザスプール (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
サイレンサエレメント (PVF)
エンドプラグ (黄銅、無電解ニッケルメッキ)
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
個別注意事項
ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意、掲載商品の注意事項についてはP.43 〜 P.49、真空
の共通注意事項については P.55 〜 P.56、機械式圧力センサの共通注意事項については P.57 をそれぞれ
ご確認ください。
警　告
1. 真空発生器VYの配管方法については、本文を良く読んで確認してご使用ください。配管方法を間違え
ると人体の負傷、機器の破損の原因となる可能性があります。
2. 真空発生器VY用真空フィルタのフィルタ本体材質は、PPですので直射日光や紫外線により樹脂が劣化
することがあります。
3. VU, VUMタイプは、本体に引張り方向の荷重を掛けないでください。引張荷重により樹脂本体から金属
本体が離脱する可能性があります。
4. VU, VUMタイプは、エジェクタに必要以上の内圧が加わる使用は避けてください。樹脂本体から金属本
体が離脱する可能性があります。
5. 製品にロックナットがある場合、その締付けは、本文の使用上の注意に従って確実に締付けてください。
適切でない締付けを行った場合は、ロックナットまたは本体の破損の原因となる可能性があります。ま
た、確実に締付けられない場合は、ロックナットが緩み初期設定が狂う可能性があります。
67
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
3. 真空発生器VY用真空フィルタは、エレメント単体での交換ができません。保守点検などで交換の際は、
フィルタ本体の交換になります。
給エアの圧力は、真空発生用供給エアの圧力以下に設定してください。真空発生用供給エア圧力より高
い場合は、漏れにつながる可能性があります。
5. 下記の配管方法で真空発生器VYをご使用になられる場合は、遮断弁が完全に切り換わるまで瞬時では
ありますが、チェック弁からの破壊エアがまわり込み、Vポートより破壊エアが出ます。
真空発生用バルブ
Pポート
Vポート
PDポート
6. VY真空発生器用真空フィルタにチューブを装着する際は、必要以上の力をかけないでください。フィル
タが破損する可能性があります。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
4. 真空発生器VYの真空発生用と真空破壊用の供給エアに異なった圧力を使用する場合は、真空破壊用供
真空ポンプ対応ユニット
れませんのでご注意ください。
2. 真空発生器VYの破壊エアの流量調整及び破壊時間調整は、本文を良く読んで理解してください。
真空発生器 真空ポンプ
注　意
1. パッド直付形ストレートタイプ（VC）のネジサイズ M5×0.8 と M6×1は、本体取付け後配管方向を変えら
68
7. VUMタイプは、フィルタエレメントのメンテナンス後の組立てにおいて、下の構造図通りに栓が所定位
置に組み込まれていることを確認後、スペーサ、フィルタエレメントを組込んでください。尚、栓につ
いては、メンテナンス時に取り外す必要はありません。
8. VU, VUMタイプは、フィルタエレメントのメンテナンスにおいて、下の構造図通り適正位置（樹脂本体
と真空ポート本体に隙間無きこと）まで組み込まれていない場合、製品の性能を満足しませんのでご注
意ください。
● VUMの構造図
フィルタエレメント
栓
⇒
Vポート⇒
VB
VRL
EXポート
⇒
樹脂本体
VUM
VM · VC
EXポート
⇒
フィルタエレメント
Pポート
⇒
● VUの構造図
スペーサ
VU
VY
樹脂本体
Vポート⇒
真空ポート本体
VH · VS
Pポート
VVV
VG
真空ポート本体
9. 機械式圧力センサの取扱いは、機械式圧力センサの共通注意事項をご確認ください。
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量
VHH07, VHL07, VHE07, VSH07, VSL07, VSE07, VBH07, VBL07, VBE07, VCH07, VCL07, VCE07
真空特性
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
供給圧力 (MPa)
0
流量 (l/min(ANR))
Lタ
イプ
到達
真空
度
Eタイ
プ到
達真
空度
到達真空度 (kPa)
–26
空度
5
10 15 20
吸込流量 (l/min(ANR))
度
Lタ
イ
真空
到達
流量
消費
40
30
Lタイプ吸込流量 20
Hタイプ吸込流量
–13
10
Eタイプ吸込流量
0
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
供給圧力 (MPa)
真空圧力 (kPa)
真空圧力 (kPa)
達真
プ到
空度
50
–26
–13
–80
流量 (l/min(ANR))
–40
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
–93
イプ
–40
0
100 150
–66
–53
–40
–26
–13
イプ
Lタ
Hタイプ吸込流量 5
50
吸込流量 (l/min(ANR))
Eタイプ
–13
–53
イプ
Lタイプ吸込流量 10
–66
Lタ
–26
–53
0
流量特性
Hタ
15
真空圧力 (kPa)
Hタ
流量
消費
–66
–13
0
Hタイプ
–40
20
–26
100
–93
–80
プ
–53
–40
200
真空特性
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
Hタイ
–66
流量 (l/min(ANR))
–80
イプ
到達
真空
Lタ
度
イ
プ
到
達
真
空
度
–80
到達真空度 (kPa)
–93
–53
VUH07, VUL07, VUE07
流量特性
–93
300
–66
供給圧力 (MPa)
到達真空度 (kPa)
真空特性
Eタイプ吸込流量
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
吸込流量 (l/min(ANR))
VUH05, VUL05, VMH05, VML05, VCH05, VCL05
流量
消費
Hタイプ吸込流量
–13
達真
到達
イプ
Lタ
供給圧力 (MPa)
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
–93
–80
Lタイプ吸込流量
–26
0 20 40 60 80
流量特性
プ
0
吸込流量 (l/min(ANR))
イ
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
0 10 20 30 40
Lタ
–13
–13
0
プ
20
–26
20
Eタイ
–26
プ
40
イ
Eタイプ
–40
プ到
度
真空圧力 (kPa)
Eタイ
–40
60
吸込流量
–53
Lタ
真空
流量 (l/min(ANR))
プ到
達真
空度
Hタ
イプ
到達
真空
度
到達真空度 (kPa)
–53
Hタイプ
吸込流量
–66
プ
–13
80
–40
40
Hタイプ到達真空度
–93
–80
–66
Eタイ
–26
–80
100
–53
イプ
–40
Lタイプ吸込流量
120
プ
–53
流
費
消
60
–66
Hタ
–80
80
供給圧力 (MPa)
真空特性
量
100
真空圧力 (kPa)
度
真空
Eタイプ吸込流量
真空特性
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
量
流
Hタイプ吸込流量
VCH20, VCL20, VCE20
–93
流量 (l/min(ANR))
度
真空
到達
到達
消
–13
流量特性
供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
–80
費
–26
吸込流量 (l/min(ANR))
140
吸込流量 (l/min(ANR))
–93
VHH15, VHL15, VHE15, VSH15, VSL15, VSE15, VCH15, VCL15, VCE15
–93
0 10 20 30 40
流量 (l/min(ANR))
–40
0 10 20 30 40
供給圧力 (MPa)
–13
0
流量特性
イプ
到達真空度 (kPa)
真空圧力 (kPa)
流量 (l/min(ANR))
真空
真空
Lタ 度
イプ
到達
到達
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
–13
0
–53
イ
Hタ
VM · VC
度
度
真空
到達
イプ
10
–26
10
イプ
Hタ
イプ
Eタ
–13
–40
–26
–93
–66
プ
Hタイプ吸込流量
Eタイプ吸込流量 20
–66
VB
30
–53
–40
20
真空特性
–80
イ
VY
Lタ
–66
プ
VUM
量 40
イプ吸込流
–26
VH · VS
VU
–80
50
Eタイ
69
イプ
Eタ
Hタ
–40
費
消
60
Lタ
到達真空度 (kPa)
–53
量
流
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
イプ
–66
–93
Hタ
–80
70
–53
VHH12, VHE12, VSH12, VSE12, VBH12, VBE12, VCH12, VCE12
度
流量特性
–93
30
–66
供給圧力 (MPa)
Hタ
VHH10, VHL10, VHE10, VSH10, VSL10, VSE10, VBH10, VBL10, VBE10, VCH10, VCL10, VCE10
Eタイプ吸込流量
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
10 15 20
真空
5
吸込流量 (l/min(ANR))
真空特性
イプ
–13
0
供給圧力 (MPa)
Hタイプ吸込流量
到達
–13
0
イ
イプ
5
Hタイプ吸込流量
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
流量
流量 消費
込
プ吸
Lタ
–26
Eタ
–26
Eタ
真空圧力 (kPa)
Lタイプ吸込流量 10
–40
40
Eタイプ
–13
–40
–53
–80
50
イプ
–26
15
流量 (l/min(ANR))
流量
消費
–53
–66
イプ
–40
20
–80
Lタ
Hタ
イプ
–53
–66
Lタ
到達真空度 (kPa)
到達
真空
Lタ
度
イ
プ
到
達
真
空
–80
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
–93
Hタイプ
–66
Hタイプ
–80
流量特性
–93
イプ
Lタ 到達真空
イプ
度
到達
真空
度
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
–93
度
–93
Hタ
流量特性
到達真空度 (kPa)
真空特性
真空圧力 (kPa)
VHH05, VHL05, VSH05, VSL05, VBH05, VBL05
Eタ
イ
真空発生器
■ 特性
0 10 20 30 40
吸込流量 (l/min(ANR))
4
-86kPa
-80kPa
-66kPa
9
a
kP
6
-2
7
6
5
kPa
-13
3
7
6
5
kPa
-13
4
Pa
6k
5
4
Pa
-13k
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
7
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
VM · VC
VRL
kP
a
-26
kP
a
VG
VQ
a
VK
5
4
a
P
-26k
VJ
-13kPa
1
1
VY
VVV
kP
2
0
7
VB
-40
6
3
1
0
6
-5
3
0k
Pa
10
-2
6
2
1
11
8
3
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
12
9
2
1
VHL 07
VSL 07
VBL 07
8
7
VUM
-13kPa
VHH 07
VSH 07
VBH 07
9
3
-26
0
7
到達時間 (sec)
8
6
VU
kPa
4
3
-4
10
Pa
6k
-2
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
-53
kPa
11
-86kPa
a
12
kP
9
1
-80kPa
VUE 07
-40
Pa
-53k
10
0
-66k
Pa
-80kPa
-66kPa
11
-86kPa
12
Pa
5
1
VH · VS
a
kP
-40
6
2
7
3
-5
7
1
6
70
a
kP
8
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
a
10
2
1
-40k
11
2
0
-53kPa
VUL 07
12
8
4
7
a
Pa
-13k
6
kP
4
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
-60
5
3
到達時間 (sec)
到達時間 (sec)
6
到達時間 (sec)
到達時間 (sec)
7
1
VUH 07
9
Pa
6k
8
0
7
kP
10
-2
6
a
a
kP
11
9
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
到達時間 (sec)
10
12
-40
-66kP
a
-60kP
a
-53k
Pa
11
1
-86kPa
VUL 05
12
2
1
0
7
3
kP
6
-80kPa
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
4
-60
1
5
kPa
1
a
kP
-13
6
-66
2
7
Pa
2
a
-13kP
8
-66k
3
1
Pa
5
3
0
0k
6
-40
4
Pa
k
-26
kPa
-13
10
9
7
-53
a
kP
a
7
11
到達時間 (sec)
8
12
-4
8
到達時間 (sec)
9
5
-60k
Pa
-53
kPa
10
9
6
-66k
Pa
-2
6k
Pa
11
真空パッド 真空関連機器 技術資料
到達時間 (sec)
10
12
-40
kPa
-53kP
a
-66kPa
11
VUH 05
真空ポンプ対応ユニット
12
VHL 05
VSL 05
VBL 05
-66kP
-86kPa
-80kPa
VHH 05
VSH 05
VBH 05
真空発生器 真空ポンプ
真空到達時間 ( 供給圧力　H、L タイプ：0.5MPa、E タイプ：0.3 〜 0.5MPa)
※. 真空系の配管形状などにより数値は変化しますので、目安としてご使用ください。
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
VX
7
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
a
a
P
-26k
3
2
1
7
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
Pa
11
-6
6k
10
8
Pa
5
a
kP
-26
4
7
5
Pa
40k
4
-
0
1
VB
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
Pa
3k
7
6
4
Pa
-26k
-13kPa
1
7
a
kP
-40
5
2
-13kPa
1
6
-5
3
a
-26kP
2
1
Pa
3k
-5
6
3
a
-13kP
到達時間 (sec)
9
0k
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
a
a
kP
-80
-86k
3k
-5
12
8
-4
1
VHE 12
VSE 12
VBE 12
8
6
-13kPa
0
9
7
-26kPa
1
9
2
VY
Pa
Pa
kPa
-66
Pa
11
10
3
VUM
12
到達時間 ( )
VU
10
到達時間 (sec)
VH · VS
-86kPa
71
-80k
11
kPa
-40
4
VHH 12
VSH 12
VBH 12
VHE 10
VSE 10
12
5
2
a
0
6
3
-13kP
Pa
3k
-5
7
kP
6
kP
4
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
-4
5
2
1
-66
6
8
-66
3
a
P
0k
a
-13
7
Pa
0k
-6
9
Pa
4
-
8
-80k
kPa
10
-86kP
6
5
11
Pa
k
53
到達時間 (sec)
7
到達時間 (sec)
到達時間 (sec)
-2
12
9
Pa
6k
8
VHL 10
VSL 10
VBL 10
-66
kP
a
10
9
0
-80
kP
11
kPa
a
12
-86k
Pa
10
VHH 10
VSH 10
VBH 10
-40
-66kP
11
-53
a
kPa
-80kPa
-86kPa
真空発生器
12
VHE 07
VSE 07
VBE 07
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
VM · VC
10
7
Pa
6k
-6
6
5
kPa
8
6
5
4
53
3
-40k
3
-13kPa
1
Pa
2
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
kPa
-53
4
a
-40kP
-26kPa
2
-26kPa
1
7
Pa
0k
-6
7
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
a
8
7
6
4
kPa
-40
-26kPa
2
7
a
kP
-53
5
3
-13kPa
Pa
6k
-6
9
到達時間 (sec)
8
0k
P
11
9
到達時間 (sec)
到達時間 (sec)
a
10
9
12
kP
kP
a
11
-65
0kP
a
10
12
VHE 15
VSE 15
-66
-86
11
-8
0
kP
a
12
VHL 15
VSL 15
-60
VHH 15
VSH 15
-13kPa
1
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
真空到達時間 ( 供給圧力　H、L タイプ：0.5MPa、E タイプ：0.3 〜 0.5MPa)
※. 真空系の配管形状などにより数値は変化しますので、目安としてご使用ください。
VCE 20
12
12
11
11
10
10
9
9
Pa
6
a
kP
-80
5
4
Pa
-66k
Pa
-53k
-40kPa
-26kPa
3
2
1
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
8
6
5
kPa
-66
4
Pa
-53k
-40kPa
2
-13kPa
Pa
0k
-8
7
3
7
Pa
5k
-8
1
-26kPa
0
1
2
3
4
5
真空系内容量 (l)
6
7
■ 標準サイズ一覧表
電磁弁直付形タイプ (ノズル径：ø0.5mm, ø0.7mm, ø1.0mm, ø1.2mm, ø1.5mm, ø2.0mm)
排気ポート
排気ポート
継手
真空ポート
形　状
VH エルボ(大気開放)
エア供給ポート
真空ポート
6mm 8mm 10mm 12mm
●
●
●
VU
真空ポート
ネジ (電磁弁に直に接続)
掲載 エア供給
ページ ポート 4mm
M5×0.8 ●
R1/8
77
R1/4
R3/8
72
VH · VS
継手
エア供給ポート
銅系不使用
対応品あり
継手
真空パッド 真空関連機器 技術資料
-8
7
到達時間 (sec)
5k
8
真空ポンプ対応ユニット
到達時間 (sec)
VCH 20
真空発生器 真空ポンプ
■ 特性
●
●
●
形　状
VH エルボ(集中排気)
VUM
ネジ (電磁弁に直に接続)
掲載 エア供給
真空ポート
排気
ページ ポート 4mm 6mm 8mm 10mm 12mm ポート
M5×0.8 ●
6mm
8mm
R1/8
●
●
78
R1/4
●
●
●
12mm
R3/8
●
排気ポート
排気ポート
真空ポート
銅系不使用
対応品あり
継手
真空ポート
継手
継手
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
エア供給ポート
掲載 エア供給
形　状
ページ ポート
R1/8
VS ストレート(大気開放)
79 R1/4
R3/8
ネジ (電磁弁に直に接続)
6mm
●
真空ポート
10mm
8mm
●
●
●
エア供給ポート
12mm
●
●
ネジ (電磁弁に直に接続)
掲載 エア供給
形　状
ページ ポート 6mm
●
R1/8
VS ストレート(集中排気)
80 R1/4
R3/8
真空ポート
排気
8mm 10mm 12mm ポート
●
8mm
●
●
●
12mm
●
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
チューブ接続管形 (ノズル径：ø0.3mm, ø0.4mm, ø0.5mm, ø0.7mm)・角形 (ノズル径：ø0.5mm, ø0.7mm, ø1.0mm, ø1.2mm) ユニオンタイプ
排気ポート
排気ポート
継手
真空ポート
エア供給ポート
継手
継手
真空ポート
エア供給ポート
形　状
VU 管形(大気開放)
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
83
6mm
4mm
●
●
真空ポート
6mm
●
●
形　状
VU 管形(集中排気)
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
84
6mm
継手
真空ポート
VUM 小型管形
1.8mm
●
●
排気
ポート
6mm
継手
継手
エア供給ポート
掲載 エア供給
ページ ポート
3mm
86
4mm
真空ポート
4mm
6mm
●
●
●
●
真空ポート
排気ポート
形　状
銅系不使用
対応品あり
継手
継手
真空ポート
3mm
●
●
継手
エア供給ポート
排気ポート
4mm
●
●
形　状
VB 角形
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
95
6mm
4mm
●
真空ポート
6mm
●
真空ポート
継手
継手
排気ポート
73
VH · VS
エア供給ポート
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
VB 真空スイッチ内蔵型管形
95
6mm
形　状
4mm
●
真空ポート
6mm
●
チューブ接続パッド不要管形アダプタタイプ (ノズル径：ø0.5mm, ø0.7mm)
VU
エア供給ポート
エア供給ポート
VUM
VY
VB
銅系不使用
対応品あり
継手
継手
継手
排気ポート
排気ポート
VM · VC
掲載 エア供給ポート
ページ 4mm 6mm
●
●
VU 管形(大気開放) 85
形　状
真空ポート
掲載 エア供給ポート
ページ 4mm 6mm
●
●
VU 管形(集中排気) 85
形　状
真空ポート
エア供給ポート
排気ポート
継手
エア供給ポート
排気ポート
継手
ネジ (パッドに直に接続)
ネジ (パッドに直に接続)
真空ポート
掲載 真空
ページ ポート
M5×0.8
97
M6×1
エア供給ポート
4mm
●
●
排気ポート
継手
掲載 真空
ページ ポート
M5×0.8
97
M6×1
エア供給
ポート
継手
排気
ポート
真空ポート
真空ポート
掲載 真空
ページ ポート
R1/8
VC ストレート(大気開放)
99 R1/4
R3/8
エア供給ポート
6mm
●
銅系不使用
対応品あり
ネジ (パッドに直に接続)
ネジ (パッドに直に接続)
形　状
エア供給ポート
4mm
●
●
エア供給ポート
10mm
8mm
●
●
●
●
●
掲載 真空
ページ ポート
R1/8
VC ストレート(集中排気)
100 R1/4
R3/8
形　状
エア供給ポート
継手
エア供給ポート
10mm
8mm
6mm
●
●
●
●
●
●
排気
ポート
8mm
12mm
銅系不使用
対応品あり
継手
真空パッド 真空関連機器 技術資料
エア供給ポート
形　状
VC ストレート(大気開放)
真空ポンプ対応ユニット
形　状
VM エルボ(大気開放)
真空ポート
真空発生器 真空ポンプ
パッド直付形タイプ (ノズル径：ø0.3mm, ø0.4mm, ø0.5mm, ø0.7mm, ø1.0mm, ø1.2mm, ø1.5mm, ø2.0mm)
排気ポート
排気ポート
ネジ (パッドに直に接続)
ネジ (パッドに直に接続)
掲載 真空
ページ ポート
R1/8
VC エア供給ポートエルボ(大気開放)
101 R1/4
R3/8
形　状
6mm
●
74
真空ポート
真空ポート
エア供給ポート
10mm
8mm
●
●
●
●
●
エア供給ポート
掲載 真空
ページ ポート
R1/8
VC エア供給ポートエルボ(集中排気)
102 R1/4
R3/8
形　状
エア供給ポート
10mm
8mm
6mm
●
●
●
●
●
●
エア供給ポート
12mm
銅系不使用
対応品あり
継手
継手
排気
ポート
8mm
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
排気ポート
排気ポート
継手
ネジ
(パッドに直に接続)
真空ポート
掲載 真空 エア供給ポート
ページ ポート 4mm 6mm
●
M5×0.8 ●
VU 管形ストレート(大気開放)
●
81 M6×1 ●
●
●
R1/8
形　状
エア供給ポート
掲載 真空 エア供給ポート 排気
ページ ポート 4mm 6mm ポート
M5×0.8 ● ●
VU 管形ストレート(集中排気)
ネジ
82 M6×1 ● ● 6mm
(パッドに直に接続)
R1/8 ● ●
真空ポート
形　状
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
継手
VK
排気ポート
ネジ
(パッドに直に接続)
真空ポート
掲載 真空 エア供給ポート
ページ ポート 3mm 4mm
●
M3×0.5 ●
VUM 小型管形ストレート(大気開放)
87
●
M5×0.8 ●
VJ
形　状
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
チューブ接続破壊機能付タイプ (ノズル径：ø0.5mm, ø0.7mm)
継手
排気ポート
破壊エア供給ポート
継手
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
VY 破壊機能付
92
(大気開放)
6mm
形　状
継手
破壊エア供給ポート
真空ポート
継手
継手
真空ポート
4mm
6mm
●
●
真空破壊エア
供給ポート
4mm
6mm
排気ポート
継手
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
VY 破壊機能・真空フィ
92
ルタ付(大気開放)
6mm
形　状
75
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
VY 破壊機能付
93
(集中排気)
6mm
形　状
継手
エア供給ポート
エア供給ポート
破壊エア供給ポート
継手
継手
エア供給ポート
エア供給ポート
真空ポート
破壊エア供給ポート
継手
継手
真空ポート
4mm
6mm
●
●
真空破壊エア
供給ポート
4mm
6mm
掲載 エア供給
ページ ポート
4mm
VY 破壊機能・真空フィ
94
ルタ付(集中排気)
6mm
形　状
排気ポート：6mm
真空ポート
継手
真空ポート
6mm
4mm
●
●
真空破壊エア
供給ポート
4mm
6mm
継手
排気ポート：6mm
真空ポート
継手
真空ポート
6mm
4mm
●
●
真空破壊エア
供給ポート
4mm
6mm
1. チューブの着脱方法
① . チューブの装着
真空発生器
（ワンタッチ継手付エジェクタ）
は、チューブをチューブエンドまで
差し込むだけでロック爪が固定、弾性体スリーブがチューブの外周をシールし
ます。
ください。
チューブを取外す場合、開放リングを押すことによりロック爪が開き、チュー
ブを抜くことができます。
取外しの際は、必ずエアを止めてから行ってください。
2. ネジの締付方法
① . ネジの締付け
真空発生器の固定方法は、外径六角部を適正なスパナで締付ける製品と固定用
真空パッド 真空関連機器 技術資料
② . チューブの取外し
真空ポンプ対応ユニット
装着の際は、掲載商品の注意事項「7. チューブ装着上の注意」を参考に装着して
真空発生器 真空ポンプ
■ 接続部着脱方法
取付け穴を利用してM4ネジにて固定するVBタイプとVUSMタイプがあります。
（外径六角部対辺や固定用穴のピッチにつきましては、外観寸法図を参照くだ
さい。）
76
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
■ 適用チューブ及び関連商品
VM · VC
真空用チューブ・・・ (1. 配管用機器：P.790) 真空パッド各種
■極軟質のチューブで、真空機器やアクチュエータ
(駆動機器)の配管に適しております。
●スタンダードタイプ・・・・・・・・・・ P.490
●スポンジタイプ・・・・・・・・・・・・ P.536
●ベローズタイプ・・・・・・・・・・・・ P.560
●多段ベローズタイプ・・・・・・・・・・ P.598
●長円タイプ・・・・・・・・・・・・・・ P.622
●ソフトタイプ・・・・・・・・・・・・・ P.654
●ソフトベローズタイプ・・・・・・・・・ P.694
●滑り止めタイプ・・・・・・・・・・・・ P.730
●薄物用タイプ・・・・・・・・・・・・・ P.754
●フラットタイプ・・・・・・・・・・・・ P.774
●吸着痕防止タイプ・・・・・・・・・・・ P.798
●ロングストローク・・・・・・・・・・・ P.818
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
電磁弁直付形エルボタイプ（大気開放）
EX
77
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
A
B
3.5
35
L1
R
31.5 10.5
10
9.8
11.4 12.4
8
48
44
11
71.5 65.5
14.4
13.5
100.6 94.2 15.8
99.6 93.5 16.8
12
100.6 94.2 17.5
35
48
31.5 10.5
28.9
9.8
14.9 21.2
17
12
100.6 94.2 15.8
11
99.6 93.5 16.8
12
100.6 94.2 17.5
48
11
71.5 65.5
28.4
20.2 31.2
21
23.4 36.9
20.2 33.6
28
21
44
18.1
99.6 93.5 15.1 17.6
11
99.6 93.5 16.8
12
100.6 94.2 17.5
1.2
38
70
93
1.5
2
0.5
63
100
12
28.4
28.9
31.2
20.2
37
VH_-601
38
VH_-801
77
VH_15-802
80
VH_15-1002
126 VH_20-1003
116 VH_20-1202
11.5
13
37
VH_05-4M5
0.7
26
23
1
42
46
36
0.7
26
23
39
1
42
46
38
75
VH_15-802
95
100
78
VH_15-1002
82
VHL15-1202
66
1.5
2
174 200
22
0.7
10.5
17
1
21
34
1.2
27
47
VH_-601
VH_-801
126 VH_20-1003
116 VH_20-1202
37
1
21
34
39
1.2
27
47
38
1.5
0.35
92
42
70
VH_-601
VH_-801
78
VH_15-802
80
VH_15-1002
116 VH_20-1002
33.6
24
2
23.4 36.4
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
46
70
104 200
※. テーパネジタイプの L1、L2 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
28
38
VH_05-4M5
126 VH_20-1203
25.5
28
21
0.5
13
116 VH_20-1002
17
22
14.8
100.6 94.2 15.8
46
0.5
22
24
17
14.4
13.5
12
23
28
23.4 36.4
18.4
12.4
8
25.5
17.6
11.4 12.4
8
13
1
28.9
22
単位：mm
126 VH_20-1203
17
18.1
R
116 VH_20-1002
24
13.5
16.5
11.5
0.7
1.2
22
7
23.4 36.4
14.4
71.5 65.5 14.8 17.6
90
33.6
18.4
99.6 93.5 15.1
0.5
1
28.4
28
10
8
25.5
31.2
A
対辺 ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
H (mm) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
17
20.2
21
44
12.4
11
E
14.9 21.2
18.1
11.4 12.4
8
C
22
14.8
11
3.5
メートルネジタイプ
17
99.6 93.5 15.1 17.6
12
L1
B
18.4
12.4
H
A
L1
B
L2 øP1 øP2
L2
øP2
C
EX
E
øD
L2
C
E
V
P
チューブ外径
R
形　式
øD
VHH05-4M5 4 M5×0.8
VHH05-601
VHH07-601
6
VHH10-601
R1/8
VHH12-601
VHH10-801
8
VHH12-801
VHH15-802
R1/4
VHH15-1002
VHH20-1002 10
R3/8
VHH20-1003
R1/4
VHH20-1202
12
R3/8
VHH20-1203
VHL05-4M5 4 M5×0.8
VHL05-601
6
VHL07-601
R1/8
VHL10-601
VHL07-801
8
VHL10-801
VHL15-802
VHL15-1002 10
R1/4
VHL15-1202 12
VHL20-1002
10
R3/8
VHL20-1003
R1/4
VHL20-1202
12
R3/8
VHL20-1203
VHE07-601
6
VHE10-601
R1/8
VHE12-601
VHE10-801
8
VHE12-801
VHE15-802
R1/4
VHE15-1002
VHE20-1002 10
R3/8
VHE20-1003
R1/4
VHE20-1202
12
R3/8
VHE20-1203
CAD
-2D & 3D-
グラフ
P.69
øP1
øP1
øD
H
øP2
真空発生器
VH
82
150
126 VH_20-1003
116 VH_20-1202
126 VH_20-1203
電磁弁直付形エルボタイプ（集中排気）
4
VHH05-601J
VHH07-601J
6
VHH10-601J
VHH12-601J
VHH10-801J
VHH12-801J 8
VHH15-802J
VHH15-1002J
VHH20-1002J 10
VHH20-1003J
VHH20-1202J
12
VHH20-1203J
VHL05-4M5J
VHL05-601J
VHL07-601J
VHL10-601J
VHL07-801J
VHL10-801J
VHL15-802J
VHL15-1002J
VHL15-1202J
VHL20-1002J
VHL20-1003J
VHL20-1202J
VHL20-1203J
VHE07-601J
VHE10-601J
VHE12-601J
VHE10-801J
VHE12-801J
VHE15-802J
VHE15-1002J
VHE20-1002J
VHE20-1003J
VHE20-1202J
VHE20-1203J
4
6
6
B
L1
10
8
R1/8
8
58.4 54.4
øP2
E
øD2
øP2
8
R1/4 11
12
76.9 70.9
R3/8 12 90.4 84 15.8
M5×0.8
R1/8
31.2
R
単位：mm
18 VH_05-4M5J
7
11.5
0.7
13
23
46
1
28
46
45
44
0.5
90
21
58.4 54.4
23.4
12
18.2
18.1
R1/4 11 89.4 83.3 16.8
R3/8 12 90.4 84 17.5
38
70
63
100
20.2
8
17
2
104 200
11.4 12.4
17
25.5
8
R1/8
8
58.4 54.4
18.4
12.4
R1/4 11
12
76.9 70.9
14.4
13.5
18.1
89.4 83.3 15.1 17.6
R3/8 12 90.4 84 15.8
R3/8 12 90.4 84 17.5
20.2
26
23
1
42
46
44
0.7
26
23
46
42
46
45
0.5
66
1.5
21
VH_-601J
95
100
2
174 200
93 VH_15-1002J
138 VH_20-1003J
21
34
1.2
27
47
1
21
34
27
47
1.2
22
1.5
0.35 92
42
70
45 VH_-601J
47
36.4
※. テーパネジタイプの L1、L2 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
※. 寸法表内の
［　］
寸法は、銅系金属不使用使用時の値となります。
82
150
VU
VY
VB
VM · VC
VRL
46
VVV
VG
VQ
VH_-801J
VK
92 VH_15-802J
96 VH_15-1002J
128 VH_20-1002J
2
VH · VS
128 VH_20-1202J
10.5 17
1
78
VUM
VH_-801J
138 VH_20-1203J
24
23.4
45
90 VH_15-802J
23.3 33.6
28
18 VH_05-4M5J
97 VHL15-1202J
28.4
31.2
128 VH_20-1202J
128 VH_20-1002J
17
28.9
22
14.8
R1/4 11 89.4 83.3 16.8
18.2
138 VH_20-1003J
0.7
1
24
36.4
95 VH_15-1002J
12 11.5
33.6
23.4
92 VH_15-802J
0.5
36.9
23.3
28
21
93
46 VH_-801J
138 VH_20-1203J
31.2 22
23.4
17.6
0.5
1.5
28.9
16.5 21
R3/8 12 90.4 84 15.8
46
VH_-601J
128 VH_20-1002J
28.4
76.9 70.9 14.8 17.6 22 20.2
89.4 83.3 15.1
22
25.5
17
13.5
R1/4 11
70
28
36.4
10 14.9 11.7 21.2
14.4
38
1
1.2
24
18.4
12.4
1.2
23.3 33.6
28
38.6 10.5
3
42.1
10
[3.2]
[38.4] [10.3]
8
28.9
20.2
11.4 12.4
8
17
28.4
18.1
89.4 83.3 15.1 17.6
R3/8 12 90.4 84 17.5
18.2
22
14.8
R1/4 11 89.4 83.3 16.8
6
14.4
13.5
25.5
17
18.4
12.4
8
12
A
対辺 ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
E
H (mm) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
0.7
10
L1
B
45
12
6
H
メートルネジタイプ
10 14.9 11.7 21.2
11.4 12.4
8
10
12
C2
A
L1
B
L2 øP1 øP2 C1 C2
38.6 10.5
3
42.1
M5×0.8
10
[3.2]
[38.4] [10.3]
L2
øD1
真空パッド 真空関連機器 技術資料
VHH05-4M5J
A
R
P
P.69
真空ポンプ対応ユニット
形　式
チューブ外径 チューブ外径
R
øD1 øD2
EX
C2
H
øP1
L2
C1
V
E
C1
øD1
øD2
øP1
銅系不使用
対応品あり
CAD
-2D & 3D-
グラフ
真空発生器 真空ポンプ
VH
138 VH_20-1003J
128 VH_20-1202J
138 VH_20-1203J
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
V
EX
EX
R
A
L1
B
øP2
H
A
L1
B
VS□20-□□の場合
形　式
VSH05-601
VSH07-601
VSH10-601
VSH12-601
VSH10-801
VSH12-801
VSH15-802
VSH15-1002
VSH20-1202
VSH20-1203
VSL05-601
VSL07-601
VSL10-601
VSL07-801
VSL10-801
VSL15-802
VSL15-1002
VSL15-1202
VSL20-1202
VSL20-1203
VSE07-601
VSE10-601
VSE12-601
VSE10-801
VSE12-801
VSE15-802
VSE15-1002
VSE20-1202
VSE20-1203
79
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
チューブ外径
øD
6
R
A
B
L1
20.2 12.6
R1/8
8
48
44
71.5 65.5
R3/8
12
99.6 93.5
100.6 94.2
12
17
14.6
R1/8
8
48
22.4
24.7 17.8
35.2
21
44
22
28
19.2
20.2 20.8
23.4
25
17
17.2
14.6
22.4
R3/8
12
22
27.4 21.2
99.6 93.5
100.6 94.2
