α・
X 軸 XY軸 Z 軸 θ軸 αβ軸
X軸ロングスチールステージ-M6
TSD-M6
TSD-65121C-M6 %
TSD-65121S-M6 %
六角穴 M6×6…4 本
六角穴 M6×6…4 本
120
120
MAX147
25
25
（11）
25
25
25
15-M6 P1 深6
22
10.5
20
8-φ6.5取付穴
50
100
1.5
1.5
50
21.5
12
20
MAX189
100
φ11ザグリ
8-φ6.5取付穴
φ11ザグリ
TSD-65171S-M6 %
TSD-12171S-M6 %
六角穴 M6×6…4 本
六角穴 M6×8…4 本
25
25
25
25
25
25
25
25
25
4-φ10.5
（固定ネジ挿入穴）
30-M6 P1 深6
6
φ5
25
50
65
25
21-M6 P1
深6
25
22
25
120
25
ベース
25
（11）
（11）
25
25
ホルダー
170
170
25
100
4-φ10.5
（固定ネジ挿入穴）
50
65
4-φ10.5
（固定ネジ挿入穴）
25
50
65
25
15-M6 P1 深6
4-φ10.5
（固定ネジ挿入穴）
干渉計
25
25
25
25
（11）
25
MAX234
20
22
10.5
光源
150
ブラケット・
スペーサー
アクセサリ・
メンテツール
8-φ6.5取付穴
150
TSDS-651C-M6 %
TSDS-651S-M6 %
六角穴 M6×6…4 本
φ11ザグリ
ご案内
● TSDSシリーズはクリーンルーム、真空用途に適した
ステージです。
真空度測定データ、Q-Mass測定データがございます。
C209ページをご参照下さい。
六角穴 M6×6…4 本
65
MAX69
25
(11)
25
9-M6 P1
深6
25
9-M6 P1
深6
65
50
65
MAX91
12.5
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
1.5
50
20
1.5
12
20
20.8
25
25
25
50
65
25
25
マイクロメータ・
微調ネジ
100
2
φ11ザグリ
TSDS-M6
自動ステージ
ピエゾ
ステッピング
スケール付
ACサーボ
ソフトウェア
ケーブル
オプション
アクチュエータ
22
1.5
8-φ6.5取付穴
X軸ステンレスステージ-M6
(11)
X軸
XY軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ・傾斜
多軸
M6
直動ガイド
50
11.3
MAX241
手動ステージ
50
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
TSD-M6 / TSDS-M6
テーブル
移動精度
移動 表示
移動量
耐荷重
平行度
ストローク
感度
Fz'
面
平行度 分解能
/1回転 真直度 ピッチ ヨー
〔mm〕 〔mm〕〔mm／1回転〕〔mm〕〔秒〕〔秒〕〔mm〕〔mm〕〔mm〕〔mm〕 〔N〕
65×120 ±20
0.5 0.003 25
±20
0.5 0.003 25
65×170 ±25
0.5 0.005 25
120×170 ±25
0.5 0.005 25
65× 65 ± 6.5 0.5 0.002 25
± 6.5 0.5 0.002 25
許容モーメント
剛性
質量
材質 表面処理 Fx' Fy' Fθ' Fx" Fy"
〔N・m〕
〔N・m〕
〔N・m〕
〔秒／N・cm〕〔秒／N・cm〕〔kg〕
15 0.05 0.012 0.01 0.003 392.0
鉄
（40.0kgf）
15 0.05 0.012 0.01 0.003 392.0
鉄
（40.0kgf）
15 0.05 0.015 0.01 0.003 490.0
鉄
（50.0kgf）
15 0.05 0.015 0.01 0.003 686.0
鉄
（70.0kgf）
15 0.03 0.01 0.01 0.003 294.0 ステ
（30.0kgf）ンレス
15 0.03 0.01 0.01 0.003 294.0 ステ
（30.0kgf）ンレス
スーパーブラ
ッククローム
スーパーブラ
ッククローム
スーパーブラ
ッククローム
スーパーブラ
ッククローム
無
無
品番
価格 納期の
目安
19.6
9.8
9.8 0.1
0.2
1
〔￥〕
TSD-65121C-M6 45,000
19.6
9.8
9.8 0.1
0.2
1
TSD-65121S-M6 45,000
A
29.4
9.8 14.7 0.07 0.2
1.7 TSD-65171S-M6 75,000
A
0.03 0.02 2.6 TSD-12171S-M6 82,000
A
53.9 49
27
A
8.8
9.8
4.9 0.2
0.2
0.5 TSDS-651C-M6
41,000
A
8.8
9.8
4.9 0.2
0.2
0.5 TSDS-651S-M6
41,000
A
納期 A…受注後1週間、問…要問合せ
C368
www.sigma-koki.com
*[email protected]

M6 - OptoSigma Global Top

XY軸アルミステージ - OptoSigma Global Top

ROTATION STAGES 回転

イベント内容の詳細はこちら