α・
αβ軸 θ軸 Z 軸 XY軸 X 軸
XY軸アルミステージ-M6
TBM-M6
TBM-652C25-M6 m.
TBM-652S25-M6 m.
, 六角穴 M6×8…4 本
, 六角穴 M6×8…4 本
(11)
25
9-M6 P1 深7
MAX96
25
12.3
25
MAX116
21
MAX96
25
65
25
25
50
65
25
(11)
9-M6 P1 深7
21
65
(11)
25
50
65
(11)
MAX116
31.3
20
46
46
39
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
TBM-652CFP25-M6 F.
,
65
, 六角穴 M6×8…4 本 / 3mm
MAX66
9-M6 P1 深7
干渉計
21
65
(11)
25
25
25
12.3
(11)
(11)
25
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
TBM-652SFP25-M6 F.
六角穴 M6×8…4 本 / 3mm
(11)
50
1.5
1.5
50
MAX66
ベース
21
9-M6 P1 深7
50
MAX85
25
65
25
25
50
65
25
ホルダー
MAX85
1.5
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
31.3
20
1.5
50
光源
46
46
39
50
4-φ6.5 取付穴
φ11ザグリ
手動ステージ
XY軸アルミクロスローラステージ
（大型）
-M6
TAMC-M6
TAMC-20202-M6 .
TAMC-30302-M6 .
, 六角穴 M6×10…4 本
, 六角穴 M6×12…4 本
（11）
（13）
89
200
87.5
99
25×10=250
（13）
（11）
25
25
275
275
300
自動ステージ
25×10=250
175
25
87.5
200
87.5
25
25×6=150
300
275
87.5
25×6=150
ピエゾ
ステッピング
スケール付
ACサーボ
ソフトウェア
ケーブル
オプション
アクチュエータ
89
57-M6 P1 深6
38
18
99
125-M6 P1 深6
22.5
55
175
4-φ7取付穴
φ11ザグリ
47.5
6.5
70
5.5
X軸
XY 軸
Z軸
XZ軸
XYZ軸
回転
ゴニオ・傾斜
多軸
M6
直動ガイド
TBM-M6 / TAMC-M6
スト 移動量
移動精度
移動 表示
テーブル面
平行度
感度
ローク /1回転 真直度 ピッチ ヨー
平行度 分解能
〔mm〕 〔mm〕〔mm／1回転〕〔mm〕 〔秒〕〔秒〕〔mm〕〔mm〕〔mm〕〔mm〕
65× 65 ±12.5 0.5
0.01
－
±12.5 0.5
0.01
－
±12.5 0.25 0.01
－
±12.5 0.25 0.01
－
200×200 ±50
2
0.007 60
300×300 ±60
2
0.007 60
－
0.08 0.03 0.01 0.003
耐荷重
Fz'
〔N〕
275
4-φ7取付穴
φ11ザグリ
許容モーメント
剛性
質量
Fx'
Fy'
Fθ' Fx" Fy"
〔N・m〕〔N・m〕〔N・m〕〔秒／N・cm〕〔秒／N・cm〕〔kg〕
49.0
2.5
2.5
2.5
（5.0kgf）
－ 0.08 0.03 0.01 0.003
49.0
2.5
2.5
2.5
（5.0kgf）
－ 0.08 0.03 － 0.002
49.0
2.5
2.5
2.5
（5.0kgf）
－ 0.08 0.03 － 0.002
49.0
2.5
2.5
2.5
（5.0kgf）
25 0.2 0.05 0.02 0.01
1176.0 112
112
113
（120.0kgf）
25 0.2 0.08 0.02 0.01
1270.0 117
117
116
（130.0kgf）
主要材質：アルミ　表面処理：黒アルマイト
品番
価格 納期の
目安
1.1
1.1
0.6 TBM-652C25-M6
〔￥〕
48,000
1.1
1.1
0.6 TBM-652S25-M6
48,000
A
1.1
1.1
0.6 TBM-652CFP25-M6
42,440
A
1.1
1.1
0.6 TBM-652SFP25-M6
42,440
A
TAMC-20202-M6
250,000
A
0.06 0.06 16.5 TAMC-30302-M6
330,000
A
0.06 0.06
6
A
マイクロメータ・
微調ネジ
ブラケット・
スペーサー
アクセサリ・
メンテツール
納期 A…受注後1週間、問…要問合せ
マイクロ
粗微動
ウォーム式
デジタル
ロック機構
調整用
, 付属ビス / レンチサイズ
m メータ
F ファインピッチ
スクリュー M マイクロ W 粗微動マイクロ g マイクロ . 有
C375

M6 - OptoSigma Global Top

FP － DM EE WP UU DL DG W9087

カメラ取り付けフレーム（Z軸粗微動）

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