35.2
7
11.5
13
23
1
28
46
38
70
1.2
0.5
22
1.5
24
2
18.2
21
20.2 20.8
22
93
20.2 12.6
R1/8
8
48
44
23.4
25
71.5 65.5
10 R1/4 11
12
R3/8
12
99.6 93.5
100.6 94.2
17
24
17.2
18.4
21.6
8
14.6
22.4
24.7 17.8
35.2
21
28
46
38
70
63
100
40
17
18.1
22
28
19.2
20.2 20.8
23.4
25
121 VS_20-1202
129 VS_20-1203
12
11.5
23
1
42
46
0.7
26
23
40
1
42
46
39
1.5
95
2
38
100
174 200
10.5
1
21
34
27
47
1.2
0.35
92
VS_-601
VS_-801
77
VS_15-802
81
VS_15-1002
85
VSL15-1202
121 VS_20-1202
129 VS_20-1203
17
1.2
1
18.2
VS_15-802
VS_15-1002
26
66
VS_-801
79
0.7
0.5
VS_-601
82
0.5
0.7
6
39
23.4 22.5
28
38
38
104 200
19.2
71.5 65.5 24.7 17.8
11
90
1.2
17
18.1
単位：mm
0.7
1
18.2
18.4
21.6
R1/4
17.2
17
18.1
20.2 12.6
8
10
E
18.4
21.6
10 R1/4 11
6
C
P
対辺 ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
H (mm) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
0.5
8
12
L2 øP1 øP2
CAD
-2D & 3D-
E
øD
øP1
E
R
P
C
グラフ
P.69
øP1
øD
L2
C
V
L2
øP2
真空発生器
電磁弁直付形ストレートタイプ（大気開放）
VS
21
34
27
47
22
1.5
42
70
24
2
82
150
38
VS_-601
40
VS_-801
80
VS_15-802
83
VS_15-1002
121 VS_20-1202
129 VS_20-1203
※. L1 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
■ VH タイプの交換エレメント
A
B
C
D
サイレンサエレメント
エレメントセット形式 エレメントセット内容
SEE0802
B のみ
SE01
A, B, C セット
SE02
B, C, D セット
真空発生器 VH 形式
VH □□ - □ M5
VH □□ - □ 01
VH □□ - □ 02
⚠ネジサイズ M5 のエレメント交換
の際は、必ずローレット部（下図
参照）を固定しキャップを取外し
てください。
※. ノズル径 ø2.0mm タイプの交換エレメントは VC
タイプの交換エレメント (VCSE20) と同じになり
ます。(P.103 参照 )
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
キャップ
ローレット部
6
A
B
L1
R1/8
8
12
12
6
R1/4 11
76.9 70.9
89.4 83.3
R3/8 12 90.4 84
8
R1/8
8
12
øP1
øD
19.2
20.2
23.3
28 23.4
14.6
R1/4 11
18.2
R3/8 12 90.4 84
35.2 21
R1/8
8
58.4 54.4
12
R1/4 11
76.9 70.9
89.4 83.3
R3/8 12 90.4 84
E
23
47
28
46
46
45
1.2
24.7 17.8
35.2 21
93
38
70
28
46
48
38
70
47
63
100
24
2
104 200
0.5
12 11.5
0.7
26
23
1
42
46
46
0.7
26
23
48
42
46
47
1
0.5
66
1.5
28 23.4
23.3
20.8
25
98 VS_15-1002J
133 VS_20-1202J
141 VS_20-1203J
47
VS_-601J
80
VS_-801J
VH · VS
92 VS_15-802J
95
100
2
174 200
0.7
10.5 17
1
17
19.2
20.2
24
18.2
18.1
22
VS_-801J
96 VS_15-1002J
99 VSL15-1202J
17.2
18.2
VS_-601J
94 VS_15-802J
1.5
17
25
17
14.6
22.4
0.5
22
20.8 22
28 23.4
18.4
21.6
11.5 46
23.4 23.3 22.5
20.2 12.6
8
7
1
19.2
27.4 21.2
90
13
1.2
18.2
18.1
単位：mm
0.7
1
17.2
76.9 70.9 24.7 17.8 22 20.2
89.4 83.3
20.8
25
17
18.4
21.6
12
øP2
øD1
58.4 54.4
8
10
35.2 21
22
17
18.2
22.4
12
6
24.7 17.8
18.2
18.1
20.2 12.6
8
10
14.6
22.4
17.2
17
18.4
21.6
P
VS□20-12□Jの場合
L2 øP1 øP2 C1 C2
58.4 54.4
L1
B
A
対辺 ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
E
H (mm) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
0.5
8
10
L1
B
20.2 12.6
8
A
22
24
21
141 VS_20-1203J
46
34
45 VS_-601J
27
47
46
1
21
34
48
1.2 0.35 92
27
47
47
1.5
42
70
82
150
VU
VUM
133 VS_20-1202J
1.2
2
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
VSH05-601J
VSH07-601J
VSH10-601J
VSH12-601J
VSH10-801J
VSH12-801J
VSH15-802J
VSH15-1002J
VSH20-1202J
VSH20-1203J
VSL05-601J
VSL07-601J
VSL10-601J
VSL07-801J
VSL10-801J
VSL15-802J
VSL15-1002J
VSL15-1202J
VSL20-1202J
VSL20-1203J
VSE07-601J
VSE10-601J
VSE12-601J
VSE10-801J
VSE12-801J
VSE15-802J
VSE15-1002J
VSE20-1202J
VSE20-1203J
C2
R
真空ポンプ対応ユニット
EX
C
R
P
H
チューブ外径 チューブ外径
R
øD1 øD2
V
L2
C1
øP1
E
øD2
V
CAD
-2D & 3D-
グラフ
P.69
øP2
銅系不使用
対応品あり
L2
真空発生器 真空ポンプ
電磁弁直付形ストレートタイプ（集中排気）
VS
VY
VB
VM · VC
VS_-801J
VRL
95 VS_15-802J
98 VS_15-1002J
133 VS_20-1202J
141 VS_20-1203J
VVV
VG
※. L1 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
VQ
■ VS タイプの交換エレメント
VK
A
B
C
D
サイレンサエレメント
エレメントセット形式 エレメントセット形式 真空発生器 VS 形式
SE01
A, B, C セット
VS □□ - □ 01
SE02
B, C, D セット
VS □□ - □ 02
※. ノズル径 φ2.0mm タイプの交換エレメントは VC タイプの交換エレメント (VCSE20) と
同じになります。
(P.103 参照 )
VJ
VX
VN
VZ
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-2D & 3DP.000
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
管形ストレートタイプ（大気開放）
9.8
B
L
C
A
Hex. 12
B
L
V
EX
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
R
ø13
P
11.8
9.8
7.8
グラフ
øD
真空発生器
VU
P.69
CAD
-2D & 3D-
A
R
メートルネジ
タイプ
単位：mm
形　式
VUH05-M54A
VUH05-M56A
VUH05-M64A
VUH05-M66A
VUH05-014A
VUH05-016A
VUH07-M54A
VUH07-M56A
VUH07-M64A
VUH07-M66A
VUH07-014A
VUH07-016A
VUL05-M54A
VUL05-M56A
VUL05-M64A
VUL05-M66A
VUL05-014A
VUL05-016A
VUL07-M54A
VUL07-M56A
VUL07-M64A
VUL07-M66A
VUL07-014A
VUL07-016A
VUE07-M54A
VUE07-M56A
VUE07-M64A
VUE07-M66A
VUE07-014A
VUE07-016A
81
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
R
A
M5×
0.8
3
M6×1
3.4
R1/8
8
M5×
0.8
3
M6×1
3.4
R1/8
8
M5×
0.8
3
M6×1
3.4
R1/8
8
M5×
0.8
3
M6×1
3.4
R1/8
M5×
0.8
M6×1
R1/8
8
3
3.4
8
B
L
C
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
50
47
10.9
18
VU_05-M54A
48.1
11.7
17
VU_05-M56A
50.5
47.1
10.9
18
VU_05-M64A
51.6
48.2
11.7
17
VU_05-M66A
54
50
10.9
55.1
51.1
11.7
56.8
53.8
10.9
57.6
54.6
11.7
57.3
53.9
10.9
58.1
54.7
11.7
60.8
56.8
10.9
61.6
57.6
11.7
50
47
10.9
51.1
48.1
11.7
50.5
47.1
10.9
51.6
48.2
11.7
54
50
10.9
55.1
51.1
11.7
56.8
53.8
10.9
57.6
54.6
11.7
57.3
53.9
10.9
58.1
54.7
11.7
60.8
56.8
10.9
61.6
57.6
11.7
56.8
53.8
10.9
0.5
90
7
11.5
20
0.7
92
12.5
23
0.5
12
11.5
20
0.7
23
22
VU_05-016A
VU_07-M54A
18
VU_07-M56A
19
VU_07-M64A
VU_07-M66A
VU_07-014A
VU_07-016A
18
VU_05-M54A
17
VU_05-M56A
18
VU_05-M64A
17
VU_05-M66A
20
66
VU_05-014A
19
21
VU_05-014A
VU_05-016A
19
VU_07-M54A
18
VU_07-M56A
19
VU_07-M64A
18
VU_07-M66A
21
VU_07-014A
VU_07-016A
VU_07-M54A
57.6
54.6
11.7
57.3
53.9
10.9
58.1
54.7
11.7
60.8
56.8
10.9
22
VU_07-014A
61.6
57.6
11.7
21
VU_07-016A
19
0.7
90
10
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
CAD
ファイル名
51.1
17
※. テーパネジタイプの L 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. M5、M6 ネジは、六角対辺部がローレットになっております。また、Hex. 12 は、01(R1/8) ネジの場合です。
質量
(g)
VU_07-M56A
VU_07-M64A
VU_07-M66A
管形ストレートタイプ（集中排気）
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
EX
R
M5×0.8
M6×1
A
L
B
R
メートルネジ
タイプ
単位：mm
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
B
L
C
E
3
[3.2]
47[46.8]
10.9
22
51.1
48.1[47.9]
11.7
23.1
50.5
47.1
10.9
22
51.6
48.2
11.7
23.1
54
50
10.9
22
23
55.1
51.1
11.7
23.1
22
56.8
53.8[53.6]
10.9
28.8
57.6
54.6[54.4]
11.7
29.6
57.3
53.9
10.9
28.8
58.1
54.7
11.7
29.6
60.8
56.8
10.9
28.8
24
61.6
57.6
11.7
29.6
23
50
47[46.8]
10.9
22
51.1
48.1[47.9]
11.7
23.1
50.5
47.1
10.9
22
51.6
48.2
11.7
23.1
54
50
10.9
22
55.1
51.1
11.7
23.1
56.8
53.8[53.6]
10.9
28.8
57.6
54.6[54.4]
11.7
29.6
3.4
M5×0.8
3
[3.2]
M6×1
3.4
R1/8
8
M5×0.8
3
[3.2]
3.4
8
M5×0.8
3
[3.2]
M6×1
3.4
R1/8
8
M5×0.8
3
[3.2]
M6×1
3.4
R1/8
E
15
50
8
R1/8
C
A
A
R1/8
M6×1
B
L
8
57.3
53.9
10.9
28.8
58.1
54.7
11.7
29.6
60.8
56.8
10.9
28.8
61.6
57.6
11.7
29.6
VU_05-M54J
20
0.5
90
7
11.5
VU_05-M56J
VU_05-M64J
VU_05-M66J
VU_05-014J
VU_05-016J
VU_07-M54J
21
0.7
92
12.5
23
VU_07-M56J
VU_07-M64J
VU_07-M66J
VU_07-014J
VU_07-016J
VU_05-M54J
20
0.5
12
11.5
19
22
0.7
20
23
VU_05-M56J
21
22
23
22
VU_05-M66J
VU_05-014J
VU_05-016J
VU_07-M54J
VU_07-M56J
VU_07-M64J
VU_07-014J
VU_07-016J
56.8
53.8[53.6]
10.9
28.8
54.6[54.4]
11.7
29.6
VU_07-M54J
57.3
53.9
10.9
28.8
58.1
54.7
11.7
29.6
60.8
56.8
10.9
28.8
24
VU_07-014J
61.6
57.6
11.7
29.6
23
VU_07-016J
VU_07-M56J
90
10
17
※. テーパネジタイプの L 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. M5、M6 ネジは、六角対辺部がローレットになっております。また、Hex. 12 は、01(R1/8) ネジの場合です。
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
※. 寸法表内の
［　］
寸法は、銅系金属不使用使用時の値となります。
21
VH · VS
VU
VUM
VY
VU_07-M66J
57.6
0.7
82
VU_05-M64J
66
20
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
VUH05-M54J
VUH05-M56J
VUH05-M64J
VUH05-M66J
VUH05-014J
VUH05-016J
VUH07-M54J
VUH07-M56J
VUH07-M64J
VUH07-M66J
VUH07-014J
VUH07-016J
VUL05-M54J
VUL05-M56J
VUL05-M64J
VUL05-M66J
VUL05-014J
VUL05-016J
VUL07-M54J
VUL07-M56J
VUL07-M64J
VUL07-M66J
VUL07-014J
VUL07-016J
VUE07-M54J
VUE07-M56J
VUE07-M64J
VUE07-M66J
VUE07-014J
VUE07-016J
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
R
真空ポンプ対応ユニット
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
Hex. 12
V
ø13
P
2-ø3.2
8.5
øD
9.8
11.8
9.8
7.8
ø11
11.6
20.5
ø6
銅系不使用
対応品あり
真空発生器 真空ポンプ
VU
VU_07-M64J
VU_07-M66J
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3DP.000
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
管形ユニオンストレートタイプ（大気開放）
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
B
9.8
C2
EX
C1
øD1
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
V
ø13
P
11.8
9.8
7.8
øD2
真空発生器
VU
単位：mm
形　式
VUH05-44A
VUH05-46A
VUH05-64A
VUH05-66A
VUH07-44A
VUH07-46A
VUH07-64A
VUH07-66A
VUL05-44A
VUL05-46A
VUL05-64A
VUL05-66A
VUL07-44A
VUL07-46A
VUL07-64A
VUL07-66A
VUE07-44A
VUE07-46A
VUE07-64A
VUE07-66A
83
VH · VS
VU
VUM
チューブ外径 チューブ外径
øD1
øD2
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
B
49.3
50.4
50.1
51.2
56.1
C1
10.9
11.7
10.9
56.9
57.7
49.3
50.4
50.1
51.2
56.1
11.7
10.9
11.7
10.9
56.9
57.7
56.1
11.7
10.9
56.9
57.7
11.7
C2
10.9
11.7
10.9
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm) (-kPa) (l/min(ANR)) (l/min(ANR))
19
0.5
90
7
18
10.9
10.9
20
0.7
92
12.5
11.7
10.9
11.7
10.9
19
0.5
66
10.9
10.9
ティー
ストレート
0.7
23
22
11.7
19
CAD
ファイル名
VU_05-44A
VU_05-46A
VU_05-64A
VU_05-66A
VU_07-44A
VU_07-46A
VU_07-64A
VU_07-66A
VU_05-44A
VU_05-46A
VU_05-64A
VU_05-66A
VU_07-44A
VU_07-46A
VU_07-64A
18
VU_07-66A
10.9
21
VU_07-44A
11.7
20
VU_07-46A
10.9
0.7
90
10
11.7
エレメント形式
FEE8.2×2
FEE10×2
17
19
備　考
A：分解可能型
アダプタタイプのみ
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
20
20
フィルタ
エレメント
11.5
18
11.7
11.7
12
■ 交換エレメント
VM · VC
23
19
VY
VB
11.5
11.7
11.7
質量
(g)
VU_07-64A
VU_07-66A
管形ユニオンストレートタイプ（集中排気）
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
EX
ø13
9.8
VUH05-44J
VUH05-46J
VUH05-64J
VUH05-66J
VUH07-44J
VUH07-46J
VUH07-64J
VUH07-66J
VUL05-44J
VUL05-46J
VUL05-64J
VUL05-66J
VUL07-44J
VUL07-46J
VUL07-64J
VUL07-66J
VUE07-44J
VUE07-46J
VUE07-64J
VUE07-66J
B
49.3
50.4
50.1
51.2
56.1
C1
10.9
11.7
10.9
56.9
57.7
49.3
50.4
50.1
51.2
56.1
11.7
10.9
11.7
10.9
56.9
57.7
56.1
11.7
10.9
56.9
57.7
11.7
C2
22
11.7
23.1
10.9
22
11.7
23.1
10.9
28.8
11.7
29.6
10.9
28.8
11.7
29.6
10.9
22
11.7
23.1
10.9
22
11.7
23.1
10.9
28.8
11.7
29.6
10.9
28.8
11.7
29.6
10.9
28.8
11.7
29.6
10.9
28.8
11.7
29.6
11.6
20.5
15
C1
B
単位：mm
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
E
10.9
E
質量
(g)
21
0.5
90
7
11.5
20
23
0.7
92
12.5
23
22
21
21
0.5
12
11.5
20
66
20
0.7
22
23
22
21
CAD
ファイル名
VU_05-44J
VU_05-46J
VU_05-64J
VU_05-66J
VU_07-44J
VU_07-46J
VU_07-64J
VU_07-66J
VU_05-44J
VU_05-46J
VU_05-64J
VU_05-66J
VU_07-44J
VU_07-46J
90
10
17
22
VU_07-66J
VU_07-46J
VU_07-64J
21
84
VU_07-64J
VU_07-44J
0.7
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
チューブ外径 チューブ外径
øD1
øD2
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
4
4
6
4
6
6
C2
V
真空ポンプ対応ユニット
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
2-ø3.2
øD1
P
ø11
8.5
9.8
11.8
7.8
øD2
ø6
銅系不使用
対応品あり
真空発生器 真空ポンプ
VU
VU_07-66J
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
VH · VS
VU
VUM
VY
VUK VUタイプ固定用ホルダ
CAD
-2D-
VB
VM · VC
21
B
VRL
13.5
12
VVV
J
F
VG
2-ø4.5
単位：mm
形　式
VUK05
VUK07
B
F
J
33.2
9
15
39.2
10
20
質量
(g)
2
2
※. VUK05 は、ノズル径 0.5mm 用・VUK07 は、ノズル径 0.7mm 用です。
※. 形式の末尾に J、または A の付いた商品にのみ使用可能です。
CAD
ファイル名
VQ
VK
VJ
VVU-005
VX
VN
VZ
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-2D & 3DP.000
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
管形アダプタタイプ（大気開放）
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
ø10
B
P
ø13
9.8
11.8
9.8
7.8
C
øD
真空発生器
VU
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
V
7
EX
※真空ポートに継手は付いておりません。
単位：mm
形　式
VUH05-4A
VUH05-6A
VUH07-4A
VUH07-6A
VUL05-4A
VUL05-6A
VUL07-4A
VUL07-6A
VUE07-4A
VUE07-6A
VU
85
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
B
C
41
10.9
42.1
11.7
47.8
10.9
48.6
11.7
41
10.9
42.1
11.7
47.8
10.9
48.6
11.7
47.8
10.9
48.6
11.7
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm)
(-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
質量
(g)
0.5
90
7
11.5
12
0.7
92
12.5
23
13
12
11.5
12
0.5
66
20
0.7
0.7
90
10
VU_05-4A
VU_05-6A
VU_07-4A
VU_07-6A
VU_05-4A
VU_05-6A
13
23
22
CAD
ファイル名
VU_07-4A
12
17
VU_07-6A
VU_07-4A
13
管形アダプタタイプ（集中排気）
VU_07-6A
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
EX
2-ø3.2
ø4mm
ø6mm
開放リング 開放リング
VY
øD
ø10
8.5
P
ø13
9.8
VUM
9.8
11.8
7.8
VU
ø11
11.8
20.5
銅系不使用
対応品あり
VH · VS
ø6
C
E
15
7
V
B
※真空ポートに継手は付いておりません。
VB
単位：mm
VM · VC
形　式
VUH05-4J
VUH05-6J
VUH07-4J
VUH07-6J
VUL05-4J
VUL05-6J
VUL07-4J
VUL07-6J
VUE07-4J
VUE07-6J
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
B
C
E
41
10.9
22
42.1
11.7
23.1
47.8
10.9
28.8
48.6
11.7
29.6
41
10.9
22
42.1
11.7
23.1
47.8
10.9
28.8
48.6
11.7
29.6
47.8
10.9
28.8
48.6
11.7
29.6
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm)
(-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.5
90
7
11.5
0.7
92
12.5
23
0.5
12
66
0.7
0.7
90
22
23
10
17
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
11.5
質量
(g)
CAD
ファイル名
14
VU_05-4J
13
VU_05-6J
15
14
VU_07-4J
VU_07-6J
VU_05-4J
13
VU_05-6J
15
VU_07-4J
14
VU_07-6J
15
VU_07-4J
VU_07-6J
形　式
小型管形
ユニオンストレート
（大気開放）
P
C2
øD2
EX
C1
B
ø8.5
øD1
6
チューブ外径：
ø3mmの場合の
開放リングサイズ
øP
チューブ外径：
ø1.8, ø4mmの場合の
開放リングサイズ
チューブ外径
ø1.8
ø4
øP
4.8
7.8
C2
B
9.4
43.2
6.4 VUM__-1803
10.9 44.7
9.4
44.2
10.9 45.7
9.4
6.5
0.3
2
4.5
6.6
45.7
10.9 47.2
9.4
43.2
44.2
10.9 45.7
9.4
0.4
0.5
90
4
8
6.6
45.7
43.2
44.2
10.9 45.7
9.4
0.5
7
11.5
6.6
45.7
43.2
44.2
10.9 45.7
9.4
6.5
0.3
3
4.5
6.6
45.7
43.2
44.2
10.9 45.7
9.4
0.5
66
0.4
6.5
7
8
6.6
45.7
9.4
45.7
0.5
12
11.5
9.4
43.2
44.2
9.3
88
0.3
1
3.5
6.6
45.7
10.9 45.7
9.4
6.5
0.4
0.35
2
6.5
6.6
45.7
44.2
9.4
45.7
10.9 47.2
VUM__-43
VUM__-1804
86
VH · VS
VU
VUM
VUM__-33
6.5
0.5
3
8
6.6
VY
VB
VM · VC
VRL
VUM__-34
VUM__-43
VUM__-1804
VUM__-33
VUM__-34
VVV
VG
VQ
VK
VUM__-43
6.4 VUM__-1803
10.9 44.7
9.4
VUM__-34
6.8 VUM__-44
90
43.2
10.9 45.7
VUM__-43
6.4 VUM__-1803
10.9 47.2
9.4
VUM__-34
6.8 VUM__-44
43.2
44.2
6.6
6.5
10.9 44.7
9.4
VUM__-1804
VUM__-33
6.4 VUM__-1803
10.9 47.2
9.4
VUM__-43
6.8 VUM__-44
10.9 44.7
10.9 45.7
VUM__-34
6.5 VUM__-33
10.9 47.2
9.4
VUM__-1804
VUM__-33
6.8 VUM__-44
44.2
10.9 45.7
VUM__-43
6.4 VUM__-1803
10.9 47.2
9.4
VUM__-34
6.8 VUM__-44
10.9 44.7
9.4
VUM__-1804
VUM__-33
6.4 VUM__-1803
10.9 47.2
9.4
VUM__-43
6.8 VUM__-44
10.9 44.7
9.4
VUM__-34
6.4 VUM__-1803
6.5
10.9 47.2
9.4
VUM__-1804
VUM__-33
6.8 VUM__-44
10.9 44.7
9.4
VUM__-43
6.4 VUM__-1803
6.5
10.9 47.2
9.4
VUM__-34
6.8 VUM__-44
10.9 44.7
9.4
VUM__-1804
VUM__-33
真空パッド 真空関連機器 技術資料
チューブ外径：
ø1.8, ø4mmの場合の
開放リングサイズ
単位 : mm
ノズル径 定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量
CAD
(ø) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
真空ポンプ対応ユニット
.8
ø7
V
P.89
CAD
-2D & 3D-
7
グラフ
VUMH03-1803
VUMH03-1804
VUMH03-33
VUMH03-34
VUMH03-43
VUMH03-44
VUMH04-1803
VUMH04-1804
VUMH04-33
VUMH04-34
VUMH04-43
VUMH04-44
VUMH05-1803
VUMH05-1804
VUMH05-33
VUMH05-34
VUMH05-43
VUMH05-44
VUML03-1803
VUML03-1804
VUML03-33
VUML03-34
VUML03-43
VUML03-44
VUML04-1803
VUML04-1804
VUML04-33
VUML04-34
VUML04-43
VUML04-44
VUML05-33
VUML05-34
VUML05-43
VUML05-44
VUME03-1803
VUME03-1804
VUME03-33
VUME03-34
VUME03-43
VUME03-44
VUME04-1803
VUME04-1804
VUME04-33
VUME04-34
VUME04-43
VUME04-44
VUME05-1803
VUME05-1804
VUME05-33
VUME05-34
VUME05-43
VUME05-44
チューブ外径 チューブ外径
C1
øD1 øD2
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.35
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
3
8.4
1.8
4
3
9.4
3
4
3
10.9
4
4
真空発生器 真空ポンプ
VUM
VUM__-1804
VUM__-33
VUM__-34
VUM__-43
6.8 VUM__-44
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
VUM 小型管形ストレート( 大気開放 )
P
6
øD
EX
グラフ
P.89
CAD
-2D & 3D-
.8
ø7
7
øP
V
M
A
形　式
VUMH03-M33
VUMH03-M34
VUMH03-M53
VUMH03-M54
VUMH04-M33
VUMH04-M34
VUMH04-M53
VUMH04-M54
VUMH05-M33
VUMH05-M34
VUMH05-M53
VUMH05-M54
VUML03-M33
VUML03-M34
VUML03-M53
VUML03-M54
VUML04-M33
VUML04-M34
VUML04-M53
VUML04-M54
VUML05-M33
VUML05-M34
VUML05-M53
VUML05-M54
VUME03-M33
VUME03-M34
VUME03-M53
VUME03-M54
VUME04-M33
VUME04-M34
VUME04-M53
VUME04-M54
VUME05-M33
VUME05-M34
VUME05-M53
VUME05-M54
87
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
チューブ外径
øD
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
3
4
M
A
M3×0.5
2.5
M5×0.8
3
M3×0.5
2.5
M5×0.8
3
M3×0.5
2.5
M5×0.8
3
M3×0.5
2.5
M5×0.8
3
M3×0.5
2.5
M5×0.8
M3×0.5
M5×0.8
M3×0.5
M5×0.8
M3×0.5
M5×0.8
M3×0.5
M5×0.8
3
2.5
3
2.5
3
2.5
3
2.5
3
グラフ 特性グラフページのご案内です。
P.000
C
L
L
C
チューブ外径：
ø3mmの場合の
開放リングサイズ
チューブ外径：
ø4mmの場合の
開放リングサイズ
ノズル径 定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
(ø)
(MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
単位 : mm
質量
(g)
CAD
ファイル名
6.7
VUM__-M33
6.8
VUM__-M34
7.5
VUM__-M53
9.4
42.3
10.9
43.8
9.4
42.3
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
9.4
42.3
6.7
VUM__-M33
10.9
43.8
6.8
VUM__-M34
9.4
42.3
7.5
VUM__-M53
10.9
43.8
7.7
VUM__-M54
0.3
0.4
2
0.5
90
0.5
7
0.3
0.4
3
0.5
66
0.5
7
12
0.3
0.4
4
88
0.35
1
2
4.5
8
11.5
4.5
8
11.5
3.5
6.5
90
0.5
3
8
2-ø3.5
20
7.5
9.5
New
CAD
-2D & 3D-
35
フィルタエレメント形式
FEE5.6×1.5
スペーサ
フィルタエレメント
VUK04
1
CAD
ファイル名
VUK04
真空パッド 真空関連機器 技術資料
スペーサ形式
VUM008S16
形　式
単位 : mm
真空ポンプ対応ユニット
■ 交換エレメント
6.5
10.7
質量
(g)
真空発生器 真空ポンプ
VUK VUMタイプ固定用ホルダ
88
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
流量特性
20
–90
18
–90
–80
16
–80
14
–60
12
流量
–30
消費
–20
吸込流量
–10
8
6
–60
–50
–40
–30
4
–20
2
–10
–90
–80
16
–80
真
空
14
到
達
12
10
–40
流量
–30
消費
–20
吸込流量
–10
VM · VC
18
–90
–80
16
–80
14
12
–50
10
–40
–30
–20
–10
量
流
消費
8
6
–100
–40
–30
–10
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
供給圧力 (MPa)
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
–40kPa
–26kPa
10
–13kPa
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
a
6kP
–6
a
–53kP
–40kPa
0
–26kPa
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
10
–13kPa
1,400
①②
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
Pa
6k
–8
1,000
–50
–20
①②
1,200
–60
4
3
真空到達時間
供給圧力：0.35MPa
–70
吸込流量 2
2
50
真空圧力 (kPa)
–60
真空
–70
度
20
–90
1
100
流量特性
–100
–66kPa
–53kPa
150
吸込流量 (l/min[ANR])
流量 (l/min[ANR])
VB
真空特性
kPa
–80
400
200
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5
VUME03
到達
VY
–10
a
6kP
250
–30
2
⑨
300
–40
–20
⑧
–8
350
–50
4
⑦
600
400
–60
供給圧力 (MPa)
到達真空度 (kPa)
VUM
6
⑤ ⑥
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
–70
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
89
VU
8
–100
真空圧力 (kPa)
到達真空度 (kPa)
–50
流量 (l/min[ANR])
18
度
20
–90
–60
VH · VS
流量特性
–100
③
&
④
800
0
吸込流量 (l/min[ANR])
VUML03
①②
200
0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 1.4 1.6 1.8 2
供給圧力 (MPa)
–70
1,000
–70
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
真空特性
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
真空到達時間 (msec)
空
真
10
達
–40
到
–50
度
–70
–100
真空圧力 (kPa)
流量 (l/min[ANR])
–100
真空到達時間 (msec)
真空特性
真空到達時間 (msec)
VUMH03
到達真空度 (kPa)
真空発生器
■ 特性
kPa
–80
800
600
Pa
–66k
400
–53kPa
200
0
0.2 0.4 0.6 0.8
1
1.2
吸込流量 (l/min[ANR])
0
–40kPa
–26kPa
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
※真空到達時間グラフ内の■の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。
詳細につきましては、下記をご覧ください。
① UB01810 (L: 500)
② UB01810 (L: 1,000)
③ UB0320 (L: 500)
④ UB01810 (L: 2,000)
⑤ UB0425 (L: 500)
⑥ UB0320 (L: 1,000)
⑦ UB0425 (L: 1,000)
⑧ UB0320 (L: 2,000)
⑨ UB0425 (L: 2,000)
8
9
10
–13kPa
真空特性
流量特性
真空到達時間
450
18
–90
400
16
–80
350
–40
–30
10
8
吸込流量
–20
12
–60
–50
–40
–30
4
–20
2
–10
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
真空特性
流量特性
20
–90
18
–90
16
–80
–70
–60
度
空
真
達
到
14
流量
–50
消費
–40
吸込流量
–30
12
10
8
6
–100
–50
–30
–10
2
–10
