プレッシャーセンサ共通事項 プレッシャーセンサ共通事項 安全に関するご注意 本製品には一般電子機器用 (通信機器・計測機器・工作機械など) に製造された半導体部品を使用しております。これら半導体部品 を使用した製品は、外来ノイズやサージにより誤作動したり故障 したりする可能性がありますので、実使用状態での性能および品 質確認を十分に実施くださいますようお願い申し上げます。 万一誤作動した場合においても生命・身体・財産などが侵害され ることのないよう、装置としての安全設計(ヒューズ・ブレーカ など保護回路設置、装置多重化など) に万全を期されますようお 願い申し上げます。 ケガや事故防止のため、以下のことを必ずお守りください。 ・駆動電流または電圧は、定格値以下でご使用ください。 ・結線は端子接続図の通りに行ってください。特に電源逆接続は 発熱、発煙、発火などで回路損傷による事故の恐れがありま すのでご注意ください。 ・安全上、特に重要な用途には、二重安全回路などの配慮を必ず 実施願います。 ・最大印加圧力以上の圧力を印加しないでください。また、圧力 媒体に異物が混入しないようご注意ください。製品の破棄、 媒体の吹出しによる事故の恐れがあります。 ・製品の固定および圧力導入口の接続は厳重に実施願います。製 品の飛散、媒体の吹出しによる事故の恐れがあります。 ・端子先端は鋭利になっておりますので身体を切傷しないよう、 取扱いにご注意ください。 用語説明 ■ 圧力媒体 ■ オフセット電圧温度特性 プレッシャーセンサが使用できる媒体。 (当社のプレッシャーセン サは、乾燥空気用です。 周囲温度の変化に応じたオフセット電圧の変動値。基準温度にお けるオフセット電圧と補償下限温度(低温)および補償上限温度(高 温)におけるオフセット電圧の差 〈�1、�2〉 の絶対値の大きい方をフル スケール 〈FS〉に対する割合で表わす。 ■ 定格圧力 プレッシャーセンサの仕様を保証する圧力の値。 ■ 感度温度特性 ■ 最大印加圧力 プレッシャーセンサに印加できる最大の圧力値。定格圧力をこえ 最大の圧力を印加後、定格圧力内でのセンサの特性の仕様は保証。 ■ 温度補償範囲 周囲温度の変化に応じた感度の変動値(フルスケール〈FS〉の変動 値)。 基準温度におけるフルスケール〈FS〉と補償下限温度 (低温)およ び補償上限温度(高温) におけるフルスケール〈FS1、FS2〉 の差〈FS1 −FS、FS2−FS〉絶対値の大きい方を基準温度におけるフルスケー ル 〈FS〉に対する割合で表わす。 プレッシャーセンサの仕様値を保証する温度範囲。 出 力 電 圧 ■ 駆動電流(電圧) 補償上限温度 基準温度 補償下限温度 プレッシャーセンサを駆動させるための供給電流。 (電圧) FS2 2 ■ 出力スパン電圧 FS 1 FS1 定格出力電圧とオフセット電圧の差。出力スパン電圧をフルスケー ル 〈FS〉ともいう。 ■ ブリッジ抵抗 ■ オフセット電圧 無負荷 定格圧力 シリコン単結晶基板上に形成したピエゾ抵抗の抵抗値を意味する。 例えばブリッジの各抵抗R1∼R4はtyp.各5k� の抵抗値となっています。 ブリッジ抵抗とは各抵抗の合成抵抗でR1∼R4が各5k� の場合、合 成抵抗は5k� となります。 ※ブリッジ抵抗 3. 3k� 品もございます。 プレッシャーセンサに圧力を加えない時の出力電圧。 ■ 定格出力電圧 定格圧力印加時の出力電圧。 ■ 直線性 圧力を無負荷から定格圧力まで変化させた時、無負荷と定格圧力 を結ぶ直線からのズレを表わす。 (定格圧力の1/2時のズレ 〈D1〉 をフル スケール〈FS〉に対する割合で表わす。 ) R2 R1 R3 R4 ■ 圧力ヒステリシス 圧力を無負荷から定格圧力まで加圧後、無負荷における加圧時と 減圧時の差〈D2〉をフルスケール 〈FS〉に対する割合で表わす。 出 力 電 圧 D1 FS D2 電オ 圧フ セ ッ ト 無負荷 1/2 定格圧力 定 格 出 力 電 圧 ブリッジを構成する4素子を ひとつの合成抵抗と見なす =ブリッジ抵抗 ■ 精合精度 補償温度範囲内におけるオフセット電圧および定格出力電圧の精度 定格圧力 パナソニック電工 制御機器本部 0120-101-550 panasonic-denko.co.jp/ac/
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