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
真空特性
18
–90
16
–80
–50
–40
14
流量
消費
12
10
8
–100
吸込流量 4
–20
2
–10
供給圧力 (MPa)
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
10
–13kPa
①②
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
kPa
–66
–53kPa
–40kPa
0
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
10
–13kPa
800
①②
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
VU
Pa
VUM
6k
–8
VY
400
kPa
–80
300
–30
200
0.5
1
1.5
2
2.5
吸込流量 (l/min[ANR])
0
VB
–66kPa
–53kPa
100
0
90
VH · VS
500
–40
–10
2
600
–50
–20
–40kPa
–26kPa
1
700
–60
6
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
供給圧力：0.35MPa
–70
–30
a
真空到達時間
真空圧力 (kPa)
–60
真空
–70
到達
到達真空度 (kPa)
–80
流量 (l/min[ANR])
–90
度
20
–53kPa
–26kPa
流量特性
–100
–66kP
100
50
吸込流量 (l/min[ANR])
VUME04
150
250
0 1 2 3 4 5 6 7
供給圧力 (MPa)
200
100
–40
–20
kPa
–80
250
150
–60
4
–
200
–70
–20
⑨
Pa
k
86
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
真空圧力 (kPa)
到達真空度 (kPa)
–80
流量 (l/min[ANR])
–100
⑧
300
0
吸込流量 (l/min[ANR])
VUML04
⑦
50
0 0.5 1 1.5 2 2.5 3 3.5
供給圧力 (MPa)
⑤ ⑥
真空パッド 真空関連機器 技術資料
–10
6
真空到達時間 (msec)
消費
③
&
④
真空到達時間 (msec)
流量
–50
①②
真空到達時間 (msec)
–60
–70
真空圧力 (kPa)
真空
14
到達
–70
供給圧力：0.5MPa
真空ポンプ対応ユニット
到達真空度 (kPa)
–80
流量 (l/min[ANR])
20
–90
度
–100
–100
真空発生器 真空ポンプ
VUMH04
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
※真空到達時間グラフ内の■の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。
詳細につきましては、下記をご覧ください。
① UB01810 (L: 500)
② UB01810 (L: 1,000)
③ UB0320 (L: 500)
④ UB01810 (L: 2,000)
⑤ UB0425 (L: 500)
⑥ UB0320 (L: 1,000)
⑦ UB0425 (L: 1,000)
⑧ UB0320 (L: 2,000)
⑨ UB0425 (L: 2,000)
8
9
–40kPa
–26kPa
10
VM · VC
–13kPa
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
空
–80
達
真
消
16
–80
12
到
–60
–90
14
量
流
費
10
吸込流量
–40
8
6
–20
–100
–10
–60
消
流量
吸込
–40
真
達
到
8
6
VY
VB
VM · VC
–30
0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
6
–100
–60
–50
–40
–30
–20
2
–10
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
–40kPa
–26kPa
10
–13kPa
①②
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
Pa
6k
–6
Pa
60
–53k
–40kPa
–26kPa
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
1,000
①②
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
10
–13kPa
⑨
800
0.5
1
1.5
2
2.5
吸込流量 (l/min[ANR])
Pa
6k
–8
600
Pa
–80k
400
200
0
9
真空到達時間
供給圧力：0.35MPa
–70
4
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
供給圧力 (MPa)
流量特性
–80
14
1
80
0
吸込流量 (l/min[ANR])
16
–53kPa
100
20
8
吸込流量
180
–10
10
–40
200
2
12
–60
–20
費
消
a
–66kP
120
真空圧力 (kPa)
到達真空度
–80
流
kPa
–80
140
–40
–90
–8
160
–50
18
⑨
a
6kP
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
40
流量 (l/min[ANR])
到達真空度 (kPa)
VUM
–100
0
–20
20
量
6
4
VUME05
–120
5
–60
供給圧力 (MPa)
真空特性
4
–70
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
91
VU
–80
10
度
–20
VH · VS
16
12
空
–100
–90
14
量
流
費
3
真空圧力 (kPa)
–80
2
流量特性
18
流量 (l/min[ANR])
到達真空度 (kPa)
–100
1
吸込流量 (l/min[ANR])
20
⑧
50
0
VUML05
⑦
100
–30
2
⑤ ⑥
150
–40
–20
③
&
④
200
–50
4
①②
250
–60
供給圧力 (MPa)
–120
300
–70
0
0.16 0.22 0.28 0.34 0.4 0.46 0.52 0.58 0.64 0.7
真空特性
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
真空到達時間 (msec)
度
到達真空度 (kPa)
–100
流量特性
18
真空到達時間 (msec)
20
真空到達時間 (msec)
–120
真空圧力 (kPa)
真空特性
流量 (l/min[ANR])
真空発生器
VUMH05
0
–66kPa
–53kPa
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
※真空到達時間グラフ内の■の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。
詳細につきましては、下記をご覧ください。
① UB01810 (L: 500)
② UB01810 (L: 1,000)
③ UB0320 (L: 500)
④ UB01810 (L: 2,000)
⑤ UB0425 (L: 500)
⑥ UB0320 (L: 1,000)
⑦ UB0425 (L: 1,000)
⑧ UB0320 (L: 2,000)
⑨ UB0425 (L: 2,000)
8
9
–40kPa
–26kPa
10
–13kPa
真空破壊機能付 サイレンサ大気開放仕様
PD
2-ø3.2
PDポート
破壊エア流量
調整ニードル
VY
遮断弁
エジェクタ
19.5
B
17
2-C2
F
VYH05-444
VYH05-666
VYH07-444
VYH07-666
VYL05-444
VYL05-666
VYL07-444
VYL07-666
VYE05-444
VYE05-666
VYE07-444
VYE07-666
Pポート
B
F
C1
C2
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
45.1
10.4
10.9
11
48
10.8
11.7
11.6
サイレンサ
Vポート
24.5
単位：mm
定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
ノズル径
(MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.5
90
7
11.5
92
12.5
23
12
11.5
0.5
0.7
0.5
0.5
66
0.7
18
21
0.5
0.35
8
9
17
真空破壊機能付 サイレンサ大気開放仕様 真空フィルタ付
PD
2-ø3.2
P.94
CAD
-2D & 3D-
V
VB
フィルタ
VM · VC
サイレンサ
単位：mm
F
C1
C2
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
ノズル径
定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
(MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.5
90
7
11.5
92
12.5
23
12
11.5
0.5
0.7
0.5
0.5
66
0.7
18
21
0.5
3
0.35
VH · VS
VY
24.5
B
92
VUM
エジェクタ
19.5
EX
23
8
90
0.7
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
グラフ
VU
B
17
VYH05-444F
VYH05-666F
VYH07-444F
VYH07-666F
VYL05-444F
VYL05-666F
VYL07-444F
VYL07-666F
VYE05-444F
VYE05-666F
VYE07-444F
VYE07-666F
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
20
遮断弁
F
2-C2
形　式
20
19
Pポート
PDポート
破壊エア流量
調整ニードル
Vポート
ø10.5
20
19
回路図
C1
11
27.3
12.5
Max. 33
Min. 30.1
5.3
P
3-øD
19
90
0.7
19
20
23
3
質量
(g)
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
V
CAD
-2D & 3D-
真空ポンプ対応ユニット
ø10.5
EX
グラフ
P.94
回路図
C1
11
27.3
12.5
Max. 33
Min. 30.1
5.3
P
3-øD
真空発生器 真空ポンプ
VY
9
17
質量
(g)
21
22
21
22
21
22
21
22
21
22
21
22
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
VY
真空破壊機能付 集中排気仕様
2-ø3.2
PD
Pポート
PDポート
破壊エア流量
調整ニードル
B
17
遮断弁
エジェクタ
形　式
VYH05-444J
VYH05-666J
VYH07-444J
VYH07-666J
VYL05-444J
VYL05-666J
VYL07-444J
VYL07-666J
VYE05-444J
VYE05-666J
VYE07-444J
VYE07-666J
93
VH · VS
30.1
F
2-C2
V
24.5
Vポート
ø6
11.7
EX
ø10.5
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
CAD
-2D & 3D-
グラフ
P.94
回路図
C1
11
27.3
12.5
Max. 33
Min. 30.1
5.3
P
3-øD
B
F
C1
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
55.7
10.4
10.9
11
58.6
10.8
11.7
11.6
EXポート
単位：mm
定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
ノズル径
(MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
C2
0.5
90
7
11.5
92
12.5
23
12
11.5
質量
(g)
23
23
0.5
0.7
0.5
0.5
66
23
21
0.5
0.35
23
23
18
0.7
23
3
8
9
17
23
23
90
0.7
23
24
CAD
-2D & 3DB
真空発生器側ポート
C
VY
ワーク側ポート
øP
øD2
VUM
øD1
VYF VY専用真空フィルタ
VU
L
VB
形　式
VM · VC
VYF44M
VYF66M
チューブ外径 適用継手径
øD1
øD2
4
4
6
6
単位：mm
B
L
C
34.7
21.5
11
øP
8
35.2
21.8
11.6
10.5
質量
(g)
濾過面積
(cm2)
2.5
1.1
1.5
0.8
VYB VY専用ブラケット
30.2
形　式
15
23
17
1.2
単位：mm
2-ø3.5
2-ø3.5
VYB11
29.2
(10.4)
9.2
4
CAD
-2D & 3D-
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
質量
(g)
8
27.3
12.5
11
PD
PDポート
破壊エア流量
調整ニードル
17
Pポート
VYH05-444JF
VYH05-666JF
VYH07-444JF
VYH07-666JF
VYL05-444JF
VYL05-666JF
VYL07-444JF
VYL07-666JF
VYE05-444JF
VYE05-666JF
VYE07-444JF
VYE07-666JF
EX
24.5
フィルタ
Vポート
ø6
EXポート
11.7
V
エジェクタ
30.1
F
2-C2
B
遮断弁
B
F
C1
C2
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
59.7
34.1
10.9
11
62.9
34.4
11.7
11.6
単位：mm
定格圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
ノズル径
(MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.5
90
7
11.5
92
12.5
23
12
11.5
質量
(g)
24
25
0.5
0.7
0.5
0.5
66
18
0.7
0.35
25
24
25
24
23
21
0.5
24
25
24
3
8
9
17
25
90
0.7
VH · VS
VU
供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量
5
10 15 20
吸込流量 (l/min(ANR))
供給圧力 (MPa)
0
真空圧力 (kPa)
空
度
達
真
イプ
到達
真空
度
プ
到
イ
Lタ
Lタ
イ
空
度
度
プ
到
達
真
真空
プ到達
真
到達
イプ
Eタイ
Eタイ
プ到達
真空度
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
VRL
–40
VVV
–30
–20
–10
0
5
)
6mm
外径：
ューブ
)
4mm
外径：
供給圧力 (MPa)
0
–10
–50
10 15 20
吸込流量 (l/min(ANR))
■ 破壊エア流量調整方法
・破壊エア流量の調整は、破壊エア調整ニードルを幅 ??
ロックナット
㎜のマイナスドライバを使用し、右（時計方向）に廻す
と流量が少なくなり、左（反時計方向）に廻すと流量が
流量：多く
大きくなります。破壊エア流量の調整が終了しました
ら、設定が狂わないように必ずロックナットを締めてください。
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-2D & 3DP.000
VG
ューブ
0
–20
Lタイプ吸込流量 20
Hタイプ吸込流量
10
Eタイプ吸込流量
VM · VC
プ(チ
–10
30
–60
Lタイ
–20
消
40
流量 (l/min(ANR))
–30
–30
量
流
費
–40
–40
50
VY
VB
–70
Eタイプ
Eタイプ吸込流量
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
5
–50
–50
–80
60
プ(チ
Hタイプ吸込流量
–60
–60
真空圧力 (kPa)
15
Lタイプ吸込流量 10
–70
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
–90
70
Lタイ
–10
20
–80
–70
プ
Lタイ
Hタイプ
Eタイプ
–20
量
流
費
消
–80
到達真空度 (kPa)
–30
25
流量 (l/min(ANR))
–40
30
–90
プ
–50
Hタ
–60
供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)
0.35MPa (Eタイプ)
流量特性
Hタイ
到達真空度 (kPa)
–70
真空特性
–90
35
VUM
VYH07, VYL07, VYE07
流量特性
空度
真空特性
Hタ
VYH05, VYL05, VYE05
–80
94
26
■ 特性
–90
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
チューブ外径
øD
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
4
6
P.94
真空ポンプ対応ユニット
ø10.5
CAD
-2D & 3D-
グラフ
回路図
C1
2-ø3.2
Max. 33
Min. 30.1
5.3
P
3-øD
真空発生器 真空ポンプ
真空破壊機能付 集中排気仕様 真空フィルタ付
VY
VQ
VK
VJ
破壊エア流量調整ニードル
流量：少なく
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
角形ユニオンタイプ ( 大気開放 )
2-øD
12.2
50
2-C
11.5
2-øP
L2
真空発生器
VB
2-ø4.3
CAD
-2D & 3D-
EX
20
15
12
V
グラフ
P.69
P
チューブ外径
形　式
øD
4
VBH05-44P
VBH07-66P
6
VBH10-66P
VBH12-66P
4
VBL05-44P
VBL07-66P
6
VBL10-66P
VBE07-66P
6
VBE10-66P
VBE12-66P
VB
95
øP
C
L1
L2
9
11
6.6
16.6
L15
12.7 5
11.6
7
単位：mm
ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm) (MPa) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.5
90
0.7
10.5
2-ø2.6
17
0.5
1
93
1.2
9
11
6.6
16.6
10.5
11.6
7
17
10.5
11.6
7
17
0.5
0.7
0.45
66
1
0.7
1
0.4
92
1.2
7
11.5
13
23
28
46
38
70
18
CAD
ファイル名
18
VB_05-44P
19
12
11.5
18
26
23
19
42
46
18
10.5
17
21
34
27
47
VB_-66P
VB_05-44P
VB_-66P
19
VB_-66P
18
角形ユニオンタイプ圧力センサ内蔵型
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
50
11.5
2-øD
VH · VS
VU
2-C
27.2
Max. 17
質量
(g)
EX
V
20
12
VUM
VY
白
P
VB
チューブ外径
形　式
øD
4
VBH05-44S
VBH07-66S
6
VBH10-66S
VBH12-66S
4
VBL05-44S
VBL07-66S
6
VBL10-66S
VBE07-66S
6
VBE10-66S
VBE12-66S
VM · VC
C
11
5
0.5
1
90
0.5
93
1.2
11
11.6
11.6
赤
2-ø4.3
単位：mm
ノズル径 使用圧力 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm)
(MPa)
(-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
0.7
11.6
黒
0.5
7
11.5
13
23
28
46
47
70
48
12
11.5
47
26
23
48
1
42
46
47
0.7
10.5
17
0.7
1
1.2
0.45
0.4
66
92
21
34
27
47
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-2D & 3D-
P.000
47
CAD
ファイル名
VB_05-44S
46
38
※. リード線　白：COMMON
赤：N.C.
黒：N.O.
質量
(g)
49
48
VB_-66S
VB_05-44S
VB_-66S
VB_-66S
CAD
-2D & 3D-
15
11.5
50
Max. 17 øD
C
2-ø4.3
V
20
15
12
5
12.7 5
C
11
11.6
単位：mm
質量
(g)
CAD
ファイル名
29
VUSM10-4
29
VUSM10-6
※. リード線　白：COMMON
赤：N.C.
黒：N.O.
■ 交換エレメント
エレメント A 形式
SEE0602
エレメント B 形式
VGED-G
真空パッド 真空関連機器 技術資料
形　式
VUSM10-4
VUSM10-6
チューブ外径
øD
4
6
2-ø2.6
真空ポンプ対応ユニット
黒
赤
白
真空発生器 真空ポンプ
VUSM 機械式圧力センサ
96
サイレンサ
エレメントA
サイレンサ
エレメントB
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
■ 機械式圧力センサの調整方法
・機械式圧力センサの調整は、真空度設定ニードルを右（時計
方向）
に廻すと設定真空度が高くなり、左
（反時計方向）
に廻す
と設定真空度が低くなります。真空度の調整が終了しました
ら、設定が狂わないように必ずロックナットを締めてくださ
い。
VRL
ロックナット
設定真空度：高く
真空度設定ニードル
設定真空度：低く
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
CAD
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-2D & 3D-
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
パッド直付形エルボ( 大気開放 )
追加
L
A M
グラフ
P.69, P.98
CAD
-2D & 3D-
□8
V
P
EX
9
6
▲
ノズル径：ø0.3, ø0.4mm
10
真空発生器
VM
2-H7
形　式
VMH03-M53
VMH03-M54
VMH04-M53
VMH04-M54
VMH05-M54
VMH05-M64
VML03-M53
VML03-M54
VML04-M53
VML04-M54
VML05-M54
VML05-M64
4
3
4
3
4
B
L
3.5
14.5
11
3.5
14.5
11
M5×0.8
3.5
14.5
11
M6×1
5.5
15.5
10
M5×0.8
4
3.5
14.5
3.5
14.5
11
M5×0.8
3.5
14.5
11
M6×1
5.5
15.5
10
F
9.4
4.5
4
8
0.5
7
11.5
18.2
0.3
4
4.5
19
0.4
7.5
8
9.4
10.9
10.9
9.4
10.9
単位：mm
2
10.9
11
M5×0.8
ø8
øD
C
F
15
0.3
17
0.4
19
9.4
10.9
10.9
19
90
66
0.5
11
16
17
EX
P
17
ø8
M
VU
11.5
VM_05-M64
グラフ
P.69, P.98
形　式
VY
VCH03-M53
VCH03-M54
VCH04-M53
VCH04-M54
VCH05-M54
VCH05-M64
VCL03-M53
VCL03-M54
VCL04-M53
VCL04-M54
VCL05-M54
VCL05-M64
VB
VM · VC
チューブ外径
M
(øD)
3
M5×0.8
4
3
M5×0.8
4
4
3
4
3
4
4
A
3.5
3.5
M5×0.8
3
M6×1
3.5
M5×0.8
M5×0.8
3.5
3.5
M5×0.8
3
M6×1
3.5
C
9.4
10.9
9.4
10.9
10.9
9.4
10.9
9.4
10.9
10.9
F
単位：mm
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR])
15
0.3
17
0.4
90
質量
(g)
CAD
ファイル名
ー
2
4.5
13
4
8
14
0.5
7
11.5
15
18.2
0.3
4
4.5
14
ー
19
0.4
7.5
8
14
ー
19
0.5
11
11.5
17
66
VC
サイレンサエレメント
形式：VMSE 5×2
サイレンサエレメント
形式：VMSE 5×2
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-2D & 3D-
P.000
ー
VC_05-M54
19
■ 交換エレメント
VM
CAD
-2D & 3D-
□8 H7
V
VUM
ー
VM_05-M54
A
VH · VS
VM_05-M64
6.5
▲
16
C
ー
ー
øD
F
ノズル径：ø0.3, ø0.4mm
ー
VM_05-M54
18
パッド直付形ストレート( 大気開放 )
追加
97
A
C
16
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
15.5
VC
チューブ外径
M
(øD)
3
M5×0.8
4
3
M5×0.8
4
B
VC_05-M64
VC_05-M54
VC_05-M64
真空発生器 真空ポンプ
■ 特性
VCH03, VMH03
6
–80
–40
3
吸込流量
–30
–50
–40
供給圧力 (MPa)
–60
–50
–40
量
流
込
吸
6
–80
5
量
流
費
消
–90
4
3
–30
真空圧力 (kPa)
–70
7
–60
–50
–40
–50
–40
吸込流量
–30
10
8
6
4
–20
吸込
–60
–50
–40
量
流
費
消
真
達
到
度
空
8
6
4
–30
–20
2
–10
0.16 0.22 0.28 0.34 0.40 0.46 0.52 0.58 0.64 0.70
供給圧力 (MPa)
7
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
8
9
⑧
–40kPa
–26kPa
10
–13kPa
⑨
a
P
3k
–5
80
70
60
50
Pa
–40k
40
30
0
600
550
–26kPa
–13kPa
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
①②
8
9
10
98
VH · VS
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
VU
Pa
6k
–8
VUM
Pa
80k
VY
–
250
–40
200
150
–53kPa
50
1
2
3
4
0
流量特性
VB
–66kPa
100
吸込流量 (l/min[ANR])
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
8
9
–40kPa
–26kPa
10
–13kPa
70
①②
60
–80
–70
–60
–50
–40
–30
–20
③
&
④
⑤ ⑥
⑦
⑧
⑨
Pa
3k
–5
50
VJ
20
吸込流量 (l/min[ANR])
0
VG
VK
Pa
–40k
30
–26kPa
VX
–13kPa
01 2 3 4 5 6 7 8 9
VRL
VQ
40
10
–10
VM · VC
VVV
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
–90
真空圧力 (kPa)
流量
–70
容積 (ml)
6
300
–50
–30
10
–80
5
350
0
流量 (l/min[ANR])
到達真空度 (kPa)
–90
4
400
–60
–100
3
450
–10
12
①②
90
500
–70
供給圧力 (MPa)
2
真空到達時間
–20
VCL04, VML04
–100
5
–80
0.16 0.22 0.28 0.34 0.40 0.46 0.52 0.58 0.64 0.70
真空特性
4
–90
2
–10
3
供給圧力：0.5MPa
–100
真空圧力 (kPa)
度
真
流
費
消
流量 (l/min[ANR])
–60
達
–70
量
2
流量特性
12
空
–80
到
到達真空度 (kPa)
–90
1
吸込流量 (l/min[ANR])
14
–100
1
10
0
VCH04, VMH04
–66kPa
–53kPa
20
–10
供給圧力 (MPa)
真空特性
110
–70
0.16 0.22 0.28 0.34 0.40 0.46 0.52 0.58 0.64 0.70
kPa
–80
300
0
–20
1
–10
Pa
6k
–8
400
100
–30
2
–20
⑨
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
–100
流量 (l/min[ANR])
度
空
達
真
–80
到
到達真空度 (kPa)
–90
2.5
流量特性
8
–100
2.0
吸込流量 (l/min[ANR])
VCL03, VML03
真空特性
1.5
⑧
500
100
1.0
⑦
600
200
0.5
⑤ ⑥
700
–10
0
③
&
④
800
–20
0.16 0.22 0.28 0.34 0.40 0.46 0.52 0.58 0.64 0.70
①②
真空パッド 真空関連機器 技術資料
1
–10
–60
–30
2
–20
–70
真空到達時間 (msec)
4
900
真空到達時間 (msec)
5
–50
1,000
真空到達時間 (msec)
–90
真空到達時間 (msec)
真
達
到
–60
量
流
費
消
7
流量 (l/min[ANR])
空
度
–80
真空到達時間
供給圧力：0.5MPa
–100
真空ポンプ対応ユニット
到達真空度 (kPa)
–90
–70
流量特性
8
–100
真空圧力 (kPa)
真空特性
1
2
3
4
5
容積 (ml)
6
7
※真空到達時間グラフ内の■の帯が付いた①～⑨は、配管チューブの記号(配管長(mm))を表します。
詳細につきましては、下記をご覧ください。
① UB01810 (L: 500)
② UB01810 (L: 1,000)
③ UB0320 (L: 500)
④ UB01810 (L: 2,000)
⑤ UB0425 (L: 500)
⑥ UB0320 (L: 1,000)
⑦ UB0425 (L: 1,000)
⑧ UB0320 (L: 2,000)
8
9
10
VN
VZ
⑨ UB0425 (L: 2,000)
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
パッド直付形ストレートタイプ ( 大気開放 )
P
グラフ
P.69
CAD
-2D & 3D-
B
E
C
□F
EX
A
L1
L2
L3
øP
øD
VC
R
形　式
VCH07-016C
VCH07-018C
VCH10-016C
VCH10-018C
VCH12-016C
VCH12-018C
VCH15-028C
VCH15-038C
VCH15-0210C
VCH15-0310C
VCH20-028C
VCH20-038C
VCH20-0210C
VCH20-0310C
VCL07-016C
VCL07-018C
VCL10-016C
VCL10-018C
VCL15-028C
VCL15-038C
VCL15-0210C
VCL15-0310C
VCL20-028C
VCL20-038C
VCL20-0210C
VCL20-0310C
VCE07-016C
VCE07-018C
VCE10-016C
VCE10-018C
VCE12-016C
VCE12-018C
VCE15-028C
VCE15-038C
VCE15-0210C
VCE15-0310C
VCE20-028C
VCE20-038C
VCE20-0210C
VCE20-0310C
99
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
チューブ外径
R
øD
6
8
6
R1/8
8
6
8
10
8
10
6
8
6
8
10
8
10
6
8
6
8
6
8
10
8
10
R1/4
A
L1
L2
L3
øP
B
E
62.5 24.5
C
17
単位：mm
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
□F
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
65.2 27.2 18.2
8
28
24
16
16
62.5 24.5
17
65.2 27.2 18.2
62.5 24.5
16
17
65.2 27.2 18.2
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
33
21
32.7 20.7
33
39
33
21
8
24
24
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
33
39
16
21
33
21
17
65.2 27.2 18.2
62.5 24.5
17
24
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
R1/4
11
R3/8
12
33
39
16
21
17
65.2 27.2 18.2
16
17
33
21
32.7 20.7
33
21
32.7 20.7
200
17
1
21
34
1.2
27
47
42
70
105.9 30.9 20.7
22
104.2 29.2 18.2
2
105.9 30.9 20.7
84
150
VC_-038C
VC_-0210C
89
VC_-0310C
VC_-028C
92
VC_-038C
93
VC_-0210C
94
VC_-0310C
VC_-016C
VC_-018C
VC_-016C
VC_-018C
VC_-028C
86
VC_-038C
87
VC_-0210C
88
VC_-0310C
87
VC_-028C
88
VC_-038C
VC_-0210C
VC_-0310C
VC_-016C
VC_-018C
32
VC_-016C
VC_-018C
VC_-016C
VC_-018C
88
92
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
180
10.5
※. L2、L3 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
100
VC_-028C
91
46
0.7
1.5
24
88
89
17
104.2 29.2 18.2
21
32.7 20.7
95
VC_-018C
VC_-018C
85
66
VC_-016C
VC_-016C
23
105.9 30.9 20.7
32.7 20.7
33
42
2
62.5 24.5
VC_-018C
32
32
1
65.2 27.2 18.2
11
26
22
62.5 24.5
R1/4
200
104.2 29.2 18.2
21
16
110
105.9 30.9 20.7
24
32.7 20.7
28
100
16
65.2 27.2 18.2
8
63
0.7
VC_-016C
87
22
62.5 24.5
R1/8
70
1.5
32.7 20.7
33
38
104.2 29.2 18.2
21
32.7 20.7
1.2
105.9 30.9 20.7
32.7 20.7
33
46
93
65.2 27.2 18.2
R1/4
28
2
21
16
1
104.2 29.2 18.2
32.7 20.7
28
23
105.9 30.9 20.7
32.7 20.7
33
13
1.5
21
32.7 20.7
0.7
104.2 29.2 18.2
62.5 24.5
R1/8
V
89
VC_-028C
VC_-038C
VC_-0210C
90
VC_-0310C
93
VC_-028C
94
95
VC_-038C
VC_-0210C
VC_-0310C
パッド直付形ストレートタイプ ( 集中排気 )
C2
L1
L2
L3
øP
□F
P
A
EX
形　式
8
10
8
8
8
10
28
øP
B
E
24
16
16
64.6 24.5
R3/8 12
R1/4 11
32
21
94
17
18.2
16
17
31.7 20.7
32
38
32
21
8
22
24
R1/4 11
32
12
R3/8 12
16
R1/4 11
21
32
38
R3/8 12
32
21
32
R3/8 12
64.6 24.5
17
18.2
8
28
24
16
16
17
32
12
R3/8 12
R1/4 11
21
94
31.7 20.7
R1/4 11
32
38
R3/8 12
32
21
31.7 20.7
R1/4 11
32
R3/8 12
21
31.7 20.7
26
23
1
42
46
-2D & 3D-
VC_-0210CJ
95
100
VC_-016CJ
98
VC_-038CJ
VC_-0210CJ
VC_-0310CJ
99 VC_-028CJ
180 200
18.2
16
0.7
10.5
17
1
21
34
1.2
27
47
29.2 18.2
100 VC_-038CJ
42
23.3
70
VC_-016CJ
VC_-018CJ
37
VC_-016CJ
VC_-018CJ
VC_-016CJ
101
VC_-038CJ
VC_-0210CJ
105 VC_-028CJ
29.2 18.2
2
95.7 30.9 20.7
84
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VC_-018CJ
102 VC_-0310CJ
22
VH · VS
100 VC_-0210CJ
100 VC_-028CJ
92
100
VC_-018CJ
VC_-018CJ
99
※. L2、L3 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
P.000
66
95.7 30.9 20.7
94
VC_-038CJ
101 VC_-0310CJ
17
22
VC_-0210CJ
VC_-016CJ
37
1.5
21
31.7 20.7
0.7
22
67.3 27.2 18.2
R1/4 11
VC_-038CJ
97 VC_-028CJ
17
67.3 27.2 18.2
64.6 24.5
R3/8 12
110 200 104
29.2 18.2
64.6 24.5
VC_-018CJ
103 VC_-028CJ
95.7 30.9 20.7
31.7 20.7
VC_-018CJ
VC_-016CJ
100 100
16
67.3 27.2 18.2
R1/8
63
2
21
VC_-016CJ
105 VC_-0310CJ
23.3
94
VC_-018CJ
37
101 VC_-0310CJ
1.5
22
VC_-016CJ
99 VC_-028CJ
29.2 18.2
64.6 24.5
8
70
95.7 30.9 20.7
31.7 20.7
R1/4 11
38
22
17
67.3 27.2 18.2
94
21
31.7 20.7
1.2
95.7 30.9 20.7
31.7 20.7
R1/4 11
46
29.2 18.2
67.3 27.2 18.2
R3/8 12
28
2
21
16
1
93
23.3
94
31.7 20.7
28
23
95.7 30.9 20.7
31.7 20.7
32
13
1.5
21
31.7 20.7
0.7
29.2 18.2
64.6 24.5
R1/8
17
67.3 27.2 18.2
R3/8 12
8
C1
67.3 27.2 18.2
64.6 24.5
R1/4 11
8
10
8
R3/8 12
10
6
8
6
8
6
L3
67.3 27.2 18.2
R1/4 11
12
L2
64.6 24.5
R3/8 12
8
10
L1
R1/4 11
10
6
8
6
A
単位：mm
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
C2 □ F
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
真空パッド 真空関連機器 技術資料
VCH07-016CJ
VCH07-018CJ
VCH10-016CJ
VCH10-018CJ
VCH12-016CJ
VCH12-018CJ
VCH15-028CJ
VCH15-038CJ
VCH15-0210CJ
VCH15-0310CJ
VCH20-028CJ
VCH20-038CJ
VCH20-0210CJ
VCH20-0310CJ
VCL07-016CJ
VCL07-018CJ
VCL10-016CJ
VCL10-018CJ
VCL15-028CJ
VCL15-038CJ
VCL15-0210CJ
VCL15-0310CJ
VCL20-028CJ
VCL20-038CJ
VCL20-0210CJ
VCL20-0310CJ
VCE07-016CJ
VCE07-018CJ
VCE10-016CJ
VCE10-018CJ
VCE12-016CJ
VCE12-018CJ
VCE15-028CJ
VCE15-038CJ
VCE15-0210CJ
VCE15-0310CJ
VCE20-028CJ
VCE20-038CJ
VCE20-0210CJ
VCE20-0310CJ
V
真空ポンプ対応ユニット
R
チューブ外径 チューブ外径
R
øD1 øD2
6
8
6
8 R1/8
8
6
CAD
-2D & 3D-
グラフ
P.69
øD2
E
C1
øD1
銅系不使用
対応品あり
B
真空発生器 真空ポンプ
VC
150 106
VC_-038CJ
VQ
VK
VJ
VX
VC_-0210CJ
107 VC_-0310CJ
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
VC
パッド直付形エア供給ポートエルボタイプ ( 大気開放 )
E2
P
øD
□F
101
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
8
10
8
10
6
8
6
8
10
8
10
6
8
6
8
6
8
10
8
10
R
A
8
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/8
8
L1
L2
L3
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/8
8
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
E2 øP1 øP2
57.3 19.3 12.5
17
45.7 41.7
58.3 20.3 14.5
18.2
42.8 38.8
45.7 41.7
16
57.3 19.3 12.5
58.3 20.3 14.5
16
17
18.2
42.8 38.8
57.3 19.3 12.5
17
45.7 41.7
58.3 20.3 14.5
18.2
99.3 24.3 14.5
18.2
100.8 25.8 17.5
20.2
52.7
56.5
52.7
46.7
21
46.4 20.7
50.5
21
50.2 20.7
46.7
21
24
100.8 25.8 17.5
20.2
42.8 38.8
57.3 19.3 12.5
17
45.7 41.7
58.3 20.3 14.5
18.2
50.5
21
50.2 20.7
42.8 38.8
16
52.7
56.5
52.7
46.7
21
46.4 20.7
50.5
21
50.2 20.7
46.7
21
46.4 20.7
50.5
21
57.3 19.3 12.5
16
17
58.3 20.3 14.5
18.2
99.3 24.3 14.5
18.2
100.8 25.8 17.5
99.3 24.3 14.5
58.3 20.3 14.5
18.2
57.3 19.3 12.5
58.3 20.3 14.5
16
17
18.2
42.8 38.8
57.3 19.3 12.5
17
45.7 41.7
58.3 20.3 14.5
18.2
99.3 24.3 14.5
18.2
56.5
52.7
56.5
46.7
21
46.4 20.7
50.5
21
50.2 20.7
46.7
21
46.4 20.7
50.5
21
50.2 20.7
46
1.2
38
70
110 200
14
0.7
26
23
1
42
46
16
91 VC_-038L
95 VC_-0210L
32 VC_-016L
34 VC_-018L
32 VC_-016L
34 VC_-018L
84 VC_-028L
66
95
100
85 VC_-038L
89 VC_-0210L
90 VC_-0310L
22
86 VC_-028L
180 200
87 VC_-038L
91 VC_-0210L
92 VC_-0310L
14
16
0.7
10.5
17
1
21
34
1.2
27
47
42
70
19
32 VC_-016L
34 VC_-018L
32 VC_-016L
34 VC_-018L
32 VC_-016L
34 VC_-018L
87 VC_-028L
92
88 VC_-038L
92 VC_-0210L
93 VC_-0310L
22
92 VC_-028L
18.2
20.2
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3D-
P.000
87 VC_-038L
91 VC_-0210L
96 VC_-0310L
※. L2、L3 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
32 VC_-016L
34 VC_-018L
90 VC_-028L
2
100.8 25.8 17.5
32 VC_-016L
34 VC_-018L
92 VC_-0310L
20.2
24
99.3 24.3 14.5
100
22
1.5
100.8 25.8 17.5
32 VC_-016L
34 VC_-018L
86 VC_-028L
63
2
45.7 41.7
52.7
28
18.2
17
16
1
93
19
57.3 19.3 12.5
45.7 41.7
23
20.2
24
42.8 38.8
42.8 38.8
13
1.5
20.2
50.2 20.7
16
0.7
2
100.8 25.8 17.5
56.5
14
19
18.2
56.5
単位：mm
1.5
99.3 24.3 14.5
46.4 20.7
V
対辺
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
C
□F
H
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
42.8 38.8
45.7 41.7
R1/4 11
E1
CAD
-2D & 3D-
øP2
H
A
L3
形　式
VCH07-016L
VCH07-018L
VCH10-016L
VCH10-018L
VCH12-016L
VCH12-018L
VCH15-028L
VCH15-038L
VCH15-0210L
VCH15-0310L
VCH20-028L
VCH20-038L
VCH20-0210L
VCH20-0310L
VCL07-016L
VCL07-018L
VCL10-016L
VCL10-018L
VCL15-028L
VCL15-038L
VCL15-0210L
VCL15-0310L
VCL20-028L
VCL20-038L
VCL20-0210L
VCL20-0310L
VCE07-016L
VCE07-018L
VCE10-016L
VCE10-018L
VCE12-016L
VCE12-018L
VCE15-028L
VCE15-038L
VCE15-0210L
VCE15-0310L
VCE20-028L
VCE20-038L
VCE20-0210L
VCE20-0310L
チューブ外径
R
øD
6
8
6
R1/8
8
6
グラフ
P.69
EX
L1
L2
C
øP1
E1
84
150
93 VC_-038L
97 VC_-0210L
98 VC_-0310L
パッド直付形エア供給ポートエルボタイプ ( 集中排気 )
EX
øP2
R
V
A
L3
H
45.7 41.7
8
10
8
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
12
R1/4 11
R3/8 12
8
8
10
8
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
12
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
8 R1/8
8
10
52.7
56.5
46.4 20.7
50.5 21
50.2 20.7
46.7 21
46.4 20.7
50.5 21
50.2 20.7
45.7 41.7
42.8 38.8
8
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
12
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
R1/4 11
R3/8 12
52.7
56.5
52.7
56.5
17
18.2
12.5
14.5
16
12.5
46.7 21
46.4 20.7
50.5 21
50.2 20.7
46.7 21
46.4 20.7
50.5 21
17
18.2
60.4 20.3 14.5
18.2
89.1 24.3 14.5
18.2
90.6 25.8 17.5
89.1 24.3 14.5
90.6 25.8 17.5
60.4 20.3 14.5
59.4 19.3 12.5
18.2
17
60.4 20.3 14.5
18.2
89.1 24.3 14.5
18.2
90.6 25.8 17.5
20.2
22
89.1 24.3 14.5
60.4 20.3 14.5
16
18.2
42.8 38.8
59.4 19.3 12.5
17
45.7 41.7
60.4 20.3 14.5
18.2
89.1 24.3 14.5
18.2
90.6 25.8 17.5
20.2
56.5
46.7 21
46.4 20.7
50.5 21
50.2 20.7
22
18.2 14
90.6 25.8 17.5
20.2
99 VC_-038LJ
102 VC_-0210LJ
102 VC_-028LJ
110 200
0.7
26
23
1
42
46
16
66
95 100
103 VC_-038LJ
107 VC_-0210LJ
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
97 VC_-038LJ
101 VC_-0210LJ
102 VC_-0310LJ
22
97 VC_-028LJ
180 200
98 VC_-038LJ
102 VC_-0210LJ
103 VC_-0310LJ
0.7
18.2 14
16
10.5 17
1
21
34
1.2
27
47
42
70
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
84 150
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
99 VC_-038LJ
103 VC_-0210LJ
103 VC_-028LJ
2
グラフ 特性グラフページのご案内です。 CAD ホームページにて CAD データを提供しております。
-2D & 3DP.000
38 VC_-018LJ
104 VC_-0310LJ
22
102
36 VC_-016LJ
98 VC_-028LJ
92
※. L2、L3 寸法は、ねじ締付け後の参考寸法です。
※. 金属部材質に銅系金属不使用仕様をご希望のお客様は、形式末尾に -S3 をご記入ください。
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
96 VC_-028LJ
23.3 19
18.2
38 VC_-018LJ
103 VC_-0310LJ
1.5
89.1 24.3 14.5
36 VC_-016LJ
98 VC_-028LJ
63 100
2
17
36 VC_-016LJ
38 VC_-018LJ
108 VC_-0310LJ
23.3 19
18.2
50.2 20.7
70
18.2
59.4 19.3 12.5
52.7
38
1.5
60.4 20.3 14.5
50.5 21
1.2
22
17
16
42.8 38.8
56.5
46
20.2
45.7 41.7
46.4 20.7
28
2
17
46.7 21
1
18.2
20.2
52.7
23
93
23.3 19
59.4 19.3 12.5
16
13
20.2
22
90.6 25.8 17.5
45.7 41.7
16
0.7
1.5
42.8 38.8
50.2 20.7
18.2 14
17
59.4 19.3 12.5
16
45.7 41.7
10
6
8
6
8
6
56.5
46.7 21
42.8 38.8
8 R1/8
8
10
R1/4 11
R3/8 12
10
6
8
6
R3/8 12
52.7
12.5
14.5
真空パッド 真空関連機器 技術資料
VCH07-016LJ
VCH07-018LJ
VCH10-016LJ
VCH10-018LJ
VCH12-016LJ
VCH12-018LJ
VCH15-028LJ
VCH15-038LJ
VCH15-0210LJ
VCH15-0310LJ
VCH20-028LJ
VCH20-038LJ
VCH20-0210LJ
VCH20-0310LJ
VCL07-016LJ
VCL07-018LJ
VCL10-016LJ
VCL10-018LJ
VCL15-028LJ
VCL15-038LJ
VCL15-0210LJ
VCL15-0310LJ
VCL20-028LJ
VCL20-038LJ
VCL20-0210LJ
VCL20-0310LJ
VCE07-016LJ
VCE07-018LJ
VCE10-016LJ
VCE10-018LJ
VCE12-016LJ
VCE12-018LJ
VCE15-028LJ
VCE15-038LJ
VCE15-0210LJ
VCE15-0310LJ
VCE20-028LJ
VCE20-038LJ
VCE20-0210LJ
VCE20-0310LJ
単位：mm
対辺
ノズル径 到達真空度 吸込流量 消費流量 質量 CAD
øP1 øP2 C1 C2
□F
H
(mm) (-kPa) (ℓ/min[ANR]) (ℓ/min[ANR]) (g) ファイル名
真空ポンプ対応ユニット
形　式
チューブ外径 チューブ外径
R A L1 L2 L3 E1 E2
øD1 øD2
42.8 38.8
59.4 19.3
6
45.7 41.7
60.4 20.3
8
42.8 38.8
59.4 19.3
6
16
8 R1/8 8
45.7 41.7
60.4 20.3
8
42.8 38.8
59.4 19.3
6
CAD
-2D & 3D-
C2
□F
L1
L2
C1
P
øP1
グラフ
P.69
øD2
E2
øD1
銅系不使用
対応品あり
E1
真空発生器 真空ポンプ
VC
104 VC_-038LJ
108 VC_-0210LJ
109 VC_-0310LJ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器 VH,VS,VU,VUM,VB,VM,VC,VY
真空発生器
■ 交換エレメント
エレメントセット形式
VCSE12
A
B
ストレート
サイレンサ
エレメント
セット
エルボ
ネジサイズ：01(R1/8)
A
サイレンサ
エレメント
セット
ストレート
VCSE15
B
C
VCSE20
エルボ
ネジサイズ：02(R1/4), 03(R3/8)
103
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
真空発生器形式
VC □ 07-01 □ C(L)
VC □ 10-01 □ C(L)
VC □ 12-01 □ C(L)
VC □ 15-028 □ C(L)
VC □ 15-038 □ C(L)
VC □ 15-0210 □ C(L)
VC □ 15-0310 □ C(L)
VC □ 20-028 □ C(L)
VC □ 20-038 □ C(L)
VC □ 20-0210 □ C(L)
VC □ 20-0310 □ C(L)
http://www.pisco.co.jp/
真空発生器 Series
真空発生器
真空発生器
真空の共通注意事項
弊社製品の選定、及びご使用前に必ずお読みください。各シリーズ毎の詳細注意事項については、
本文の個別注意事項、製品仕様をご確認ください。
警告
1. 吸着物
（ワーク）
が落下して危険と考えられる場合には、落下防止策をを施してください。
2. 真空回路側に常時 0.1MPa 以上の圧力が加わる使い方はしないでください。真空機器は防爆
構造ではありませんので本体破損の原因となる危険性があります。
3. 供給エア、供給電源のトラブルによる真空圧力の低下にはご注意ください。吸着力の低下に
より吸着物が落下する危険性がありますので安全策を施してください。
4. 真空回路にて 1 台の真空発生器に 2 個以上のパッドを配管した場合、1 個のパッドが吸着不
良
（漏れ）
を起こすと他のパッドは真空圧力の低下により離脱する危険性があります。
5. 真空発生器の排気ポートを塞ぐ、または排気抵抗が上がるような使い方はしないでください。
真空が発生しない、または真空圧力の低下の原因となります。
注意
55
1. 真空発生器のサイレンサエレメント及び真空フィルタのフィルタエレメントは、定期的に保
守点検を行ってください。エレメントの目詰まりにより、性能低下またはトラブルの原因と
なります。
2. エレメントの交換作業は、本文のエレメントの交換方法をよく理解し行ってください。
3. 水滴、油滴、塵埃のかかる所では使用しないでください。作動不良の原因となる可能性があ
ります。使用する際には、適切な防護対策を施してください。
4. 継手部の取扱いは、継手の共通注意事項またネジによる直付タイプ本体取付け、取外しは継
手の共通注意事項「4. 本体取付上の注意」
「5. 本体取外し上の注意」をご確認ください。
5. 電子式圧力センサの取扱いは、圧力センサ、デジタル表示付圧力センサの共通注意事項及び
個別注意事項をご確認ください。
6. 機械式圧力センサの取扱いは、機械式圧力センサの共通注意事項をご確認ください。
7. フィル タ 透 明 カ バ ー の 材 質 は VG、VK、VJ、VZ、VX、VJP、VZP、VXP ／ VXPT、
VFU2、VFU3タイプ共にPCTG ですので化学薬品（下記参照）の雰囲気または付着する場所
での使用は避けてください。
●表　化学薬品名
化学薬品名
アセトン
アニリン
塩化水素ガス
クロロホルム
酢酸エチル
四塩化炭素
シクロヘキサン
ジメチルホルムアミド（DMF）
硝酸（61% 20℃）
（濃硝酸）
シリコーングリース
化学薬品名
シリコーン油
水酸化アンモニウム
水酸化アンモニウム（濃縮）
トリクロロエチレン（トリクレン）
トルエン
二塩化エチレン
乳酸（高温）
乳酸（低温）
フェノール（石灰酸）
ベンゼン（ベンゾール）
化学薬品名
メチルアルコール（メタノール）
ラッカー
硫酸（10% 20℃）
硫酸（濃縮・20℃）
硫酸（濃縮・70℃）
※ 記載薬品以外でも使用できない物がありますので最寄りの営業所にお問い合わせください。
真空発生器 真空ポンプ
化学薬品名
化学薬品名
クロム酸（10% 70℃）
水蒸気（260℃ 以上）
クロム酸（25% 70℃）
テトラクロロエタン
クロロスル本酸
テトラヒドロフラン
クロロトルエン
トリクロロエチレン（トリクレン）
クロロベンゼン
二塩化エチレン
クロロホルム
二塩化メチレン
酢酸（無水酢酸）
ニトロベンゼン
次亜塩素酸
二硫化炭素
次亜塩素酸カルシウム
パークロロエチレン
次亜塩素酸ナトリウム（5% 70℃）
フェノール（石灰酸）
四塩化エタン
ベンジルクロライド
四塩化炭素
無水酢酸
ジクロロベンゼン
モノクロロベンゼン（クロロベンゼン）
ジメチルホルムアミド（DMF）
モノクロロ酢酸（クロロ酢酸）
臭化水素酸（20% 20℃）
硫酸（濃縮・20℃）
臭化水素酸（40% 20℃）
硫酸（発煙）
臭素
燐酸（濃縮）
水蒸気（204℃ ～ 260℃）
水蒸気（204℃ 以下）
※ 記載薬品以外でも使用できない物がありますので最寄りの営業所にお問い合わせください。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
化学薬品名
アニリン
エチレンクロロヒドレン
エピクロロヒドリン
塩化エチル（クロロエタン）
塩化チオニル
塩化ベンジル
塩化メチル
塩酸（20% 80℃）
塩酸（37% 20℃）
王水
オゾン
過酸化ナトリウム
か性ソーダ（30% 70℃）
過マンガン酸カリウム
ぎ酸（50% 20℃）
ぎ酸（90% 20℃）
クレゾール
クロム酸（2% 70℃）
クロム酸（2% 50℃）
真空ポンプ対応ユニット
8. 真空フィルタ（VQ、VQP、VFU0、VFU1 タイプ）の透明カバーの材質は、PA ですので化
学薬品
（下表参照）
の雰囲気、または付着する場所での使用は避けてください。
●表　化学薬品名
56
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器
真空発生器
機械式圧力センサの共通注意事項
警告
1. 機械式圧力センサは引火性、爆発性のあるガス、流体、雰囲気の中では使用しないでください。
圧力センサは防爆構造ではありませんので火災、爆発の原因となる危険性があります。
2. 水滴、油滴、塵埃などのかかる場所では使用しないでください。機械式圧力センサは防滴、
防塵構造ではありませんので故障の原因となる危険性があります。
3. 機械式圧力センサは、瞬時に 0.5MPa 程度の圧力が印加されても性能に変化がありませんが
真空破壊時には、0.2MPa 以上の圧力が常時印加されないようにしてください。常時印加さ
れるとスイッチの破壊の原因となる危険性があります。
4. 機械式圧力センサは、仕様の設定圧力範囲内でご使用ください。設定圧力範囲外で使用され
ると応差により誤作動の原因となる可能性があります。
5. 機械式圧力センサの配線は、必ず電源を切ってから行ってください。また、配線時にはリー
ド線の色を確認し誤配線に注意してください。
6. リード線には強い引張力や極端な曲げを与えないでください。断線の原因となる危険性があ
ります。
57
ディフューザ
●真空発生器（エジェクタ）は、圧縮空気を送入する
ノズル
ことにより真空を発生する装置のことで、原理は
左図のようになっています。
排気（EX）
圧縮空気（P）
ワーク
● 高速噴流を得て高い真空度を得るためにノズル、
ディフューザという構造を作り、これらの形状や
寸法の違いにより到達真空度、排気量（吸入量）、
空気消費量が決定されます。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
真空（V）
（吸引）
れディフューザへ流入します。高速噴流された時、
圧力が低下し、真空が発生し、ワーク搬送時に利
用できます。
真空ポンプ対応ユニット
パッド
● 圧縮空気は、ノズルにより絞られ、高速で放出さ
真空発生器 真空ポンプ
真空発生器の原理
58
VH · VS
VU
VUM
VY
VB
VM · VC
VRL
VVV
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
VZ
真空発生器 Series
真空発生器
真空発生器
真空発生器機種選定方法
PISCO 真空発生器には性能により基本的に H タイプ：高真空度形、L タイプ：大流量形（効率重視形）、E
タイプ：低供給圧力高真空度形の 3 タイプがありますので使用状態に合わせて選択してください。
●H
（高真空度形）
タイプ、E
（低供給圧力高真空度形）
タイプの使い分け
高真空度を必要とし、供給圧力が 0.5MPa が確保できる場合は H タイプを、また 0.5MPa が確保できな
い時や、消費空気量を節約したい時には E タイプを 0.35 ~ 0.4MPa にてご使用ください。
●H
（高真空度形）
タイプ、L
（大流量形
（効率重視形））
タイプの使い分け
高真空度を必要とする場合は H タイプ、また真空度を調整したい場合は L タイプを使用しレギュレー
タなどにより供給圧力を調整することにより希望の真空度にセットします。
L タイプの真空度特性は供給圧力とほぼ比例し、0.2 ~ 0.6MPa の間は図 1 になるように設定されており
ます。但し、目標値に対し −5 ~ +15％程度の差は生じますが供給圧力を目安に真空度設定が可能です。
●パッドが完全に密着しない時
吸着パッドが完全に密着できないワークの場合 H タイプ、L タイプのどちらかを用いるのが良いか判断
基準は真空系がどの程度の真空度になっているかにより決められます。真空度－吸込流量の図 2 によ
り真空系の真空度が −53kPa 以上の時は H タイプ、また −40kPa 以下の場合は L タイプの方がより有利
であると言えます。
Lタイプ到達真空特性
VHH 10､VHL 10の真空度−吸込流量
93
80
66
真空度 (-kPa)
真空度 (-kPa)
59
供給圧力：0.5MPa
93
80
53
40
26
66
53
40
VH
L1
13
0.2 0.3 0.4 0.5
供給圧力 (MPa)
（図1）
0.6
0.7
10
0.1
H
13
0
0
VH
26
0
10
20
30
40
吸込流量 (l/min[ANR])
50
（図2）
その他留意事項
●使用バルブ
電磁弁などを使用する場合、十分流量のとれる物を使用してください。
（ノズルの断面積に対し 3 倍以上の有効断面積のあるバルブを使用してください。）
●真空配管
真空系の配管抵抗は意外に大きな物となります。真空配管は可能な限り短くし、内径も太めの物
を使用してください。特に圧力センサなどを使用する場合、配管抵抗が大き過ぎると誤作動など
の原因にもなります。また、真空発生器の吸込流量が低下し流量不足による性能低下などにもな
ります。
●供給側配管
エア供給側の配管にも十分な配慮が必要です。真空発生器入力部において所定の圧力が確保され
るように配管してください。
http://www.pisco.co.jp/
Safety Instructions
安全上のご注意
この「安全上のご注意」は、弊社製品を正しくお使いいただくための注意事項で、人体の危
害と財産への損害を未然に防ぐためのものです。
ISO 4414、及び JIS B 8370 と併せて必ず守ってください。
ISO 4414：Pneumatic fluid power…General rules and safety requirements for system
and their components.
JIS B 8370：空気圧ーシステム及びその機器の一般規則及び安全要求事項
注意事項は、取扱いをあやまった場合に発生する危害や損害の程度により、「危険」、「警告」、「注意」
に区
分しています。
危険
警告
注意
明らかに危険な状態で、回避しないと死亡もしくは重傷を負う可能性
があるもの。
使用状況により危険な状態で、回避しないと死亡もしくは重傷を負う
可能性があるもの。
使用状況により危険な状態で、回避しないと軽いもしくは中程度の負
傷を負う可能性がある。または財産の損害、破壊の可能性があるもの。
危険
43
1. 次に示す用途では使用しないでください。
① . 人命及び身体の維持・管理などを目的とする機器。
② . 人の移動や搬送を目的とする機器。
③ . 特に安全を目的とする機器。
警告
1. 空気圧機器の選定について
① . 空気圧機器の選定は、空気圧システム設計者、または仕様を決定する人など十分な
知識と経験を持った人が判断してください。
② . 本カタログに掲載されている製品は、使用される条件が多様です。よってシステム
への適合性の決定は空気圧システム設計者、または仕様を決定する人など十分な知
識と経験を持った人が必要に応じて分析や信頼性試験を行ってから決定してくださ
い。また、このシステムの所期の性能、安全性の保証は、システムの適合性を決定
した人の責任となります。これ以降も最新の製品カタログや資料により、仕様の全
ての内容を検討し、機器の故障の可能性についての状況を考慮し、システムを構成
してください。
2. 使用環境について
次に示す環境では使用しないでください。
① . 製品ごとに記載されている仕様・条件以外での使用。
② . 屋外での使用。
③ . 過度の振動及び衝撃の加わる場所での使用。
④ . 腐蝕性ガス・引火性ガス・化学薬品・海水・水・水蒸気の雰囲気または付着する場
所での使用。
※ . この安全上の注意は、お断りなしに変更することがありますのでご了承ください。
3. 製品の取扱いについて
① . 空気圧機器の取扱については十分な知識と経験を持った人が取扱ってください。圧
縮空気は、取扱いを誤ると危険です。空気圧機器を使用した機械・装置の組立てや
操作、メンテナンスなどは、十分な知識と経験を持った人が行ってください。
② . 機械・装置の取扱い、機器の取外しは、安全を確認するまで絶対に行わないでくだ
さい。
⑴ . 機械・装置の点検や整備は、ワークの落下防止処置や暴走防止装置などが設置
されていることを確認してから行ってください。
⑵ . 機器を取外す時は、上記の安全処置がとられていることの確認を行い、圧縮空
気の供給と該当する設備の電源を遮断し、システム内の圧縮空気を排気してか
ら行ってください。
⑶ . 機械・装置を再起動時は、飛出し防御処置が行われているか確認し、注意して行っ
てください。
③ . 製品の基本構造や性能・機能に関わる分解・改造は行わないでください。
④ . 使用流体の漏れにより機械、装置への損傷もしくは災害を引き起こす恐れがある場
合には、予め保護カバーなどの安全対策を実施してください。
⑤ . ワンタッチ継手部の開放リングは、圧力がかかっている時には絶対に触れないでく
ださい。触れることにより、開放されチューブ抜けの原因となる危険性があります。
⑥ . エアの切換作動頻度が激しいと本体が発熱する場合があります。熱による火傷の原 44
因となる危険性があります。
⑦ . 製品に引っ張り、ねじり、曲げなどの負荷がかからないようにしてください。製品
本体の破損の原因となる危険性があります。
⑧ . ネジ側、またはチューブ側が揺動、または回転する場所では使用しないでください。
揺動、または回転により製品本体の破損の原因となる危険性があります。
⑨ . 樹脂本体が回転する製品は、強制的に揺動、回転させないでください。本体の破損、
漏れの原因となる可能性があります。
⑩ . 必要以上の乾燥エアを流さないでください。ゴム部品の劣化による作動不良の原因
となる可能性があります。
⑪ . 水や溶剤による洗浄や塗装は行わないでください。溶剤による樹脂部品の破損や、
塗装により作動不良を起こす原因となります。
⑫ . シールゴム材質、ガスケットに NBR を使用している製品は、オゾンの影響により
クラックが発生し、不具合に至る可能性があります。オゾンは、除電エア、クリー
ンルーム、高電圧モータなどの近くに通常より高濃度で存在しています。対策とし
ては、HNBR や FKM などへのゴム材質の変更が必要です。詳細につきましては、
最寄りの営業所へお問い合わせください。
⑬ . 製品の上に乗ったり、物を置かないでください。転落事故、製品の転倒、落下によ
るケガ、製品破損による誤作動などの原因となります。
Safety
IndexInstructions
真空発生器・真空ポンプ対応ユニット・真空パッド・真空関連機器 Series
安全上のご注意
保証内容
当社の責任により本製品が故障を生じた場合、次のいずれかの対応を速やかに実施させてい
ただきます。
① . 製品代替品の無償提供。
② . 製品を弊社工場にて無償修理。
免責事項
45
1. 当社は、当社製品の使用または使用上の不具合から発生した付随的・間接的な損害（工場・
生産設備における製造ラインの停止、事業の中断、利益の損失、人身傷害など）に関して、
一切責任を負いません。
2. 故障の原因が次の項目に該当する場合は、前記保証の適用範囲から除外させていただきま
す。
① . 天災、当社の責任以外の火災、第3者による行為、お客様の故意または過失などに
よる場合。
② . 当社カタログ、取扱説明書に記載された仕様の範囲を超えて使用された場合、及び
記載された以外の方法で使用された場合。
③ . 製品の改造によるもの、及び当社が関わっていない構造、性能、仕様の改変による
場合。
④ . 納入当時に分かっていた評価項目、対策方法では予見できない事由に起因する場合。
⑤ . 本製品を貴社の機械・機器に組込んで使用される際、貴社の機械・機器が通念上備
えられている機能、構造を持っていれば回避できたことに起因する場合。
3. 当社製品の不具合によりお客様に発生した損害などについては、お客様がご購入の該
当損害を発生させた当社製品の代金を上限とさせていただきます。
尚、前記保証は製品単体での保証を意味するもので、製品の故障により誘発される損害の
賠償はご容赦ください。
Common Safety Instructions for Products Listed in This Manual
掲載商品の注意事項
注意
1. 真空発生器の到達真空度がピークに達する少し手前の供給圧力にて、異音
（ブツブツ音）
が出ることがあります。この異音が出ている状態は、特性が不安定となっており、騒
音も大きくなります。また、センサなどに影響を与えトラブルの原因となる可能性が
ありますので、供給圧力の再設定を行ってください。
※ 異音
（ブツブツ音）
の発生領域は、気圧の影響などにより変化します。
2. 真空発生器供給圧力側の有効断面積は、ノズル径断面積の 3 倍の有効断面積を目安と
し配管及び機器選定を行ってください。供給流量不足の場合、性能低下の原因となり
ます。
3. ルブリケータは使用しないでください。
4. サイレンサエレメントに塵などが多量に付着していると製品性能の低下に繋がる可能
性があります。エレメントは、適当な時期でこまめに清掃、交換することをお勧めし
ます。
5. 水滴、油滴、塵滴のかかる場所での使用は避けてください。製品は防滴、防塵構造で
はありませんので、製品の破損、性能低下、作動不良の原因となる可能性があります。
6. 配管について
① . 圧縮空気中には、多量のドレン
（水、酸化オイル、タール、異物）
が含まれています。
ドレンは製品性能を著しく低下させますので、アフタクーラ、ドライヤで除湿し、
エア質の向上を行ってください。
46
② . ルブリケータは使用しないでください。
② . 配管内の錆、異物の混入は製品の故障、誤作動、性能低下の原因となります。圧縮
空気供給部の直前に 5 ㎛以下のフィルタを入れてください。また、ご使用前及び適
当な期間毎に配管内のフラッシングをお勧めします。
③ . 配管の際、配管内のゴミやドレンを取り除き使用してください。ゴミやドレンがあ
ると、周辺機器に入り込み故障の原因となる可能性があります。
④ . ワンタッチ継手部に極軟質チューブを使用する際は、装着する側のチューブ内径に
インサートリングを必ず使用してください。使用しない場合、チューブ抜け、漏れ
の原因となる可能性があります。
⑤ . 継手とチューブにねじれ、引張り、モーメント荷重、振動、衝撃などが掛からない
ように配管してください。継手の破損やチューブのつぶれ、破裂、抜けなどの原因
となります。
⑥ . 日光が照射する場所では保護カバーを付けてください。
⑦ . 真空発生器の各ポートを当カタログ本文の外観寸法図及び本体の表示により確認し
配管を行ってください。配管を間違えると本体破損の原因となる危険性があります。
⑧ . 圧力センサ及び圧力センサ付真空発生器は、極力真空配管末端部に配管してくださ
い。圧力センサと真空配管末端部との距離が長い場合、配管抵抗が大きくなりセン
サ部の真空度が無吸着時の場合でも高いことがあり、圧力センサ誤作動の原因とな
る可能性があります。実機評価にてご確認ください。
⑨ . 真空側配管は極力短くまた内径を太くしてください。配管が長くまた内径が細い場
合、吸着時、離脱時の応答時間の遅れ及び必要吸込流量の確保ができない場合があ
ります。
Common
Index Safety Instructions for Products Listed in This Manual
真空発生器・真空ポンプ対応ユニット・真空パッド・真空関連機器 Series
掲載商品の注意事項
⑩ . 当社以外のブランドのチューブをご使用になる場合は、チューブ外径公差が表
1. チューブ外径公差の仕様を満足することをご確認ください。
●表 1.　チューブ外径公差
ミリ
サイズ
ø1.8mm
ø2mm
ø3mm
ø4mm
ø6mm
ø8mm
ø10mm
ø12mm
ø16mm
47
ナイロン
チューブ
─
─
─
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
ウレタン
チューブ
±0.05mm
±0.05mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
インチ
サイズ
ø1/8
ø5/32
ø3/16
ø1/4
ø5/16
ø3/8
ø1/2
ø5/8
ナイロン
チューブ
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
±0.1mm
ウレタン
チューブ
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
±0.15mm
7-1. チューブ装着について（ワンタッチ継手の場合）
① . チューブの切断面が直角に切断されていること、チューブ外径にキズがないこと、
及びチューブが楕円していないことを確認してください。
② . チューブを装着する際、チューブがチューブエンド（下図参照）まで差し込まれて
いないと漏れの原因となる可能性があります。
チューブエンド
シール部
チューブエンドまで差し込まれていない場合
③ . 装着後、チューブを引いて抜けないことを確認してください。
※. チューブ装着時に、開放リング正面よりロック爪を観察するとロック爪が見
え難いことがありますが、必ずチューブ抜けが発生するものではありません。
チューブ抜けの原因として①ロック爪先端部のダレ、②チューブ外径異常（細い）
が大半を占めております。よって、ロック爪が見え難いことがあってもチュー
ブ装着上の注意①〜③の手順に従って装着を行ってください。
7-2. チューブ装着について（締付継手の場合）
① . チューブの切断面が直角に切断されていること、チューブ内径、外径にキズがな
いことを確認してください。
② . 締付けナットを通したチューブを竹の子の根元まで差込みます。次にチューブを
通しておいた締付けナットの外径六角部をスパナを使用して締付けてください。
③ . 締付けナットを締付ける際、右ページの表 2 の締付けトルクを参考に締付けてく
ださい。
※. 締付けナットの締付け時にチューブが共回りすることがありますので、チュー
ブを保持しながら締付けてください。
④ . 締付けナットが金属本体に当たっていることを確認してください。当たっていな
い場合は、チューブ、締付けナットを外して、①からやり直してください。
⑤ . 締付け後、漏れがないことを確認してください。
⑥ . 装着後、チューブを引いて抜けないことを確認してください。
●表 2　締付けナットの締付けトルク
チューブ外径
ø10
ø12
ø16
締付けトルク
4N·m 以下
5N·m 以下
14N·m 以下
8-1. チューブ開放について（ワンタッチ継手の場合）
① . チューブを開放する際、チューブ内の圧力がゼロになっていることを確認してく
ださい。
② . 開放リングを均等に奥まで押し込み、チューブを手前に引き抜いてください。押
し込みが不十分の場合、抜けなかったりまたはチューブが傷付き削りかすが継手
内部に残る可能性があります。
8-2. チューブ開放について（締付継手の場合）
① . チューブを開放する際、チューブ内の圧力がゼロになっていることを確認してく
ださい。
② . 締付けナット六角部を適正な工具を使用し締付けナットを外します。次にチュー
ブを外します。
9. 継手取付けについて
① . 継手取付けは、継手の六角部、または内径六角部を利用し適正な工具を使用して締
め付けてください。また、内径六角部に工具を挿し込む際には、工具とロック爪が
接触しないようにご注意ください。ロック爪先端部の変形によりチューブの保持機
能が低下し、チューブ抜けの原因となる可能性があります。
② . ネジを締め付ける際、次ページの表 3 の締付けトルクを参考に締め付けてください。
次ページの表 3 の締付けトルク以上で締付けた場合、ネジ部の折れやガスケットの
変形による漏れの原因となる可能性があります。次ページの表 3 の締付けトルク以
下で締付けた場合、ネジ部の緩みや漏れの原因となる可能性があります。但し、シー
ル性は取付け部の加工状態の影響を受けやすいため、状況に応じて取付け部の修正、
締付けトルクによる調整を行ってください。
③ . 締付け後、配管方向が変わらない製品は本体の締付けトルク範囲内で調整してくだ
さい。
48
Common
Index Safety Instructions for Products Listed in This Manual
真空発生器・真空ポンプ対応ユニット・真空パッド・真空関連機器 Series
掲載商品の注意事項
●表 3　締付けトルク及びシーロック加工、ガスケット材質
ネジ種類
メートルネジ
管用テーパネジ
ユニファイネジ
一般アメリカ
管用テーパネジ
49
G ネジ
ネジサイズ
M3×0.5
M5×0.8
M6×1
M3×0.5
M5×0.8
M6×0.75
M8×0.75
R1/8
R1/4
R3/8
R1/2
No.10-32UNF
1/16-27NPT
1/8-27NPT
1/4-18NPT
3/8-18NPT
1/2-14NPT
G1/4
G3/8
G1/2
締付けトルク
0.7N·m
1 ~ 1.5N·m
2 ~ 2.7N·m
0.7N·m
1 ~ 1.5N·m
0.8 ~ 1N·m
1 ~ 2N·m
4.5 ~ 6.5N·m
7 ~ 9N·m
12.5 ~ 14.5N·m
20 ~ 22N·m
1 ~ 1.5N·m
4.5 ~ 6.5N·m
4.5 ~ 6.5N·m
7 ~ 9N·m
12.5 ~ 14.5N·m
20 ~ 22N·m
12 ~ 14N·m
22 ~ 24N·m
28 ~ 30N·m
シーロック加工
ガスケット材質
SUS304+NBR
SPCC+NBR
無し
POM
有り
─
無し
SUS304+NBR, SPCC+NBR
有り
─
無し
アルミニウム+PBT
※. 製品により異なる場合がありますので、各製品の注意事項も併せてご覧ください。
④ . 継手の取外しは、継手の外径六角部を利用し適正な工具を使用して取外してくださ
い。また、内径六角部に工具を挿し込む際には、工具とロック爪が接触しないよ
うにご注意ください。ロック爪先端部の変形によりチューブの保持機能が低下し、
チューブ抜けの原因となる可能性があります。
⑤ . 取外した相手側のネジ部に付着しているシール剤を除去してください。シール剤が
付着していると、周辺機器に入り込み故障の原因となる可能性があります。
10. 本体取扱いについて
① . 落下などによる衝撃を与えますと、製品の破損や、漏れの原因となる可能性があり
ます。
Information of vacuum carrier system by Vacuum Generator stand-alone and combination type
真空発生器 単体タイプ・総合タイプによる吸着搬送システム
（例）
のご案内
ワンタッチ継手


  
 
■総合タイプの回路図
真空発生器 VVV
真空発生用
電磁弁


破壊流量調整用
ニードル
真空破壊ユニット VLF
真空発生器
切換弁
真空発生器 総合タイプ
VG・VK・VJ・VX・VQ・VZ・VN
サイレンサ
フィルタ
圧力センサ
総合タイプ
真空破壊ユニット
総合タイプによるシステム
圧力センサ
VUS11,
VUS12
真空発生器による吸着搬送システムに必要な機器（真空発
生用電磁弁、真空破壊用電磁弁、絞り弁、圧力センサ、
15
フィルタ）を一体化し、組み付け作業の合理化、コンパク
ト化を実現します。
総合タイプの機種構成
タイプ
VG
特　長
・基本性能を重視。
ノズル径
（㎜）
ø0.5
~
ø1.0
VQ
Ren
・大流量を要する、大ワーク、多リーク
ワークに最適な真空ユニット。
ø0.7
~
ø2.0
VK
VJ
・破壊圧力と流量を最適にする調整
機能付真空発生器。
ø0.5
~
・使用目的に合わせた機種選定が可
能。
・バリエーション豊富なモジュールタ
イプ。
ø1.2
ø0.5
~
ø1.2
VX
VN
Ren
VZ
Ren
ø0.4
ø0.6
ø0.5
~
・真空破壊時間を大幅に短縮。小型
ワークに最適なマニホールド専用真
空発生器。
ø1.0
~
・チップマウンタ、ハンドラーなどの半
導体関連装置に最適。
・取付けスペースに制約のあるお客
様に最適。
ø0.5
~
・真空システムのハイサイクル化を実
現。
・小型ワークに適した小型、軽量、高速
応答真空発生器。
ø1.0
真空発生弁
真空破壊弁
真空
フィルタ
単体
マニホールド 掲　載
タイプ
タイプ
ページ
○
○
ー
126
○
○
○
ー
138
ー
○
○
○
○
170
○
ー
○
○
○
○
214
ー
ー
○
○
○
○
○
238
ー
○
ー
○
○
ー
○
○
270
○
ー
○
ー
○
○
ー
○
306
パイロット式
直動式
パイロット式
直動式
スイッチ
○
ー
ー
○
○
○
ー
○
ー
○
ー
○
○
ー
○

真空破壊用
電磁弁
 

ドライユニット
 
 
コンプレッサ
 
真空用フィルタ VFR



真空発生器 真空ポンプ
サイレンサ SM

真空発生器 単体タイプ
VB
圧力センサ
VUS-31













  
ワーク
P.910
ワーク
真空発生器 リングブロータイプ
VRL
ワーク
（粒体、粉体、繊維など）
 
単体タイプによるシステム
真空用フィルタ
VFU
形状・機種を豊富に取り揃えた単体タイプは、真空発生に必要な機器を
真空パッド VP
単体で構成することにより、回路構成や取付け場所が自由に選定できます。
単体タイプの機種構成
タイプ
VRL
ワーク
流路最小径（㎜）
特　長
・粒体、粉体、繊維などの小さく不
定形のワークを搬送する。リングブ
ロータイプ
掲　載
ø2.8
ø4.1
ø6.0
ø7.5
ページ
○
○
○
○
104
ノズル径・真空特性
（㎜）
タイプ
特　長
ø0.3
ø0.4
ø0.5
ø0.7
ø1.0
ø1.2
ø1.5
ø2.0
H L E H L E H L E H L E H L E H L E H L E H L E
VH, VS
・電磁弁に直に取付け真空を発生す
る。電磁弁直付形タイプ
ー ー ー ー ー ー ○ ○ ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
VU, VUM
・パッドと電磁弁との配管途中に接続
して真空を発生する。管形タイプ
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー
・低消費流量へのニーズにお応えする。
小型管形タイプを追加しました。
VY
・通常の電磁弁などを用いた真空発生
器より、大幅な低価格化を実現した。ー ー ー ー ー ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー ー
真空破壊機能付タイプ
VB
・パッドと電磁弁との配管途中に接続
して真空を発生する。角形タイプ
ー ー ー ー ー ー ○ ○ ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ー ○ ー ー ー ー ー ー
VC, VM
・真空パッドに直に取付け真空を発生
する。パッド直付形タイプ
○ ○ ー ○ ○ ー ○ ○ ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ー ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
・低消費流量へのニーズにお応えする。
小径ノズルを追加しました。
ノズル径・真空特性
（㎜）
タイプ
特　長
VVV
・低供給圧力で、消費流量の約1.5倍
の吸込流量を確保します。
New
i真空特性について
▼
 
 

 

 

真空破壊機能付タイプ
VY
真空シリンダ VSPE
真空パッドに真空発生器とシ
リンダを内蔵。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
絞り弁
JNMU
P.918

チェックバルブ
CVPU
エアピンセット VTB
ペン型の本体に真空パッドと
真空発生器を内蔵。
小型部品の組立などに最適。
真空ポンプ対応ユニット
ソレノイドバルブ SVA

 











 



ソレノイドバルブ SVB
ø1.6
ø2.5
ø2.7
E
E
E
○
○
○
H：高真空度形（供給圧力：0.5MPa）、L：大流量形（供給圧力：0.5MPa）、E：低供給圧力高真空度形
（供給圧力：0.35MPa）
掲　載
ページ
77
81
92
95
97
掲　載
ページ
114
16
Information of vacuum carrier system by Rotary vacuum pump system-compatible type
ロータリ真空ポンプと真空ポンプ対応ユニットによる吸着搬送システム
（例）
のご案内

エアタンク
ATS

 
真空用フィルタ
VFR

 
排気クリーナ
RPVF
 



  
ハンディマノメータ
GPH
ロータリ真空ポンプ
RPV06
   
 




 

真空ポンプシステム対応ユニット
VJP・VXP・VXPT・VQP・VZP・VNP・VIP
コンプレッサ
ドライユニット
FMDR
真空ポンプ対応ユニットによるシステム
真空エアを制御するのに必要な機器
（真空切換用電磁弁、真空破壊用電磁弁、真空破壊エア流量調整
ニードル、圧力センサ、フィルタ）
を一体化し、組付け作業の合理化、コンパクト化を実現します。
17
真空ポンプ対応ユニットの機種構成
タイプ
VQP
VJP
VNP
New
VIP
New
Ren
真空供給弁
真空破壊弁
真空
マニホールド 掲　載
ページ
○
○
ー
366
○
○
○
○
376
○
○
○
○
○
394
ー
○
○
ー
○
○
420
ー
○
ー
○
○
ー
○
444
ー
ー
○
○
ー
ー
○
460
パイロット式
直動式
スイッチ
○
ー
○
ー
○
○
ー
○
ー
・真空システムのハイサイクル化を実
現。
・小型ワークに適した小型、軽量、高
速応答真空ユニット。
・3ポート仕様
（VXPT）は、真空から
大気圧に至るまでの所要時間
（真空
破壊時間）
を大幅に削減。
○
ー
ー
・取付けスペース
（高さ）
に制約のある
お客様に最適。
・直動バルブの採用により、真空エア
供給時に圧縮エアが不要
（省エネ）
。
高速、且つ安定した応答性を実現。
ー
○
○
○
・流量センサの搭載により、小型ワー
クの吸着確認が可能に。
・取付けスペース
（奥行き）
に制約のあ
るお客様に最適。
・真空破壊エア流量調整の方法が選
択可能に。
単体
タイプ
直動式
・小型ワークに最適なマニホールド専
用真空ユニット。
フィルタ
タイプ
パイロット式
・破壊圧力と流量を最適にする調整機
能付真空ユニット。
VXP,
VXPT
VZP
特　長
・大流量を要する、大ワーク、多リー
クワークに最適な真空ユニット。
真空ポンプ
小型真空レギュレータ
RVV

 
■真空ポンプシステム対応ユニットの回路図
ドライユニット
真空供給用
電磁弁
フィルタ
排気クリーナ
真空供給弁
真空破壊用
電磁弁
真空ポンプシステム
対応ユニット
フィルタ
エアタンク
ロータリ
真空ポンプ
真空パッド 真空関連機器 技術資料
真空用フィルタ
VFU

 
真空ポンプ対応ユニット

圧力センサ
破壊流量
調整用ニードル
真空パッド VP
フィルタ
真空パッド
真空レギュレータ
ワーク
ワーク
18
ロータリ真空ポンプの機種一覧
タイプ
RPV062,
RPV063,
RPV064
New
RPV06A
特　長
シリンダ連数
配管方式
直列接続 並列接続
・モータ定格出力1［W］当たりの排気
速度において業界トップクラスの高 2連 ー ー
効率を実現する省エネ設計。
・約30,000時間メンテナンス不要で長
寿命。
ー 3連 ー
・特殊ロータ形状の採用により、省
スペース化を実現。
・マグネットカップリングと強制空冷式
ー ー 4連
の採用により、低発熱を実現。
・回転部への徹底したバランス設計に
より、クーラーや静かな乗用車並み
の低運転音と低振動を実現。
・吸着搬送の他に、真空包装、脱泡・
脱気、真空成形、真空チャック、袋
2連
詰めなどの用途に最適。
ー
○
○
ー
排気速度（ℓ/min） 到達真空度（Pa abs） 出 力
50Hz
60Hz
60.0
72.0
90.0
108.0
120.0
144.0
30.0
36.0
50Hz
60Hz
≦3,500 ≦3,000
≦350
≦300
電圧
掲載
（W）
100V
200V
60
○
○
90
ー
○
120
ー
○
40
○
○
ページ
350
347
New
真空システムの関連機器
タイプ
RPVF
特　長
掲載
ページ
・排気騒音とオイルミストを除去する排気クリーナ。
355
New
VFR
・ロータリ真空ポンプによって吸込まれたダストや水滴をサイクロン効果とエレメントにより除去。
GPH
・ハンディタイプで使いやすさ・利便性を追求。
・見やすい大型ディスプレイを採用。
（表示桁：3・1/2のLCD表示）
・圧力レンジには、絶対圧・低圧・連成圧の3タイプを用意。用途に合わせた選択が可能。
968
976
New
ATS
New
・真空エアの圧力変動・脈動を低減。
・タンク容量は、6種類をラインアップ。
・タンク材質は、ステンレス製。
ー
Guidance of the vacuum pad recommended for a work
ワークから推奨する真空パッドのご案内
吸着ワークによる真空パッド
ワークにより、パッドの材質や形状をお選びください。
（弊社真空パッドの材質から推奨できるワークとなります。）
また、パッド形状毎のサイズ一覧表も参考にしてください。
推奨ワーク・環境など
低濃度
金型
薬品の 高温
要耐光、水分のある 表面が
電子機器 液晶製造
段ボール ベニア板 鉄板 食品関連 半導体
薄物
オゾン
包装機械
雰囲気 ワーク
成形品
要耐オゾン 雰囲気中 凸凹
部品 装置
環境下
ニトリル
○
○
○
ウレタン
○
○
○
○
シリコーン
○
フッ素
○
○
○
ゴム材質
○
クロロプレン
（スポンジ）
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
導電性NBR
（低抵抗タイプ） ○
○
○
○
○
EPDM
○
導電性
（低抵抗タイプ）
（ブタジエン＋カーボン）
○
○
○
○
○
○
○
樹脂材質
静電気拡散性
○
PEEK
○
○
○
○
○
○
○
○
○
深　形
○
スポンジ
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
パッド形状
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
長　円
○
○
○
○
○
○
○
○
○
滑り止め
○
○
○
薄物用
○
○
○
○
○
フラット
○
吸着痕防止
○
○
ベローズ
ソフトベローズ
○
○
○
○
○
○
○
多段ベローズ
ソフト
○
○
○
小　型
○
○
○
○
一般形
○
○
○
導電性 PEEK
○
○
POM
スタンダード
○
○
○
○
食品衛生法適合NBR
19
○
○
フロロシリコーン
HNBR
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
※1. ゴム材質：導電性 NBR
（低抵抗タイプ）
と導電性ブタジエン
（低抵抗タイプ）の体積抵抗率は、200Ω·cm 以下となります。
※2. ゴム材質：導電性シリコーンの体積抵抗率は、10⁵Ω·cm以下となります。
※3. 樹脂材質：導電性 PEEK の体積抵抗率は、10⁵~10⁶Ω·cmとなります。
■パッドホルダ形状一覧表
パッドホルダ仕様
パッドホルダ 標 準
形状記号 小 型
固定式
スプリング式
直付型　固定式
直付型　スプリング式
真空取出口：上
真空取出口：横
真空取出口：上
真空取出口：横
ー
ー
VPA
VPB
VPC
VPD
VPE
VPF
パッド形状
VPMA
VPMB
VPMC
VPMD
VPME
ー
スタンダード
○
○
○
○
○
○
スポンジ
○
○
○
○
ー
○
ベローズ
○
○
○
○
ー
○
多段ベローズ
○
○
○
○
ー
○
長　円
○
○
○
○
ー
○
ソフト
○
○
○
○
ー
○
ソフトベローズ
○
○
○
○
ー
○
滑り止め
○
○
○
○
ー
○
薄物用
○
○
○
○
○
○
フラット
○
○
○
○
ー
○
吸着痕防止
○
○
○
○
ー
○
パッド形状
パッド径
（㎜）
スタンダード
（P.500）
一般形
深　形
小　型
ø0.7
ソフト ソフトベローズ 滑り止め 薄　物
フラット 吸着痕防止
スポンジ ベローズ 多段ベローズ 長　円
（P.546） （P.570） （P.606） （P.630） （P.662） （P.702） （P.738） （P.762） （P.782） （P.806）
○
ø1
○
○
○
○
ø1.5
○
ø2
○
○
ø4
○
○
ø6
○
○
○
○
ø8
○
○
○
○
ø10
○
○
○
ø15
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
ø20
○
○
○
○
○
○
ø25
○
○
○
○
ø30
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
ø35
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
ø40
○
○
ø50
○
○
ø60
○
○
○
○
○
○
ø70
○
ø80
○
○
ø100
○
○
ø150
○
ø200
○
○
○
真空パッド 真空関連機器 技術資料
ø3
○
2×4
○
3.5×7
○
4×10
○
4×20
○
4×30
○
5×10
○
5×20
○
5×30
○
6×10
○
6×20
○
6×30
○
8×20
○
8×30
○
ねじ止め式
20
スプリング式
固定式
真空取出口：上
真空取出口：横
真空取出口：上
真空取出口：横
真空取出口：両横
真空取出口：横
真空取出口：両横
VPAE
VPBE
VPHC
VPHD
VPHDW
VPHE
VPHEW
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
○
○
○
○
○
ー
ー
○
○
○
○
○
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
ー
Guidance of associated equipment which protects a vacuum system from a trouble
真空システムをトラブルから守る関連機器のご案内
真空発生器・真空ポンプ周辺の関連機器
吸込まれたゴミによるトラブル、真空圧力の管理・調整、流量の管理、真空破壊圧力の調整によるワーク吹き飛ばし
の防止などを行い、起こりえるシステムトラブルを未然に防止します。
（機器の配管例は、P.15 〜 P.18 を参照ください。
）
真空用フィルタの機種構成
タイプ
VFU, SFU,
VFR, VFB,
VFJ
特　長
掲　載
ページ
・小型ユニオンタイプ：VFUは、真空発生器と真空パッドの間に取付け、吸込んだ空気中のダストを除去する。
・正負圧用ユニオンフィルタ：SFUは、VFUシリーズの使い勝手はそのままに、正圧でも使用可能に。
・ソケットタイプ：VFJは、フィルタを内蔵していない電磁弁直付形タイプ：VH, VSや総合タイプ：VNや真空ポンプ対応ユニット：VNP,
VIPなどに最適。
・大容量ユニオンタイプ：VFR, VFBは、吸込まれたダストだけでなく、水滴までもサイクロン効果により除去。また大気開放タイプは、
958
リングブロータイプ：VRLで移送した粒体を貯めるのに最適。
圧力計の機種構成
タイプ
GPD, GPH
特　長
掲　載
ページ
・電池式で、配線不要なデジタルプレッシャゲージ：GPD。
・ハンディタイプで使いやすさ・利便性を追求したハンディマノメータ：GPH。
976
New
検出スイッチの機種構成
タイプ
21
VUS, GPH,
FUS
特　長
掲　載
ページ
・分離型表示を実現した小型圧力センサ（センサヘッド）：VUS11, VUS12、表示器：SED-30。
・大型LED表示により、高視認性を実現した大型デジタル表示付センサ：VUS-30, VUS-31。
・超薄型で超軽量なLED表示付圧力センサ：VUS8。
・ハンディタイプで使いやすさ・利便性を追求。アナログ出力機能も装備したハンディマノメータ：GPH。
・小型ワークの吸着確認に最適な流量センサ：FUS20, FUS8。
992
New
真空レギュレータの機種構成
タイプ
RVV
特　長
掲　載
ページ
・真空発生器や真空ポンプ対応ユニットと真空パッドの間に配管して、末端部の真空圧力制御が可能。
・小型の真空ポンプの元圧制御に最適。
・オネジタイプは、真空ポンプに直に接続できるタイプと真空パッドホルダ
（パッド径：ø150, ø200mm）
に直に接続でき、個々のパッドの真
空圧力制御が可能なタイプを用意。
930
・真空圧力をアナログ、またはデジタルにて表示。
真空破壊ユニットの機種構成
タイプ
VLF
特　長
掲　載
ページ
・真空発生器の真空特性はそのままに、真空破壊エアを制御。
・ワークの吹き飛ばしを防止する為、従来の真空破壊エア流量の制御に圧力制御をプラス。
・真空破壊回路にリリーフ機能（余分な圧力を逃がす機能）
を設け、真空破壊時間の短縮化を実現。
950
真空パッド周辺の関連機器
吸着するワーク面のトラブル、吸着ミスによるトラブル、吸込まれたゴミによるトラブルをパッドとパッドホルダの間に取
付け未然に防止します。
真空発生器
または真空ポンプ側

真空発生器
または真空ポンプ側
真空発生器
または真空ポンプ側


パッドホルダ
パッド
吸着
未吸着
パッド直付形フィルタ
VFF
吸着
真空パッド周辺の関連機器機種構成
タイプ
FH
特　長
掲　載
ページ
・パッドの吸着面がワークに対し直角に置かれていない場合やワーク吸着面の角度が不定の場合に最適。
886
ECV
VFF
技術資料
ワーク
落下防止弁 ECV
真空関連機器
フリーホルダ
FH
・1個の真空源に複数のパッドを使用の場合、吸着していないパッドがあっても正常に吸着しているパッドは、真空低下を軽減します
ので、正常に吸着しているワークの落下を防止します。
892
・ワーク吸着時に吸込まれるゴミを除去します。
902
22
Technical materials
技術資料
真空とは
ロータリ真空ポンプの動作原理
■真空とは
大気圧より高い圧力、一般的に言う「正圧」で使用される圧
力に対して、大気圧より低い圧力状態のことを「真空」、「負
圧」と呼んでいます。
吸気ポート
⇩
排気ポート
⇧


絶対真空
標準大気圧
吸気
101.33
絶対圧標準
（kPa abs）0
大気圧標準
（kPa） -101.33
（ゲージ圧力）
強制空冷通気孔
排気

圧力の意味は、2 種類に使い分けられ、
・絶 対 圧 力…完全真空状態を基準にした圧力
・ゲージ圧力…大気圧を基準にした圧力に大別されます。
吸気
排気
0
吸気
排気
大気圧と真空圧力
空気は、“モノ”である以上質量があります。地球上では、質量
があれば重力によって引きつけられますので、大気も重力に
よって引きつけられ、地表を押す力
（重さ）が発生します。こ
れが大気圧であり、大気圧は、単位面積当たりに加わる大気
の重さによる力と言うことになります。
大気圧は標高の高低変化により変動します。また、気象条件
により常に変動しています。
つまり、ゲージ圧力を使用する場合、標高差、気象条件によ
り大気圧に相違が発生するため、同じ真空圧力を印加しても、
標高差、気象条件によりゲージが示す値が異なることになり
ます。このことから、ゲージ圧力の数値は標準大気圧換算し
た補正値を使用します。
標準大気圧とは、海抜 0m 地点の大気圧を基準にした値で表し
ます。
その換算方法は、以下の通りです。
標準大気圧換算値（-kPa）＝
1013.25
（hPa）
／測定場所の気圧
（hPa）
× 実測到達真空度
（-kPa）
真空発生器の原理
■真空発生器は、圧縮空気を送入することにより、真空を発生
する装置です。
■ 圧縮空気は、ノズルにより絞られ、高速で流れているエア
がノズル出口で放出され、流速が低下した時圧力が低下し、
真空が発生し、ワーク搬送時に利用できます。
■高速噴流を得て高い真空度を得るため、ノズル、ディフュー
ザと言う構造を作り、これらの形状や寸法の違いにより到達
真空度、吸込流量、消費流量が決定されます。
ノズル
ディフューザ
圧縮空気（P）
排気
（EX）
パッド
真空（V）
（吸引）


真空圧力があまり高くない場合は、ゲージ圧力で表すことが
一般的です。
完全真空に近い高真空の場合には、大気圧力が標準大気圧の
時、完全真空が -101.3kPa と定義されていますが、大気圧力
（気
圧）は常に変動しているため、その時の完全真空圧力が分から
なくなりゲージ圧力で表すことができなくなります。この理
由から高真空の場合には、絶対圧力で表すことが一般的です。
弊社の真空発生器は、低真空の範囲のものであり製品につい
ての真空圧力表記は、ゲージ圧力を使用しています。
ワーク
排気
ロータ
真空圧力
23
吸気
シリンダ
吸気
排気

①．
シリンダとそのシリンダを狭持するプレートにて形成され
た空間内に、偏心回転するロータが配置されています。
②．
このロータが偏心回転することによって、吸気ポート側の
ロータとシリンダで形成されている空間の容積が増大し、
大気圧との圧力差が生じ空気を吸入するのと同時に、排気
ポート側のロータとシリンダで形成される空間の容積が減
少し、シリンダ外へ空気を排出します。
③．
この動作を連続的に行うことにより、吸気ポートから排気
ポートへの空気移送を実現しています。
真空機器の表記単位について
■真空機器のパラメータ
真空機器の性能指標として以下の 3 つのパラメータが使用さ
れます。
・到達真空度…真空回路内の真空圧力
（単位：-kPa）
・吸 込 流 量…真空回路内の流量
（単位：ℓ/min
（ANR）
）
・消 費 流 量…供給エアの流量
（単位：ℓ/min
（ANR）
）
■圧力のパラメータ
kPa
MPa
bar
kgf／cm²
mmHg
1
1×10⁻³
1×10⁻²
1.01972×10⁻²
7.50062
1×10³
1
1×10
1.01972×10 7.50062×10³
1×10²
1×10⁻¹
1
1.01972
7.50062×10²
9.80665×10 9.80665×10⁻² 9.80665×10⁻¹
1
7.35559×10²
1.33322×10⁻¹ 1.33322×10⁻⁴ 1.33322×10⁻³ 1.35951×10⁻³
1
■力のパラメータ
N
1
9.80665
kgf
1.01972×10⁻¹
1
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
を行ってください。本真空機器選定方法は、あくまで機器を選定するための目安にしてください。実際のご使用にあ
たっては、実機評価及び選定上の注意事項による確認を充分に行い、問題ないことを確認していただいた上でご使用
ください。
真空機器の選定方法
1．
パッドの選定
② 選定手順
③ 選定上の注意事項
① 排気する時間を求める
② 真空到達時間早見表
パッドの選定
パッドを選定する上で必要になる大きな
項目（パッド・ワーク・使用条件）が右の
ように 3 点上げられます。
それを良く理解した上でパッドの選定を
行ってください。
パッド
材 質
形 状
●ゴ ム
●スポンジ
●樹 脂
パッドサイズ
（径）はパッドの吸着力計算に
より求めます。
ワーク
選 定
質 量
形 状
使用条件
●吊り方
●数 量
●取付スペース
●真空性能
サイズ
サイズ
●使用環境
① 吸着力の求め方
真空パッド 真空関連機器 技術資料
▲
1
2．
真空発生器・
3．
落下防止弁搭載可能数の算出
真空ポンプ対応ユニットの選定 4．
流量センサの選定方法
① 各使用条件の収集
5．
ロータリ真空ポンプ
真空ポンプ対応ユニット
① 吸着力の求め方
② ワークの吊り下げ荷重からのパッド径算出方法
③ パッド形状の選定
④ パッド材質の選定
⑤ 選定上の注意事項
真空発生器 真空ポンプ
真空によるワークの吸着搬送を行う際、以下の真空機器選定方法に準じ真空パッド、真空発生器・真空切換弁の選定
●計算式からの算出方法
真空パッドの吸着力は、以下の式に数値を代入し算出することができます。
C×P
W = – × 10.13 × f
101
24
W：吸着力（N）、C：パッド面積（cm²）、P：真空度（–kPa）
f：安全率（水平吊り上げ時：1/4以上、垂直吊り上げ：1/8以上）
パッド
●理論吸着力表からの選択方法
W
W
真空パッドの理論吸着力は、以下の表から求めることができます。但し、下表数値に
は安全率が加味されていません。吸着力を求める際には、安全率を加味してご利用
ください。
×（
f 安全率）
吸着力（N）＝理論吸着力（N）
水平吊り
垂直吊り
※基本吊り上げ方法は、水平吊りとしてください。
理論吸着力表（吸着力 =C×P
– × 10.13）
1
101
■ 円形パッドの場合
パッド径（ø㎜） 0.7
吸着面積（㎟）0.004
−85 0.034
−80 0.032
−75 0.03
−70 0.028
真空圧力 −65 0.026
(kPa) −60 0.024
−55 0.022
−50 0.02
−45 0.018
−40 0.016
1
0.008
0.068
0.064
0.06
0.056
0.052
0.048
0.044
0.04
0.036
0.032
1.5
0.018
0.153
0.144
0.135
0.126
0.117
0.108
0.099
0.09
0.081
0.072
2
0.031
0.264
0.248
0.233
0.217
0.202
0.186
0.171
0.155
0.14
0.124
3
0.071
0.604
0.568
0.533
0.497
0.462
0.426
0.391
0.355
0.32
0.284
4
0.126
1.07
1.01
0.945
0.882
0.819
0.756
0.693
0.63
0.567
0.504
6
0.283
2.41
2.26
2.12
1.98
1.84
1.7
1.56
1.42
1.27
1.13
8
0.502
4.27
4.016
3.765
3.514
3.263
3.012
2.761
2.51
2.259
2.008
10
0.785
6.67
6.28
5.89
5.5
5.1
4.71
4.32
3.93
3.53
3.14
15
1.766
15.01
14.13
13.25
12.36
11.48
10.6
9.713
8.83
7.95
7.064
20
3.14
26.7
25.1
23.6
22
20.4
18.8
17.3
15.7
14.1
12.6
25
4.906
41.7
39.25
36.8
34.34
31.89
29.44
26.98
24.53
22.08
19.62
30
7.065
60.05
56.52
52.99
49.46
45.92
42.39
38.86
35.33
31.79
28.26
35
9.616
81.74
76.93
72.12
67.31
62.5
57.7
52.89
48.08
43.27
38.46
40
12.56
106.8
100.5
94.2
87.92
81.64
75.36
69.08
62.8
56.52
50.24
50
19.63
166.9
157
147.2
137.4
127.6
117.8
108
98.15
88.34
78.52
60
28.26
240.2
226.1
212
197.8
183.7
169.6
155.4
141.3
127.2
113
70
38.47
327
307.8
288.5
269.3
250.1
230.8
211.6
192.4
173.1
153.9
80
50.24
427
401.9
376.8
351.7
326.6
301.4
276.3
251.2
226.1
201
100
78.5
667.3
628
588.8
549.5
510.3
471
431.8
392.5
353.3
314
単位：N
150 200
176.6 314
1501 2669
1413 2512
1325 2355
1236 2198
1148 2041
1060 1884
971.3 1727
883 1570
794.7 1413
706.4 1256
8×20
1.462
12.43
11.7
10.97
10.23
9.503
8.772
8.041
7.31
6.579
5.848
単位：N
8×30
2.262
19.23
18.1
16.97
15.83
14.7
13.57
12.44
11.31
10.18
9.048
■ 長円形パッドの場合
パッド径（㎜）
吸着面積（㎟）
−85
−80
−75
−70
真空圧力 −65
(kPa) −60
−55
−50
−45
−40
2×4
0.071
0.605
0.57
0.534
0.499
0.463
0.427
0.392
0.356
0.32
0.285
3.5×7
0.219
1.867
1.757
1.647
1.538
1.428
1.318
1.208
1.098
0.988
0.879
4×10
0.365
3.103
2.92
2.738
2.555
2.373
2.19
2.008
1.825
1.643
1.46
4×20
0.765
6.503
6.12
5.738
5.355
4.973
4.59
4.208
3.825
3.443
3.06
4×30
1.165
9.903
9.32
8.738
8.155
7.573
6.99
6.408
5.825
5.243
4.66
5×10
0.446
3.791
3.568
3.345
3.122
2.899
2.676
2.453
2.23
2.007
1.784
5×20
0.946
8.041
7.568
7.095
6.622
6.149
5.676
5.203
4.73
4.257
3.784
5×30
1.446
12.29
11.57
10.85
10.12
9.399
8.676
7.953
7.23
6.507
5.784
6×10
0.522
4.437
4.176
3.915
3.654
3.393
3.132
2.871
2.61
2.349
2.088
6×20
1.122
9.537
8.976
8.415
7.854
7.293
6.732
6.171
5.61
5.049
4.488
6×30
1.722
14.64
13.78
12.92
12.05
11.19
10.33
9.471
8.61
7.749
6.888
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
1
パッドの選定
② ワークの吊り下げ荷重からのパッド径算出方法
●計算式からの算出方法
実際に必要な吸着力より真空パッド径を算出することができます。
（弊社のホームページ
（http://www.pisco.co.jp/technology/pad）
にて、パッド選定に大変便利な計算プログラムを公開しております。）
D=
4 1W1
−× − × − × – × 1000
3.14P n f
D：パッド径
（mm）
、n：ワークに対するパッド数量、W：吸着力
（N）
、P：真空度
（–kPa）
、f：安全率
（水平吊り上げ時：1/4以上、垂直吊り上げ時：1/8以上）
●選定グラフからの選択方法
使用する吊下げ方法（垂直吊り、水平吊り）
と必要とする1個当たりの真空パッドの吸着力より以下の表から真空パッド径を求めることが
できます。
50
40
30
25
20
15
-80kPa
-70kPa
-60kPa
-50kPa
-40kPa
②
10
8
6
4
3
0.01
-80kPa
-70kPa
-60kPa
-50kPa
-40kPa
10
8
6
4
2
1.5
1
0.7
10
50
0.005 0.01
0.05 0.1
0.5 1
吸着力（N）
5
10
50
選定グラフ1-2　吸着力別パッド径選定グラフ
水平吊り上げ
（ø50 〜 ø200）
選定グラフ2-2　吸着力別パッド径選定グラフ
垂直吊り上げ（ø50 〜 ø200）
パッド径（mm）
0.5 1
5
吸着力（N）
パッド径（mm）
0.05 0.1
50
40
30
25
20
15
3
①
2
1.5
1
0.7
25
選定グラフ2-1　吸着力別パッド径選定グラフ
垂直吊り上げ（ø2 〜 ø50）
パッド径（mm）
パッド径（mm）
選定グラフ1-1　吸着力別パッド径選定グラフ
水平吊り上げ
（ø2 〜 ø50）
200
150
-80kPa
-70kPa
-60kPa
-50kPa
-40kPa
100
80
60
50
10
50
100
吸着力（N）
例
（パッド径の選定）
・ ・ ・
ワーク質量が 8N で使用条件として
パッド数：4 個
真空圧力：–70kPa
吊り上げ方法：水平吊り
の場合の真空パッド径を求める。
500
1000
200
150
-80kPa
-70kPa
-60kPa
-50kPa
-40kPa
100
80
60
50
10
50
100
吸着力（N）
500
計算式による求め方
4 1W1
4 18
D=
−× − × − × − × 1000 =
−× − × − × 4 × 1000 = 12.06
3.14P n f
3.1470 4
よって、ø15mm 以上のパッドを選定します。
選定グラフによる求め方
条件より、パッド1個当たりの吸着力は2N
（8N÷4 個 = 2N）
と判ります。
吊り上げ方法は、水平吊り上げ
（選定グラフ 1）と真空圧力：–70kPa が得られている
（選
定グラフ横軸）
ことから、パッド径はø12mm相当が適正であることが判ります。よって、
パッド径：ø15mm 以上のパッドを選定します。
（選定グラフ 1 の①→②の順序）
※複数のパッドを使用する際は、P.28の注意2.とP.34の注意5.を参照してください。
真空発生器 真空ポンプ
③ パッド形状の選定
ワークの形状、材質によりパッドの形状を選択します。
実際にサンプルにて吸着試験を行う必要がある場合は、最寄りの営業所へご相談ください。
パッド形状
一般形タイプ
用　途
平らなワーク
（硬くてペラペラしない厚さのワーク）
に最適
深　形タイプ
球状ワーク（リンゴやボール）に最適
小　型タイプ
半導体部品に最適
小型半導体部品への対応を可能にしました。パッド径：ø0.7mm ~ ø4mm
ベローズタイプ
レトルトパックや食料品などが入った袋に最適
スプリング式ホルダを取付けるスペースが ワークが紙、ビニール袋、薄板など柔らかい
確保できない場合、またワークの吸着面が 場合、ワークの変形、シワの発生が起こる可
能性があります。このような場合、薄物パッ
傾いている場合にも使用できます。
ドを使用する他に真空パッド径の変更、真空
圧力の増減調整の必要があります。
製品特長
真空ポンプ対応ユニット
パッド
ビニール・紙袋など
長　円タイプ
基板、丸棒、半導体部品のような長いワークに最適
丸棒のように、小さいパッドを複数個必要とするワークにも対応できます。
ソフトタイプ
成型品の取り出しや傷つきやすいワークに最適
パッドが柔軟性に優れています。
26
スプリング式ホルダを取付けるスペースが確保できない場合、またワークの吸着面が傾
いている場合にも使用できます。
パッドが柔軟性に優れ、紙などの吸着が可能です。
ソフトベローズタイプ
真空パッド 真空関連機器 技術資料
多段ベローズタイプ
パッド
スポンジタイプ
建物の外壁材や小さな石物や貝殻のようなワーク 表面に凹凸があるワークに最適です。
に最適
滑り止めタイプ
プレス部品などの油が付着したワークに最適
パッド形状の工夫により、搬送時のワーク滑りを防止します。
耐油NBRの採用により、油環境下でのパッド耐久性が向上しました。
薄物用タイプ
コピー紙やビニールなどの薄物ワークに最適
通気性のあるワークを吸着する場合に使用
できます。このようなワークを吸着する場
合、ワークを持ち上げるのに必要最低限の
小径真空パッドを選定する、吸込流量が大
きな真空発生器、真空ポンプを選定する、
配管口径の有効断面積を極力大きな物を選
定するなどの調整が必要です。
ワークが紙、ビニール袋、薄板など柔らかい
場合、ワークの変形、シワの発生が起こる可
能性があります。このような場合、薄物パッ
ドを使用する他に真空パッド径の変更、真空
圧力の増減調整の必要があります。
通気性のあるワーク
ビニール・紙袋など
フラットタイプ
シートやビニールなどの薄物ワークに最適
吸着時にワークの変形・シワの軽減に配慮しました。
吸着痕防止タイプ
液晶ガラス・塗装工程・半導体製造設備などに最適
吸着部は、樹脂製になりますが、フレキシブル機構を有しておりますので、ワークへの
順応性に優れています。
ワークフラット面の変形を抑えます。
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
1
パッドの選定
④ パッド材質の選定
使用条件、使用流体、雰囲気により適切な材質を選定します。主な特性は、下記の表を参照してください。
■ ゴム材質、スポンジ材質
ブタジエンゴム
パッド材質
ニトリル 食品衛生法
ゴム
適合NBR
HNBR
シリコーン 静電気拡散性 ウレタン
ゴム
ゴム
ゴム
フッ素
フロロシリコーン
ゴム
ゴム
EPDM
＋カーボン
導電性
（導電性ゴム（低
NBR
抵抗タイプ））
項　目
注文記号
用　途
N,
G
NH
（*1）
HN
S
SE
U
F
段ボール
薬品の
FS
EP
金型成形品取出し
鉄板
雰囲気
薄物ワーク
ベニヤ板
高温の
られる用途 （静電気対策）
ワーク
水分のある
段ボール
段ボール
半導体
金型成形品 耐光、耐オ
ベニヤ板
ベニヤ板
鉄板
鉄板
食品関係
食品関係
食品関係
その他一般ワーク
その他一般
雰囲気中
ワーク
での使用
取出し
クロロプレン シリコーン
ゴム
ゴム
（スポンジタイプ）（スポンジタイプ）
E
NE
半導体の
半導体
ー
S
表面に凹凸の 表面に凹凸の
ゾンが求め 一般ワーク
あるワーク
あるワーク
食品関係
低濃度オゾン環
境下での使用
パッド色
スタンダードタイプ
ベローズタイプ
多段ベローズタイプ
パッド形状別 長円タイプ
ソフトタイプ
表面硬度
（ショアA） ソフトベローズタイプ
滑り止めタイプ
諸物性
27
サーモン
サーモン
ブラック
グレー
ブラック ナチュラル ブラック
ブルー
グレー
ブラック
ブラック
ブラック
ブラック
50 ~ 80
60 ~ 70
50 ~ 70
50 ~ 80
60
55 ~ 70
60 ~ 70
–
50 ~ 70
70
60 ~ 70
–
50
–
50
50
60
55
60
–
50
–
60
–
–
50
50
50
40
–
55
50
–
50
–
60
–
–
40 ~ 50
–
–
40 ~ 50
50 ~ 60
55（*2）
50
（*2）
–
–
70
70
–
–
ピンク
ピンク
–
40
–
–
40
60
–
–
40
–
–
50
–
–
40
–
50
40
–
55
–
–
50
–
60
–
–
50
–
–
50
60
–
–
–
–
–
–
–
–
フラットタイプ
60
薄物用タイプ
40
40
40
–
55
60
–
–
–
–
–
–
60
40
–
55
50
40
–
–
60
–
–
55
50
高温使用限界温度
110°C
140°C
180°C
60°C
230°C
180°C
150°C
100°C
110°C
80°C
180°C
低温使用限界温度
-30°C
-30°C
-40°C
-20°C
-10°C
-50°C
-40°C
-50°C
-30°C
-45°C
-40°C
耐候性
△
○
◎
○
○
○
◎
○
△
○
◎
耐オゾン性
×
○
◎
◎
◎
◎
◎
×
△
○
◎
耐酸性
△
△
○
×
◎
○
◎
△
△
△
○
耐アルカリ性
耐油性
○
○
◎
×
×
◎
◎
○
○
◎
（ガソリン・軽油）
◎
◎
△
◎
◎
△
×
×
◎
×
△
（ベンゼン・トルエン）
△
×
△
△
◎
△
×
×
△
△
△
–
–
–
–
–
–
–
–
体積抵抗率
–
10⁵Ω·cm
以下
200Ω·cm 200Ω·cm
以下
以下
評価の見方☞　◎：材料に全くあるいはほとんど影響なく使用できます。
○：条件により材料に問題が発生する可能性があります。
△：使用に際し十分な確認が必要です。
×：耐久性が無く使用できません。
*1. パッド材質注文記号：NHは、滑り止めタイプのみの設定となります。
*2. 長円タイプのパッドサイズ：4×30㎜は対象外となります。
注 1）. 諸物性については、各材質の一般的な特性であり保証値ではありません。使用に際しては実機での確認を行ってください。
注 2）
. 使用限界温度に於ける実使用は瞬時に於けるものであり、一定時間継続する場合には十分確認の上ご使用ください。
■ 樹脂材質
項　目
パッド材質
PEEK
POM
注文記号
K
M
KE
半導体・液晶製造装置
各種製造ライン
半導体・液晶製造装置
食品関連機器
電子機器部品
用　途
導電性 PEEK
包装機械
パッド色
ナチュラル
諸物性
ホワイト
ブラック
高温使用限界温度
250°C
95°C
250°C
低温使用限界温度
-50°C
-60°C
-50°C
耐候性
◎
○
◎
耐酸性
◎
×
◎
耐アルカリ性
◎
○
◎
自己潤滑性
○
○
○
耐摩耗性
◎
○
◎
体積抵抗率
–
–
105~106Ω·cm
評価の見方☞　◎：材料に全くあるいはほとんど影響なく使用できます。
○：条件により材料に問題が発生する可能性があります。
△：使用に際し十分な確認が必要です。
×：耐久性が無く使用できません。
注 1）
. 諸物性については、パッド部樹脂材質の物であり、吸着痕防止パッドのホルダ部を含めた特性ではありません。
使用する真空パッドホルダ、及び吸着痕防止パッドホルダ部分の仕様を考慮して選定を行ってください。
注 2）. 諸物性は、各材質の一般的な特性であり保証値ではありません。使用に際しては実機での確認を行ってください。
注 3）. 高温使用限界温度に於ける実使用は瞬時に於ける物であり、一定時間継続する場合には充分確認の上ご使用ください。
注 4）. 体積抵抗率は、材料メーカーの公表する代表値であり、保証値ではありません。
◎
真空発生器 真空ポンプ
⑤ 選定上の注意事項
注意 1. 真空パッド選定上のご注意
●吸着物
（ワーク）が落下して危険と考えられる場合には、
落下防止策を設けて安全対策を施してください。
真空ポンプ対応ユニット
落下防止用ガイドなど
●吊り上げ方法は、あくまで水平吊りを基本と考え、
十分な安全率を設けた選定をしてください。
水平吊り
●吸着力の計算は、ワークの質量ばかりでなく、加速度、衝撃を加味して選定してください。
●パッド径、及びパッド数、吸着位置を設定する際は、本文中の吸着力をよく理解し、充分余裕をみて選定してください。
●使用環境、使い勝手により、パッド材質を本文の選定方法を参考に選定してください。
●吸着物、及び吸着物の形状により適するパッド形状
（タイプ）がありますので、選定方法をよく読んで選定してください。
注意 2. 真空パッドの使用条件上のご注意
●真空回路にて1 台の真空源に2 個以上のパッドを配管した場合、1個のパッドが吸着不良
（漏れ）を起こすと他のパッドは、
真空圧力の低下によりワークが離脱する危険性があります。
その対策として　1. 落下防止弁
2. ニードル弁
真空パッド 真空関連機器 技術資料
パッド
W
3. 真空切換弁
の設置を行うと有効的です。
また、真空ポンプ使用の際、上記3 項目とは別にチャンバ
（タンク）の設置も有効的です。
●ワークを吸着させる際、真空パッドに過度の衝撃、荷重を掛けないでください。
真空パッドの耐久性の著しい低下の原因になります。
目安として、リップの変形範囲、または軽く接触する程度の設定を推奨します。
28
この範囲内で位置決めを
行ってください。
●真空パッドによるワークの吸着位置は、
モーメントが発生しないような取付け方をしてください。
●ワークから真空パッドのはみ出しが発生しないような取付けをしてください。
真空度の低下により、ワークが落下する可能性があります。
●ワークの横移動の加速度を極力低減させてください。
ワークの摩擦係数によっては、ワークが横滑りする可能性があります。
●ガラス板、実装用基板のような面積が大きく、且つ厚さが薄いワークを使用する際は、
真空パッドの配置、移動加速度を充分考慮した使用をしてください。
真空パッドの配置位置、加速度の影響によるワークの変形、破損に至る可能性があります。
吊り上げる時に加速度に
よる大きな力が加わる
面積の広いワーク
●ワークが落下する可能性のある使用環境の場合、落下防止ガイドなどの補助具を使用してください。
●吸着物の高さにバラツキ、段差がある場合、また外力により破損しやすい吸着物の吸着には、
スプリング式ホルダ、ロングストローク式ホルダが適します。
ロングストロークタイプ
高さが不揃いのワーク、
積み重ねたワークなど
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
2
真空発生器・真空ポンプ対応ユニットの選定
真空発生器・真空ポンプ対応ユ
ニットを選定する上で必要にな
る大きな項目（真空制御機器・
サイクル・使用条件）が右のよ
うに 3点上げられます。
それを良く理解した上で真空発
生器・真空切換弁の選定を行っ
てください。
真空制御機器
選 定
真空発生器
真空ポンプユニット
●性能
└ノズル径
●性能
└有効断面積
サイクル
応答時間
使用条件
●共通性能
├真空度
└吸込流量
●配管容積
├配管径
└配管長さ
●供給圧力
① 各使用条件の収集
A. 真空配管容積
B. 真空制御機器の情報
●計算式からの算出方法
真空制御機器（真空発生器・真空ポンプ対応ユニット）の代表性能（情報）
をここに記載してあります。（詳細情報は、カタログ本文の真空特性を
参照ください。）
真空系の配管容積は、以下の式に数値を代入し算出することができます。
D：配管内径（mm）
配管容積
L：真空発生器および切換弁からパッドま
3.14
1
V =−D2 × L ×−
での長さ（m）
4
1000
V：真空発生器および切換弁からパッドま
での配管容積（ℓ）
●選定グラフからの選択方法
配管容積は、以下の表から求めることができます。
選定グラフ3　チューブ内径別配管容積
配管容積V（ℓ）
29
ø13
ø11
ø9
ø8
ø7.5
ノズル径
(mm)
高真空度形タイプ：H 大流量形タイプ：L 低供給圧力高真空度形タイプ：E
真空度 吸込流量 真空度 吸込流量 真空度 吸込流量
（kPa） （ℓ/min［ANR］） （kPa） （ℓ/min［ANR］） （kPa） （ℓ/min［ANR］）
-90
2
-66
4
-88
1
-90
4
-66
7 ~ 7.5
-90
2
-66
-90
3
-90
7
12
-66
-92 ~ -93 12.5 ~ 13
18 ~ 26 -90 ~ -92 9 ~ 10.5
-93
28
-66
42
-92
21
–
–
-93
38
-92
27
-93
63
-66
95
-92
42
-93
110
-66
180
-92
84
※1. 供給圧力は、高真空度形
（H）
・大流量形
（L）
タイプ：0.5MPa、
低供給圧力高真空度形
（E）
タイプ：0.35MPa となります。
※2. 上記以外の真空発生器をご希望の場合は、カタログ本文をご覧ください。
0.1
0.07
0.05
0.03
0.02
●真空ポンプ対応ユニットの場合
②
0.01
0.007
0.005
ø2
0.003
0.002
0.001
0.0007
0.0005
VS, VU, VUM, VB, VC, VM）の場合
真空特性一覧
0.3
0.4
0.5
0.7
1
1.2
1.5
2
■真空系チューブの配管容積を求める
1
0.7
0.5
0.3
0.2
●真空発生器
（VH,
ø2.5
ø4
ø5
ø6.5
ø6
0.2 0.3
①
0.5 0.7 1
2 3
チューブ長L（m）
VXP
VXPT
5
7
10
例
▲
チューブ内径 ø2.5mm
（チューブ外径 ø4mm）、チューブ長
さ 2m のチューブの容積を求める場合。
計算式による求め方
3.141
3.141
V =−D² × L ×− = −× 2.5² × 2 ×− = 0.0098 ≒ 0.01（ℓ）
1000
4 10004
選定グラフによる求め方
タイプ
VJP
ø1
0.1
真空ポンプ対応ユニット供給弁有効断面積一覧
横軸チューブ長さ 2m と、チューブ内径 ø2.5mm
（チューブ
外径 ø4mm）の線の交点より、左に延長し縦軸の配管容積≒
0.01ℓ が求められます。
配管容積 ≒ 0.01ℓ
VZP
VQP
VNP
VIP
有効断面積（mm²）
真空供給用電磁弁
ø4mm
PVポートサイズ
ø6mm
ø4mm
PVポートサイズ
ø6mm
ø4mm
PVポートサイズ
ø6mm
4.5
16.5
約0.9
約1
3.5
5
3.5
4.5
3
3.6
※ 供給バルブ単品の有効断面積であり、製品としての数値ではありません。
パッドとワークの間に漏れが発生する場合、それを考慮して応答時間の数値化、真空制御機器の選定を行う必要があります。
尚、漏れ量がある場合は、必然的に真空度も低下しますので、それも加味する必要があります。
パッド
●吸着テストによる漏れ量の求め方
ワークと真空パッドの開口部の有効断面積が分からない場合、実機試
験を行いその漏れ量を下図のような方法で実測します。
真空圧力：P1
パッド
表面が粗いワーク
漏れ量　QL = 11.1 × SL
QL：漏れ量（ℓ/min［ANR］）
SL：ワークとパッドの間の隙間、及びワー
クの開口部の有効断面積（mm²）
算出した漏れ量と使用している真空発生器、真空ポンプの流量特性線図
より、ゲージ圧力でどの程度値が降下するか予測することができます。
例
真空発生器（VSE12）を使用し、ワークと真空パッド開口部
の有効断面積が 0.4mm² の時、実際に確保できる真空圧力を
求める場合。
例
供給圧力0.5MPa時において真空発生器
（VBH07）
で漏れのあ
るワークを吸着した場合、真空ゲージの圧力が –45kPa を示
した。この場合のワークからの漏れ量を求めます。
回答
真空発生器VBH07の流量特性より、–45kPaの場合の吸込流
量を求めると、約7ℓ/min
［ANR］
であることが判ります。
（①→②→③の順序）
漏れ量 ≒ 7ℓ/min
［ANR］
VBH07
真空特性
流量特性
–93
–93
供給圧力：0.5MPa
ワークと真空パッド開口部の有効断面積が分かっているこ
とから、漏れ量を計算式より算出します。
QL = 11.1 × SL = 11.1 × 0.4 = 4.4ℓ/min
［ANR］
使用する真空発生器の流量特性より、実際の真空圧力を求め
ます。
回答
真空圧力（kPa）
上記漏れ量の計算式より、
QL = 11.1 × SL = 11.1 × 0.4 = 4.4ℓ/min
［ANR］
VSE12 の 流 量 特 性
（ 右 図 ）よ 流量特性
り、4.4ℓ/min［ANR］の 漏 れ が
供給圧力：0.35MPa（Eタイプ）
生 じ て い る 場 合、 真 空 圧 力
–93
–77kPa が 得 ら れ る こ と が 予
②
–80
測できます。
–66
–53
–40
–26
–13
①
0 10 20 30 40
吸込流量（ℓ/min
［ANR］
）
※VSE12 のカタログ表記における真空圧力は、–90 ~ –92kPa となっ
ておりますが、ワークと真空パッド開口部の有効断面積により、
実際の真空圧力は、–77kPa まで降下することが分かりますので、
ワークと真空パッド開口部の有効断面積を考慮して真空機器の選
定を行ってください。
到達真空度（kPa）
ポイント
–80
–66
–53
–40
–26
50
量
流
費
消
吸込流量
40
30
20
10
–13
0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6
供給圧力（MPa）
0
–80
真空圧力（kPa）
ワークと真空パッド開口部の有効断面積（SL）が予め分かっている場合、
下式により漏れ量を算出することができます。
流量（ℓ/min［ANR］）
●ワークの有効断面積が分かる場合の漏れ量の求め方
ワーク
到達
真空
度
通気性のあるワーク
以下に“ワークの有効断面積が分かる場合の漏れ量の求め方”と
“吸着テストによる漏れ量の求め方”の2方法について示します。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
パッド
真空ポンプ対応ユニット
実際の使用の中でもワークによっては、漏れが発生し、真空圧
力が低下する場合があります。
真空発生器、真空切換弁の選定の際には、その漏れ量も加味し
て選定する必要があります。
真空発生器 真空ポンプ
① 各使用条件の収集
C. 漏れ量がある場合の考え方
–66
–53
①
②
–40
–26
–13
③
0
5
10 15 20
吸込流量（ℓ/min［ANR］）
※上の VBH07 以外の真空発生器の流量特性につきましては、本文の
各商品の特性をご参照ください。
30
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
2
真空発生器・真空ポンプ対応ユニットの選定
② 選定手順
A. 応答時間を求める
（漏れのない場合）
真空制御機器、使用条件が明確な場合、その情報から概略の応答時間（目安値）を数値化することができます。
真空圧力Ｐ
（kPa）
例①
ON
OFF
バルブ
の作動
真空発生器
（VUH07）の最大吸込流量 12ℓ/min
［ANR］を使用
して配管容積 0.01ℓ の配管システム内圧力を最終真空圧力
−87kPa まで真空到達させる場合の吸着応答時間を求める場
合。
Pm
Pm×95%
ポイント
Pm×63%
0
T1
T2
（3.5×T1）
到達時間（sec）
Pm：最終真空圧力　T1：最終真空圧力Pm の 63%に到達する時間
T2：最終真空圧力Pm の95%に到達する時間
●計算式から算出する方法
吸着応答時間T1、T2 は下式より算出することができます。
V×60
吸着応答時間　T1 = −
Q
▲ ▲
T1：最終真空圧力Pm の63%に到達するまでの時間（sec）
T2：最終真空圧力Pm の95%に到達するまでの時間（sec）
V：真空発生器、切換弁からパッドまでの配管容積（ℓ）
Q：平均吸込流量
（ℓ/min［ANR］）
平均吸込流量の求め方
真空発生器の場合 Q =（1/3）× 真空発生器最大吸込流量
（ℓ/min
［ANR］
）
真空ポンプの場合 Q =（1/2）× 11.1× 切換弁有効断面積（mm2）
●選定グラフから求める方法
吸着応答時間T1、T2 は、以下の表から求めることができます。
グラフ4　吸着応答時間
18
12
6.0
4.2
3.0
1.8
1.2
0.6
0.4
0.3
0.2
0.13
0.06
300
200
100
70
50
30
20
①
10
7
5
3
2
1
1
5
2
㈫
③
10
20
真空発生器
（VUH07）の最大吸込流量 12ℓ/min
［ANR］と配管
容積 0.01ℓ の交点より、最高真空圧力の 95% に達する吸着
応答時間T2 が求められます。
（選定グラフ4の①→②の順序）
T2 ≒ 0.5
（sec）
例②
有効断面積 6mm² のバルブを使用して 2ℓ のタンク内圧力を
最終真空圧力の 63% まで内圧を上昇させる場合の吸着応答
時間を求める場合。
計算式による求め方
選定グラフによる求め方
配管容積
V=50
（ℓ）
⑥
0.5
⑧
0.1
0.01
0.02
V×600.01×60
T1 = − = − = 0.15
（sec）
Q 4
実際に求める時間は、
T2 = 3.5 × T1 = 3.5 × 0.15 = 0.525
（sec）
吸着応答時間は、約0.5
（sec）
必要であることが分かります。
V×60 2×60120
T1 = − = − = − = 3.6
（sec）
1/2×11.1×S 1/2×11.1×633.3
1,000
700
500
最大吸込流量 Q
（ℓ/min［ANR］
）
切換弁有効断面積 = Q/11.1
（mm²）
60
42
30
計算式による求め方
選定グラフによる求め方
吸着応答時間　T2 = 3.5 × T1
31
配管容積を P.29の計算式、または選定グラフ 3 を参考に求
めてます。
−87kPa ≒ −92
× 95
（kPa）
（%）
より、上式の吸着応答時間T2 を求めることで計算できます。
また、平均吸込流量は、P.14の真空特性一覧と
×12 = 1/3 × 12 = 4ℓ/min
Q =（1/3）
［ANR］
を使用します。
0.05
0.2
④
⑦
⑤
0.1 0.2 0.3 0.50.7 1
2 3 5 7 10 20 30 5070100
②
到達時間 T1
（sec）
真空圧力（63%）
0.35 0.7 1.05 1.752.45 3.5
7 10.5 17.5 24.5 35
70 105 175 245 350
真空圧力（95%）到達時間 T2
（sec）
※吸着応答時間より、逆に真空発生器のサイズや真空ポンプ対応システムの供給弁
のサイズも求めることができます。
バルブ有効断面積 6mm² と配管容積 2ℓ の交点より、最高真
空圧力の63%に到達する応答時間T1 が求められます。
（選定グラフ 4 の③→④の順序）
T1 ≒ 3.5
（sec）
応答時間、使用条件が明確な場合、その情報から最適な真空発生器、真空ポンプ対応ユニットの選定ができます。
1. 真空発生器、真空ポンプ対応ユニットのサイズ
（漏れのない場合）
例
V×60
Q =−
T1
T2 = 3.5 × T1
ポイント
a 平均吸込流量
b 最大吸込流量（真空機器の仕様吸込流量）
Qmax = 3 × Q（ℓ/min
［ANR］）
Qmax = 2 × Q（ℓ/min
［ANR］）
▲ ▲
真空発生器の場合
真空ポンプの場合
ポイント
■真空発生器の場合
上式の Qmax より大きい吸込流量の真空発生器を選定する必要が
あります。
■真空ポンプ対応ユニットの場合
Qmax
有効断面積 S = –（mm²）
11.1
※上式の有効断面積より大きい切換バルブを選定する必要があります。
●選定グラフによる方法
a チューブ容積
選定グラフ3
（P.29）
「チューブ内径別配管容積」を使用し求めます。
b 最大吸込流量 Qmax
選定グラフ 4
（P.31）
「吸着応答時間」
より、吸着応答時間
（T1、T2）
とチュー
ブ容積より、必要な最大吸込流量Qを求めます。
ポイント
■真空発生器の場合
グラフから得られた Q より大きい最大吸込流量の真空発生器を選
定する必要があります。
■真空ポンプ対応ユニットの場合
グラフから得られたバルブの有効断面積より大きな真空切換弁を
選定する必要があります。
–58kPa = –93
（kPa）× 63
（%）
また、供給圧力：0.5MPa は確保できそうであることを参考
に弊社カタログ値と比較しますと “Hタイプ ” が妥当であると
考えます。
計算式による求め方
■ a 平均吸込流量の計算式より
V×600.2×60
Q =−=−= 20
0.6
T1
■ b 最大吸込流量の計算式より
Qmax = 3 × Q = 3 × 20 = 60ℓ/min
［ANR］
上の計算式より、真空発生器の吸込流量は 60ℓ/min
［ANR］の
物を選定すれば良いことが分かります。
選定グラフによる求め方
吸着応答時間 0.6 秒と配管容積 0.2ℓ の交点より、最大吸込流
量が求められます。
（選定グラフ 4 の⑤→⑥の順序）
Q ≒ 60ℓ/min
［ANR］
※上記のポイントより“Hタイプ ” が妥当であることが既に分かってお
りますので、弊社カタログ値と比較しますと H15（ 吸込流量：63ℓ/
min
［ANR］）の真空特性が算出数値選定グラフより最善であること
が分かります。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
Q：平均吸込流量
（ℓ/min［ANR］）
V：配管容積
（ℓ）
T1：吸着後の安定した圧力P の63%に到達する時間（sec）
T2：吸着後の安定した圧力P の95%に到達する時間（sec）
配管容積 0.2ℓ のタンクを使用し、0.6 秒程度で真空圧力：
–58kPa まで到達させたい場合、どの真空発生器を選定すれ
ば良いのか。
（供給圧力は、0.5MPa確保）
真空ポンプ対応ユニット
●計算式による方法
真空発生器 真空ポンプ
B. 真空発生器、真空ポンプ対応ユニットの選定
32
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
2
真空発生器・真空ポンプ対応ユニットの選定
② 選定手順
B. 真空発生器、真空ポンプ対応ユニットの選定
2. 真空発生器、真空ポンプ対応ユニットのサイズ
（漏れのある場合）
ワークからの漏れがある場合、最大吸込流量に漏れ量を加えることにより必要な真空発生器・真空ポンプ対応ユニットのサイズを
求めることができます。
a 漏れ量を加味した平均吸込流量
V×60
Q =−+ QL
T1
T2 = 3.5 × T1
Q：平均吸込流量
（ℓ/min［ANR］）
V：配管容積
（ℓ）
T1：吸着後の安定した圧力P の 63%に到達する時間（sec）
T2：吸着後の安定した圧力P の 95%に到達する時間（sec）
QL：ワーク吸着時の漏れ量（ℓ/min［ANR］）
b 最大吸込流量（真空機器の仕様吸込流量）
Qmax = 3 × Q（ℓ/min
［ANR］）
Qmax = 2 × Q（ℓ/min
［ANR］）
▲ ▲
真空発生器の場合
真空ポンプの場合
ポイント
■真空発生器の場合
上式の Qmax より大きい吸込流量の真空発生器を選定する必要が
あります。
■真空ポンプ対応ユニットの場合
Qmax
有効断面積 S = –（mm²）
11.1
※ 上式の S より大きい有効断面積の切換バルブを選定する必要があります。
●選定グラフによる方法
a チューブ容積
選定グラフ3
（P.29）
「チューブ内径別配管容積」を使用し求めます。
b 最大吸込流量 Qmax
選定グラフ 4
（P.31）
「吸着応答時間」より、吸着応答時間（T1、T2）およ
びチューブ容積より、漏れ量 QL を含まない必要な最大吸込流量 Q を
求めます。
最大吸込流量
▲ ▲
真空発生器の場合 Qmax = Q +（3 × QL）
真空ポンプの場合 Qmax = Q +（2 × QL）
Q：選定グラフ4
（P.31）
より求めた最大吸込流量（ℓ/min［ANR］）
QL：漏れ量（ℓ/min
［ANR］）
（P.30）
2-②ワーク吸着時に漏れのある場合
の考え方から数値化した値
ワ ー ク と 真 空 パ ッ ド 開 口 部 の 漏 れ 量 4.4ℓ/min
［ANR］
、配
管容積 0.2ℓ を満足させたい。吸着後の安定した圧力 Pm の
95% に達する時間7sec。
どのような真空発生器を選定したら良いのか求めます。
ポイント
配管容積は、P.29の
「使用条件の抽出」
の例題を参考に、ワー
ク吸着後の漏れ量は、P.30 の「漏れ量のある場合の考え方」
を参考にしてください。
計算式による求め方
T2 = 3.5 × T1 より、
7
T
2
T
（sec）
1= − = − = 2
3.53.5
V×60 0.2×60
Q =− + QL =− + 4.4 = 10.4
（ℓ/min
［ANR］
）
T1
2
よって、最大吸込流量は、
Qmax = 3 × Q = 3 × 10.4 = 31.2ℓ/min
［ANR］
上の計算式より、31.2ℓ/min
［ANR］以上の吸込流量の性能を
持つ真空発生器を選定すれば良いことが分かります。
選定グラフによる求め方
真空圧力
（95%）到達時間 7sec と配管容積 0.2ℓ の交点より、
最大吸込流量が求められます。
（P.31ページ選定グラフ 4 の⑦→⑧の順序）
Q ≒ 20ℓ/min
［ANR］
Qmax = 20 +（3 × 4.4）= 33.2ℓ/min
［ANR］
≪補 足≫
※ 最大吸込流量は約 33ℓ/min
［ANR］、供給圧力 0.5MPa を確保できる
場合には、高真空度形タイプ（H タイプ）のノズル径 ø1mm または
ø1.2mm が適正となりますが、ワークと真空パッド開口部の漏れ
量 4.4ℓ/min［ANR］と下図の流量特性より最大の真空圧力が H10 の
場合 –79kPa、H12 の場合 –83kPa となりますので、必要最大圧力
を考慮した上で真空機器の選定を行う必要があります。
流量特性
（H10の場合）
ポイント
■真空発生器の場合
グラフから得れれた Q より大きい最大吸込流量の真空発生器を選
定する必要があります。
■真空ポンプ対応ユニットの場合
グラフから得られたバルブの有効断面積より大きな真空切換弁を
選定する必要があります。
流量特性
（H12の場合）
供給圧力：0.5MPa（Hタイプ）
真空圧力（kPa）
33
例
供給圧力：0.5MPa（Hタイプ）
–93
–93
–80
–80
真空圧力（kPa）
●計算式による方法
–66
–53
–40
–26
–66
–53
–40
–26
–13
–13
0 10 20 30 40
吸込流量（ℓ/min［ANR］）
0 10 20 30 40
吸込流量（ℓ/min［ANR］）
注意 1. 真空機器選定上のご注意
●供給エア、供給電源のトラブルによる真空圧力の低下には、ご注意ください。
●吸着力の低下により、吸着物が落下する危険性がありますので安全策を施してください。
●真空発生器供給エアは、ドレンやゴミを取り除き、清浄な空気を使用してください。また、ルブリケータによる給油は行わないでくだ
さい。圧縮空気中に含まれる不純物、油により作動不良、性能低下の原因となる可能性があります。
足しないと特定供給圧力にて真空発生器より異音を発し特性が不安定となりセンサなどに影響を与えトラブルの原因となる可能性があ
ります。
●真空保持機能付タイプ、及びチェック弁機能付タイプは、真空の漏れを許容していますので長時間の真空保持を必要とする場合は、別
に安全対策を施してください。
また、熱による火傷、及び周辺機器へ影響を与える危険性があります。
●マニホールド仕様を使用される場合、マニホールド連数、搭載ユニットの組合せにより性能低下、または他のステーション真空ポート
への影響が出ることがあります。
注意 2. 真空発生器のノズル径選定上のご注意
●真空発生器供給圧力側の有効断面積は、ノズル径断面積の 3 倍の有効断面積を目安とし、配管及び機器選定を行ってください。供給流
量不足の場合、性能低下の原因となります。
注意 3. 真空ライン用機器選定上のご注意
●真空源の最大流量に合わせ、関連機器の選定を実施してください。
尚、関連機器の有効断面積に関しましては、
S
（有効断面積）＝ Qmax（最大流量：ℓ/min
［ANR］）／11.1
（mm²）
の計算に基づき、合成有効断面積での算出を行い機器の選定を行ってください。
注）
. この式は、真空ラインで適用できる目安的な式であり、正圧ラインでは、適用できません。
尚、正圧ラインでの算出の場合は、以下の式にあてはめてください。
■ MPa単位　P1 ＞ 1.89P2
(
)
Q
Q = 113 × S × P1 S = −
113×P1
■ kgf/cm² 単位　P1 ＞ 1.89P2
Q
Q = 11.1 × S × P1 S = −
11.1×P1
P1：一次側絶対圧力
P2：二次側絶対圧力
(
)
警告 4. 真空フィルタ選定上のご注意
●真空用フィルタには、真空破壊用の正圧を絶対に印加しないでください。防爆構造ではありません。また、耐圧性が低いため本体の破
損により、人体への負傷の危険性があります。
注意 5. 真空機器使用条件上のご注意
●バルブを作動させる場合は、漏洩電流が1mA以下であることを確認してください。漏洩電流による誤作動の原因となる危険性があります。
●真空発生器、真空ポンプ対応ユニットの真空回路側に常時 0.1MPa 以上の圧力が加わる使い方はしないでください。真空機器は、防爆
構造ではありませんので、本体破損の原因となる危険性があります。
●真空回路にて 1 台の真空発生器に 2 個以上のパッドを配管した場合、1 個のパッドが吸着不良
（漏れ）を起こすと他のパッドは、真空圧力
の低下によりワークが離脱する危険性があります。
●真空発生器の排気ポートを塞ぐ、または排気抵抗が上がるような使い方はしないでください。真空が発生しない、または真空圧力の低
下の原因となります。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
●バルブへ長時間連続通電するとコイルより熱が発生します。発熱により製品寿命の低下、作動不具合などに繋がる可能性があります。
真空ポンプ対応ユニット
●真空発生器の供給圧力
（本文仕様値）は、真空発生器作動時の値です。圧力低下を考慮し、本文仕様値を確保してください。仕様値を満
真空発生器 真空ポンプ
③ 選定上の注意事項
34
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
▲
3
落下防止弁の選定
選定方法
下記表の弁体作動最低吸込流量と例題のグラフより、1 台の真空発生器に何台までの落下防止弁が搭載できるのかを求めます。
弁体作動最低吸込流量（ℓ/min[ANR]）
未吸着時真空低下量最大値（kPa）
ECVM3-M3
2.0
ECVM4-M4
5.0
ECVM5-M5
ECVM6-M6
5.0
13.0
2.0（※1）
ECVM10-M10
13.0
ECV01-01
13.0
※1. 未吸着時真空低下量は、真空圧力、吸込流量により変化します。2.0kPa の値は、安全を考慮した数値ですので、実際の低下量とは異なります。
到達真空度
（kPa）
66.5
吸込流量
（ℓ/min[ANR]）
26
カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動
最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求
められます。
70
60
真空度
（-kPa）
例 1. VUL07 • • •
（カタログデータ）
40
30
20
10
■ -50kPa の真空度で使用する場合
吸込流量は、約 6ℓ/min[ANR] となりますので、
使用可能な落下防止弁形式：ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5 が求められます。
ECVM3-M3 の場合の使用台数及び未吸着箇所：3 台、
ECVM4-M4, ECVM5-M5 の場合の使用台数及び未吸着箇所：1 台
までを許容することが求められます。
0
0
10
15
20
吸込流量（ℓ/min[ANR]）
25
30
20
40
60
80
■ -50kPa の真空度で使用する場合
吸込流量（ℓ/min[ANR]）
吸込流量は、約 52ℓ/min[ANR] となりますので、
使用可能な落下防止弁形式：ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5, ECVM6-M6, ECV01-01 が求められます。
ECVM3-M3 の場合の使用台数及び未吸着箇所：21 台（※2）、
ECVM4-M4, ECVM5-M5 の場合の使用台数及び未吸着箇所：10 台、
ECVM6-M6, ECV01-01 の場合の使用台数及び未吸着箇所：4 台
までを許容することが求められます。
100
120
到達真空度
（kPa）
93
吸込流量
（ℓ/min[ANR]）
110
カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動
最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求
められます。
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
0
5
真空度（-kPa）
例 2. VQH20 • • •
（カタログデータ）
35
50
※2. ECVM3-M3 は、吸込流量だけで計算すると、理論上：25 台まで対応できることになりますが、上述の通り、1 台当たりの真空度の低下が -2kPa
になるため、25 台全てが未吸着状態であると考えた場合、
真空度：-93 + (2 × 25) = -43kPa になってしまいます。
そのため、-50kPa で使用する場合：-93 + (2 × X) ≦ -50　X ≦ 21.5
∴最大未吸着箇所：21 台と言うことになります。
流量センサの選定方法
吸着ノズルでの吸着・離脱確認、漏れ検査等で流量センサをご使用になる場合の、流量レンジの選定の目安にお役立てください。
ノズル（ピンホール）
の有効断面積とノズルの内外での圧力差により、流量を計算することができます。
P₁≧1.89P₂（音速）
の場合
P₂：真空
Q＝113.2×S×P₁
P₁：加圧
P₁＜1.89P₂（亜音速）
の場合
Q ： 流量　ℓ/ｍｉｎ
P₁ ： 1次側絶対圧力　MPa
P₁：大気圧
： ノズル（ピンホール）の有効断面積　㎟
S
吸着ノズル
P₂：大気圧
P₁：加圧
P₂：大気圧
ピンホール
●計算例
ノズルの径がø0.1〜ø2でP₂を可変した場合の流量計算値を下表に示します。
吸引
P（MPa）
P（MPa）
P（MPa）
P（MPa）
1
1
2
2
絶対圧 ゲージ圧 絶対圧 ゲージ圧
0.1013
0
0.0313
-0.07
0.1013
0
0.0413
-0.06
0.1013
0
0.0513
-0.05
0.1013
0
0.0613
-0.04
0.1013
0
0.0713
-0.03
0.1013
0
0.0813
-0.02
0.1013
0
0.0913
-0.01
0.1113
0.01
0.1013
0
0.1213
0.02
0.1013
0
0.1413
0.04
0.1013
0
0.1613
0.06
0.1013
0
0.1813
0.08
0.1013
0
0.2013
0.1
0.1013
0
0.3013
0.2
0.1013
0
0.4013
0.3
0.1013
0
0.5013
0.4
0.1013
0
0.6013
0.5
0.1013
0
ブロー︵漏れ検査︶
音速／
亜音速
音速
音速
音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
亜音速
音速
音速
音速
音速
音速
流量計算値（ℓ/min［ANR］）
ø0.1 ø0.2 ø0.3 ø0.4 ø0.5 ø0.7
ø1
0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002
0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002
0.090 0.360 0.810 1.440 2.250 4.411 9.002
0.088 0.352 0.792 1.408 2.200 4.312 8.800
0.082 0.329 0.740 1.315 2.055 4.028 8.220
0.072 0.287 0.645 1.147 1.792 3.512 7.166
0.054 0.215 0.483 0.859 1.343 2.631 5.370
0.057 0.226 0.509 0.905 1.414 2.772 5.657
0.080 0.320 0.720 1.280 2.000 3.920 8.000
0.113 0.453 1.018 1.810 2.828 5.543 11.313
0.139 0.554 1.247 2.217 3.464 6.789 13.856
0.160 0.640 1.440 2.560 4.000 7.840 15.999
0.179 0.716 1.610 2.862 4.472 8.765 17.888
0.268 1.071 2.410 4.284 6.694 13.119 26.774
0.357 1.426 3.209 5.706 8.915 17.474 35.660
0.445 1.782 4.009 7.127 11.137 21.828 44.547
0.534 2.137 4.809 8.549 13.358 26.182 53.433
ø1.5
20.254
20.254
20.254
19.801
18.494
16.125
12.083
12.727
17.999
25.454
31.175
35.998
40.248
60.242
80.236
100.230
120.224
ø2
36.007
36.007
36.007
35.202
32.878
28.666
21.480
22.626
31.998
45.252
55.423
63.996
71.552
107.096
142.641
178.186
213.731
（注意）
■配管等に漏れがある場合、計算値より実際に流れる流量が大きくなります。流量選定時には、配管の漏れ量を考慮してください。
■配管途中で、吸着ノズル径よりも細い部分がある場合、流量が絞られてしまい、計算値より低い流量になることがあります。また、吸着確認等
ができなくなるおそれがあります。
■有効断面積は、あくまでも目安です。ノズルが細長い場合、有効断面積はノズルの開口面積よりも小さくなります。
■応答速度は、流量センサから吸着ノズル（ピンホール）までの配管の内容積によって決まります。高速検知を行う場合は、吸着ノズルの近くに流
量センサを配置するなど、極力配管の内容積を小さくしてください。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
P₂ ： 2次側絶対圧力　MPa
真空ポンプ対応ユニット
Q＝226.4×S× P₂
（P₁−P₂）
真空発生器 真空ポンプ
▲
4
36
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
1.応答時間について
吸着確認時の応答時間は、配管の内容積や真
3方弁
空ポンプの排気能力等によって決まります。
例えば、右図のような配管の場合の応答時間
加圧源（20kPa）
の配管依存性は下図のようになります。こ
の結果より、応答時間を短くするためには、
センサから吸着ノズルまでの配管内容積を
FUS20
ノズル
（ø0.25）
真空源（-70kPa）
できるだけ小さくすることが効果的です。
A
B
試験配管
吸引
吸着
リリース
（ブロー）
吸引
5.5
アナログ電圧出力（V）
5
37
0.5（ℓ/min）
4.5
配管B内から
気体がぬける
4
0.5（ℓ/min）
0
（ℓ/min）
3.5
3
-0.3（ℓ/min）
2.5
2
配管B内に気体
が充填される
1.5
1
0.5
0
100
200
300
400
500
600
700
800
900
1000
1100
A：ø4×40
B：ø4×40
A：ø4×40
B：ø4×1000
A：ø4×1000
B：ø4×40
1200
1300
1400
時間（msec）
応答の配管依存性
2.コレットノズルについて
コレットノズルは、吸着するワークをノズルと直接密着したくない場合によく用いら
れます。コレットノズルは、内部が角錐状になっており、ワークが吸着したときに、
ノズル
四隅に隙間ができる構造であるため、吸着時に漏れが発生します。コレットノズルと
ワークの隙間（有効断面積）に対して、配管
（バルブ、継手などを含む）の有効断面積が
小さいと、流量は配管の有効断面積で決まってしまい、吸着時と非吸着時の流量差が
小さくなってしまいます。このような場合は、配管の有効断面積をコレットノズルと
A-A断面
ワークの隙間の有効断面積より極力大きくすることにより、確実に吸着確認ができる
ワーク
ようになります。
A
A
コレットノズル
ロータリ真空ポンプの選定
① 排気する時間を求める場合
密閉された空間（タンク）
において、初期圧力から最終圧力
（目標とする吸着圧力）
まで排気する時間を求める場合、次式にて算出する。
t0 = t1 + t2 + t3 + …
例）RPV062-60 を 50Hzで使用し、容積：20ℓの空間を大気圧から 30kPa absまで排気する時間は？
〜厳密に10kPa 毎に算出する場合〜
V
P1
t = — × 2.3log —
P2
S
真空圧力：80kPa abs 時における実効排気速度の読み取り値
20
101.3
t1 = — × 2.3log — = 0.041min
58
90
20
90
t2 = — × 2.3log — = 0.041min
57
80
20
70
t4 = — × 2.3log — = 0.058min
53
60
20
60
t5 = — × 2.3log — = 0.072min
51
50
20
50
t6 = — × 2.3log — = 0.093min
48
40
57
排気速度（ℓ/min）
20
80
t3 = — × 2.3log — = 0.049min
55
70
RPV062-60
80
70
[60Hz]
60
[50Hz]
50
38
40
30
20
10
0
0
真空パッド 真空関連機器 技術資料
上記の計算をする場合、ロータリ真空ポンプの排気速度：Sは圧力領域により変わるため、圧力領域を分けてそれぞれの排気時間：
…
t1、t2、t3、 を計算し合計：t0 を算出する。
真空ポンプ対応ユニット
t：排気時間（min）
V：容積（ℓ）
S：ポンプ排気速度（ℓ/min）
P1：初期圧力（kPa abs）
P2：最終圧力（kPa abs）
V
P1
t = — × 2.3log —
S
P2
真空発生器 真空ポンプ
▲
5
吸着搬送以外の用途に使用する上で必要となる排気時間と、目的とする真空圧力までの到達時間の求め方を良く理解した上で、ロー
タリ真空ポンプの選定を行ってください。
10
20
20
40
t7 = — × 2.3log — = 0.125min
46
30
t0 = t1 + t2 + t3 + t4 + t5 + t6 + t7 = 0.479min (= 28.7sec)
※上記はあくまで一例であり、用途に応じた数十kPa 毎の算出でも構わない。
30
40
50
60
70
到達真空圧力（kPa abs）
80
90
100
How to select Vacuum equipment
真空用機器の選定方法
② 真空到達時間早見表
大気圧から目的とする真空圧力までの到達時間を見ることができます。
例）
RPV062-60
［50Hz］
で5ℓのタンクを大気圧から10kPa absまで減圧するのに要する時間⇒グラフ
（太線参照）
より約16秒である。
注）
排気開始圧力が大気圧以下の場合は、前ページの計算式にて算出してください。
配管抵抗をはじめとする使用環境の差異によって到達時間は変化しますので、十分な安全率を考慮して機種選定を行ってください。
4
8
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
1
39
2
4
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
1
100
10
4
6
8
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
到達時間：t
（sec）
10
20
30
40
50
60
70
80
2
2
4
RPV064-120［50Hz］
1
0.1
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40
容積：V（ℓ）
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
10
20
30
40
50
60
70
80
2
4
6
8
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
20
RPV063-90［60Hz］
10
20
30
40
50
60
70
80
10
1
2
4
6
8
10
12
容積：V（ℓ）
14
16
18
20
RPV064-120［60Hz］
10
20
30
10
到達圧力：P （
2 kPa abs）
20
1
100
10
20
30
40
50
60
70
80
8
10
0.1
0
20
6
RPV062-60［60Hz］
100
10
0.1
0
1
0.1
0
20
2 kPa abs）
到達圧力：P （
到達時間：t
（sec）
8
RPV063-90［50Hz］
100
到達時間：t
（sec）
6
到達時間：t
（sec）
0.1
0
到達時間：t
（sec）
10
70
80
20
30
40
50
60
100
2 kPa abs）
到達圧力：P （
10
20
30
40
50
60
70
80
10
0
0
20
RPV062-60［50Hz］
100
到達時間：t
（sec）
6
10
到達圧力：P （
2 kPa abs）
2
100
到達圧力：P （
2 kPa abs）
1
到達時間：t
（sec）
10
70
80
20
30
40
50
60
2 kPa abs）
到達圧力：P （
10
2 kPa abs）
到達圧力：P （
到達時間：t
（sec）
100
0
0
RPV06A-40［60Hz］
1,000
40
50
60
70
80
1
0.1
0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 32 34 36 38 40
容積：V（ℓ）
到達圧力：P （
2 kPa abs）
RPV06A-40［50Hz］
1,000
用　語
内　容
真空発生器
ディフューザ入り口中心にノズルから高速ジェットを吹き込み、エアの慣性力により他の流体をディフュー
ザ中に引き込み真空を発生させる真空ポンプ。
真空ポンプ
真空回路の空気を大気中に排出し回路内を真空にする機器。
多段ノズルエジェクタ式真空発生器 複数のディフューザを直列に組合せ、吸込流量を大きくした真空発生器。
リングブロー式真空発生器
2個のノズルから構成され、そのノズル間の隙間からエアを供給する形態の真空発生器。
（粒体、粉体、繊維などの小さく不定形のワークを空気で搬送させる用途に使用）
真空発生器のノズル最小断面積部の直径。
絶対圧力
絶対真空（物質・圧力がゼロの状態）をゼロ（基準点）として表示した圧力。単位：kPa abs
ゲージ圧力
供給圧力
大気圧をゼロ（基準点）として表示した圧力。単位：kPa G
真空発生器の供給口に加える空気の圧力。
定められた条件の下で性能を保証でき、また設計及び使用上の基準となる圧力。
到達真空度
定格圧力において、真空発生器の吸込み口を閉じた時に発生する最大の真空圧力。
大気圧換算到達真空度
吸込流量
（ゲージ圧）
は、測定時の気圧により数値に相違が発生することから、到達真空度を補正した数値。
到達真空度
（大気圧換算値）
｛kPa｝
=（ゲージ圧）
｛kPa｝× 1013.25｛hPa｝／（測定時気圧）
｛hPa｝
真空発生器が吸込む空気の標準空気量（圧力：0.1013MPa、温度：20℃、相対湿度：65%RH）。
消費流量
真空発生器が消費する圧縮空気の標準空気量（圧力：0.1013MPa、温度：20℃、相対湿度：65%RH）。
真空特性
ノズル径、到達真空度、吸込流量、消費流量などの真空性能を示した真空パラメータ。
空気消費流量特性
真空発生器の供給圧力と空気消費流量の関係を表す特性。
最大吸込流量特性
真空発生器の供給圧力と最大の吸込流量の関係を表す特性。
到達真空圧力特性
真空発生器の供給圧力と到達真空圧力の関係を表す特性。
吸込流量－真空圧力特性
定格圧力における真空発生器の吸込流量と真空圧力の関係を表す特性。
真空破壊圧力
真空回路に圧縮空気を供給し、真空破壊する時の供給圧力。
真空破壊流量
真空破壊状態を発生させるために必要な空気流量。
破壊流量調整弁
破壊エアの流量を調整する絞り弁。
リリーフ圧力調整弁
真空破壊エアの流量制御に対し、真空破壊エア圧力を調整、制御する機構。
大気圧破壊弁
真空発生停止時、大気圧を導入させる弁。
真空発生用バルブ
真空発生器へ圧縮空気を供給するバルブ。
真空破壊用バルブ
真空回路に圧縮空気を供給し、真空破壊をするバルブ。
エアタイマ式真空破壊バルブ
真空破壊用電磁弁の代わりにタイマシリンダの排気絞り弁などの調整により真空破壊吐出時間を調整するバ
ルブ。基本的には、真空発生用バルブの真空発生が遮断された直後から真空破壊エアは吐出され、破壊時間
調整ニードルでその吐出時間を調整する。
真空到達時間
真空発生器に空気を供給してから、ある真空回路容積内が設定した真空圧力に到達するまでの時間。
応答時間
真空発生用、真空破壊用バルブに通電、または遮断させてから真空ポートで圧力変化が検出されるまでの時
間。
吸着パッド
吸着を行う主にゴムなどの弾性体のカップ、または皿状の吸着部と吸着部を保持しポートを持つ本体
（取り付
け金具）からなる機器。吸着部には薄形、深形、じゃばら形、長円形などの形状もある。
吸着プレート
吸着を行う主に溝のついた金属板や多孔質体の剛性のある平面、または曲面板状の機器。変形しやすい吸着
物に用いる。
吊上げ
吸着パッドや吸着プレートで吸着物を持ち上げること。
垂直吊り
吸着パッドの吸着面を垂直にした吊り方。吸着面にせん断力を生じる。
水平吊り
吸着パッドの吸着面を水平にした吊り方。
バッファ
主にスプリングなどで吸着パッドの押しつけ時の位置の変動を吸収し、衝撃を緩和する機構。
首振り形吸着パッド
吸着部と本体の間に揺動リンクを持つ吸着パッド。
パッド径
円形の吸着パッドにおいて真空圧力が生じていない時の被吸着物との接触円の直径。
有効パッド径
円形の吸着パッドにおいて真空圧力が生じ変形している時の、実際の被吸着物との接触円の直径。
吸着面積
吸着パッドにおいてパッド径から計算される理論的に真空圧力が作用する吸着面の面積。
有効吸着面積
吸着パッドにおいて真空圧力を生じ変形している時の、実際に真空圧力が作用する被吸着物との接触部の面
積。吊上げ力を真空圧力で割った値に等しい。
吊上げ力
吸着パッドや吸着プレートで実際に持ち上げることができる荷重。
理論吊上げ力
吸着パッドの吸着面積と真空圧力の積で、理論的に持ち上げることのできる荷重。
真空発生器 総合タイプ
真空発生器とその周辺機器からなる基本構成部分。真空発生器、真空発生用バルブ、真空破壊用バルブ、真
空用圧力スイッチ、真空用フィルタなどの組合せからなる。
サイレンサ（消音器）
排気ポートから排出されるエアの騒音を低減させる機器。
真空用圧力計
真空圧力を表示する計器。
真空用フィルタ
真空ポンプを塵芥・汚染から保護するため、真空ポンプと吸着パッドなどの大気へ通じる機器との間に取り
付けるフィルタ。
真空用レギュレータ
真空源と真空回路の間に取り付け、真空回路側の圧力を一定に制御する圧力制御弁。
真空用圧力スイッチ
真空圧力で電気接点（回路）を開閉する機器。真空吸着の状態を確認する場合などに用いる。
サーマルプロテクタ（自動復帰型） モータが何らかの異常事態により巻線の温度が著しく上昇した時、設定温度以上になると自動的に通電を遮
断し、温度が下がると通電を再開する安全装置。
耐熱クラス（絶縁等級）
電気製品の電気絶縁について許容温度を基準に区分したもの。当社ポンプに採用しているモータは許容最高
温度130℃に耐える材料で絶縁構成されている。
排気速度
単位時間当たりに排出される気体の標準空気量（圧力：0.1013MPa、温度：20℃、相対湿度：65%RH）。
単位：ℓ／ｍｉｎ（ANR）
真空パッド 真空関連機器 技術資料
定格圧力
真空ポンプ対応ユニット
ノズル径
真空発生器 真空ポンプ
 真空機器の用語一覧
40
Selection chart for Vacuum Generator Combination Type
真空発生器 総合タイプの選定一覧早見表
大流量を要する、大型ワーク・
使用目的に合わせた機種選定が可能。
破壊圧力・流量を最適にする
多リークワークに最適な真空発生器。 バリエーション豊富なモジュールタイプ。 調整機能付真空発生器。
VG タイプ ・ ・
VQ タイプ ・ ・
⑨
③
⑧
⑤
VG
⑥
②
50%
⑨
③
⑧
④
⑦
100%
⑤
⑥
100%
②
50%
⑨
③
⑧
④
⑦
①
⑩
VJ タイプ ・ ・
Radar chart
50%
①
⑩
P.170
⑤
⑥
100%
②
50%
⑨
③
⑧
④
⑦
P.214
①
⑩
④
⑤
⑦
VJ
②
VK タイプ ・ ・
Radar chart
100%
Radar chart
①
⑩
P.138
VK
P.126
VQ
Radar chart
基本性能重視タイプ。
⑥
※レーダーチャート内の①〜⑩の項目につきましては、右の通りとなります。　①：真空特性　②：メンテナンス性　③：外観仕様　④：フィルタ表面積
Step
41
1 真空特性選択数
Step
2 真空応答速度
Step
3 破壊応答速度
Step
4 破壊流量
□ VG
□ VG
□ VG
□ VG
□ VQ
□ VQ
□ VQ
□ VQ
□ VK
□ VK
□ VK
□ VK
□ VJ
□ VJ
□ VJ
□ VJ
□ VX
□ VX
□ VX
□ VX
□ VN
□ VN
□ VN
□ VN
□ VZ
□ VZ
□ VZ
少ない
Step
5
遅い
多い
真空スイッチバリエーション
Step
6
速い
消費電力
□ VZ
遅い
Step
7
速い
システム選択数
小
Step
8
□ VG
□ VG
□ VG
□ VG
□ VQ
□ VQ
□ VQ
□ VQ
□ VK
□ VK
□ VK
□ VK
□ VJ
□ VJ
□ VJ
□ VJ
□ VX
□ VX
□ VX
□ VX
□ VN
□ VN
□ VN
□ VN
□ VZ
□ VZ
□ VZ
少ない
多い
多い
少ない
大
フィルタ面積
□ VZ
少ない
多い
グラフの見方
小
お客様が必要とする真空発生器 総合タイプの性能を上のグラフ(Step 1 〜 Step 8)よりお選び頂き、タイプ名左の□に √ 印をお付けください。
√ 印が最も多く付いたタイプがお客様の装置に適しております。またグラフの詳細は、右ページをご覧ください。
大
真空発生器 真空ポンプ
②
50%
⑨
③
⑧
VX
50%
⑨
③
⑤
⑥
P.306
①
⑩
100%
②
50%
⑨
③
⑧
④
⑦
VN
⑤
⑥
②
100%
⑧
④
⑦
①
⑩
VZ タイプ ・ ・
Radar chart
100%
P.270
④
⑤
⑦
⑥
⑤：システム選定　⑥：ソレノイド仕様　⑦：圧力センサバリエーション　⑧：破壊流量　⑨：破壊応答速度　⑩：真空応答速度
タイプ
真空特性
VG
VQ
VK
VJ
VX
VN
H：高真空中流量タイプ
○
○
○
○
○
○
VZ
○
L：中真空大流量タイプ
○
○
○
○
○
○
○
ノズル径
真空特性
E：高真空少流量タイプ
○
○
○
○
○
○
○
D：2段ノズルタイプ
－
○
－
－
－
－
－
－
T：ツインノズルタイプ
－
○
－
－
－
－
04：ø0.4mm
－
－
－
－
－
○
－
05：ø0.5mm
○
－
○
○
○
○
○
○
－
06：ø0.6mm
－
－
－
－
07：ø0.7mm
○
○
○
○
○
○
10：ø1.0mm
○
○
○
○
○
－
○
12：ø1.2mm
－
○
○
○
－
－
－
圧力センサ
電子式圧力センサ
15：ø1.5mm
－
○
－
－
－
－
－
20：ø2.0mm
－
○
－
－
－
－
－
－
1種類
4種類
2種類
ディスプレイ内蔵タイプ
ディスプレイ付連成圧タイプ
2種類
－
2種類
ソレノイド仕様
－
－
－
－
－
－
2種類
3種類
－
－
－
1種類
1種類
3種類
機械式圧力センサ
－
－
○
－
－
－
－
真空発生用・真空破壊用バルブ
○
○
○
○
○
○
○
スイッチのみタイプ
定格電圧／消費電力
システム設定
エジェクタシステム対応ユニット
（機種組合せ数）
○
(8)
○
(24)
○
(96)
○
(48)
○
(48)
○
(6)
○
(8)
－
－
－
－
－
－
－
フィルタ
表面積 (cm²)
11.3
15.08
11.3
11.3
5.02
－
7.06
外観仕様
真空ポンプシステム対応ユニット
（機種組合せ数）
DC24V／1.2W、 DC24V／0.55W、 DC24V／0.8W、 DC24V／1.2W、 DC24V／1.2W、
DC24V／0.6W DC24V／0.55W
AC100V／1.5VA AC100V／1VA AC100V／1VA AC100V／1.5VA AC100V／1.5VA
塵埃貯え可能容積 (cm³)
1.4
6.9
3.1
3.5
0.7
－
0.6
外観寸法
（幅
（厚さ）
× 縦 × 横）
10.5 × 70.4 × 119.8
20 × 62.1 × 93.6 31.5 × 80 × 120 16 × 75.3 × 124.5 20 × 67 × 139.2 10.5 × 61.5 × 115.5 10.3 × 53.9 × 82.9
(mm) (*¹)
（1連時）
メンテナンス性
質量 (max) (g) (*¹)
95（1連時）
128
420
170
175.5
84
58
△ (*²)
○
○
△ (*²)
△ (*²)
△ (*²)
○
フィルタエレメント交換
○
○
○
○
△ (*3)
○
○
マニホールドへの着脱
－
－
○ (*4)
△ (*5)
○ (*6)
○ (*4)
△ (*4)
ノズル交換
その他 特記事項
エジェクタシス エ ア タ イ マ 式 真 空 破 壊 回 路 DINレール取付 真 空 破 壊 エ ア 大 気 圧 破 壊 弁
テム対応ユニッ 真 空 破 壊 バ ル に リ リ ー フ 機 タイプも用意。 供 給 ポ ー ト を を搭載。(*9)
トのノズルタイ ブも用意。(*7) 能付き。(*8)
独立化。(*11)
プは、3 機種を
10
標準化。(* )
*1. 外観仕様の寸法と質量は、単体タイプでの比較となります。　*2. 各ユニット分解後、ノズルを交換
*3. 真空ポートのチューブを外した後、フィルタエレメントを交換　*4. 固定ネジ：2 本　*5. 固定ネジ：6 本　*6. 固定ネジ：1 本
*7. 機械式のエアブローと破壊エアの調整が可能。　*8. 余剰真空破壊圧力を逃がす機能付き。
*9. 大気破壊弁搭載により、真空破壊時間を大幅に短縮。　*10. シングルノズルタイプ：オーソドックスな総合タイプ大流量真空発生器。2段ノズルタイプ：吸込流
量が、従来のシングルノズルタイプと比べ約40%アップ。ツインノズルタイプ：消費流量を大幅に節約。
*11. 従来の流量調整に加えて、外部レギュレータにより圧力調整が可能になり、真空破壊エアの微調整が容易になりました。
*12. タイプ覧の■の商品は、「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向に、オプションにて対応可能です。
真空パッド 真空関連機器 技術資料
Radar chart
①
⑩
VN タイプ ・ ・
VZ
P.238
Radar chart
VX タイプ ・ ・
真空ポンプ対応ユニット
表面積
真空システムのハイサイクル化を実現。小型ワークに チップマウンタ、ハンドラーなどの 真空破壊時間を大幅に短縮。小型ワークに
適した小型･軽量･高速応答真空発生器。
半導体関連装置に最適な真空発生器。 最適なマニホールド専用真空発生器。
42

平成 27 年 4 月 町立保育園をご利用になる保護者の方へ 平成

家庭ポンプ PG

バ キ ュ ー ム チ ャ ッ ク

1 / 1 大阪市建設局 設計図書等に対する質問への回答

Җ ߳ ࢞ ǥ Ǚ Ș ણ ̪ પ ǜ Җ ɖ ল Ǣ ᰊ Ɂ Ć Ȯ ɪ ǻ Ȃ ऀ ǵ ȋ Ǥ ș Ǭ Ǭ ֒ ख़ ǘ Ȗ

ワンタッチ管継手付スピードコントローラ プラグインタイプ/ASP

古賀 雄一 - プリオン病及び遅発性ウイルス感染症に関する調査研究

ZU Series 直線形真空エジェクタ

Arctic Sun チェックリスト（ME）

SLseries