α・ X 軸 XY軸 Z 軸 θ軸 αβ軸 θ軸粗微動ステージ-M6 KSP-M6 KSP-656M-M6 m. KSP-656FP-M6 F. , 六角穴 M6×8…3本 , 六角穴 M6×8…3本 / 3mm 65 50 65 50 M6 P1 深9 φ5貫通穴 4-M6 P1 深7 PCDφ50 4-M6 P1 深7 PCDφ50 MAX57 50 MAX49 11 粗微動切替え MAX57 80 39.5 80 粗微動切替え クランプ （14） MAX68 クランプ （14） 39.5 50 32.5 32.5 M6 P1 深9 φ5貫通穴 φ65 3-φ6.5取付穴 φ11ザグリ 3 11 20 3 20 φ65 3-φ6.5取付穴 φ11ザグリ 干渉計 ホルダー KSPB-906FP-M6 F. , 六角穴 M6×8…4 本 , 六角穴 M6×8…4 本 / 3mm φ11 φ11 （固定ネジ挿入穴） 25 （固定ネジ挿入穴） 25 9-M6 P1 深6 25 MAX56 クランプ バ−ニア （11） MAX75 103 25 103 クランプ バ−ニア MAX54 MAX56 粗微動切替え 粗微動切替え φ90 2.5 22 13.5 22 2.5 φ90 13.5 X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド 25 手動ステージ 25 25 光源 25 9-M6 P1 深6 （11） ベース KSPB-906M-M6 m. 4-φ6.5取付穴 φ11ザグリ 4-φ6.5取付穴 φ11ザグリ 自動ステージ KSW-1206-M6 . , 六角穴 M6×10…3本 , 六角穴 M6×12…4 本, SW 適応素子サイズ φ30 MAX 6t 100 4-M6 深5 PCDφ50 50 65 5 30 280 270 260 50 100 26 120 .5 50 65 4-M6 P1 深7 PCDφ100 φ65 ネジリング デルリンリング （9） 17.2 120 φ120 6030 0 3060 3-φ6.5取付穴 www.sigma-koki.com *[email protected] 0 350 60 30 0 30 60 6 φ26 40 10 C378 4-M6 P1 深7 50 19.5 アクセサリ・ メンテツール KSW-656-M6 . 13.5 ブラケット・ スペーサー KSW-M6 37 マイクロメータ・ 微調ネジ θ軸ウォーム式ステージ-M6 22 ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ φ62 4-φ6.5取付穴 α・ αβ軸 θ軸 Z 軸 XY軸 X 軸 θ軸透過用薄形粗微動ステージ-M6 KSPB-M6 KSPB-1206MH-M6 m. KSPB-1206FPH-M6 F. , 六角穴 M6×8…4 本 , 六角穴 M6×8…4 本 / 3mm φ11 50 4-M6 P1 深7 PCDφ100 φ11 50 4-M6 P1 深7 PCDφ100 （固定ネジ挿入穴） （固定ネジ挿入穴） バ−ニア クランプ （9） MAX56 穴） バ−ニア クランプ MAX75 50 φ62 （貫通 MAX56 （9） 50 穴） 133 φ62 （貫通 133 4-M6 P1 深6 4-M6 P1 深6 MAX56 粗微動切替え 粗微動切替え φ120 2.5 22 12.5 12.5 22 2.5 φ120 4-φ6.5取付穴 φ11ザグリ KSPB-1606MH-M6 m. 干渉計 4-φ6.5取付穴 φ11ザグリ ホルダー ベース KSPB-1606FPH-M6 F. , 六角穴 M6×8…4 本 , 六角穴 M6×8…4 本 / 3mm 100 100 φ11 （固定ネジ挿入穴） 4-M6 P1 深6 光源 φ11 （固定ネジ挿入穴） 4-M6 P1 深6 手動ステージ バーニア クランプ MAX56 12.5 φ 65 φ 90 φ120 φ160 φ 65 φ120 粗：360°全周 微：±5° 粗：360°全周 微：±5° 粗：360°全周 微：±5° 粗：360°全周 微：±5° 粗：360°全周 微：±4° 粗：360°全周 微：±4° 粗：360°全周 微：±3° 粗：360°全周 微：±3° 粗：360°全周 微：360°全周 粗：360°全周 微：360°全周 ツマミ 回転精度 表示 平行度 感度 回転角度 同芯度 面振れ 分解能 〔°〕 〔mm〕 〔mm〕 〔mm〕 〔分｜°〕〔分｜秒〕 － 0.02 0.02 0.05 1° 30秒 － 0.02 0.02 0.05 1° 15秒 － 0.02 0.02 0.05 5分 20秒 － 0.02 0.02 0.05 5分 10秒 － 0.03 0.03 0.06 5分 15秒 － 0.03 0.03 0.06 5分 8秒 － 0.03 0.03 0.06 5分 15秒 － 0.03 0.03 0.06 5分 8秒 － 0.02 0.02 0.05 10分 5分 約1.62 0.03 0.03 0.06 5分 2分 耐荷重 Fz' 〔N〕 68.6 （7.0kgf） 68.6 （7.0kgf） 147.0 （15.0kgf） 147.0 （15.0kgf） 196.0 （20.0kgf） 196.0 （20.0kgf） 196.0 （20.0kgf） 196.0 （20.0kgf） 98.0 （10.0kgf） 196.0 （20.0kgf） 自動ステージ 100 4-φ7取付穴 φ11ザグリ 12.5 4-φ7取付穴 φ11ザグリ 回転 ストローク 〔°〕 2.5 22 22 2.5 φ160 KSP-M6 / KSPB-M6 /KSW-M6 〔mm〕 クランプ 粗微動切替え φ160 テーブル面 MAX56 174 174 100 MAX56 粗微動切替え (8) MAX75 φ102 ） 通穴 （貫 (8) ） 通穴 （貫 X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド バーニア φ102 許容モーメント 剛性 質量 Fx' Fx" 〔N・m〕〔秒/N・cm〕〔kg〕 主要材質：シンチュウ 表面処理：スーパ－ブラッククローム 品番 価格 納期の 目安 0.4 1 0.7 KSP-656M-M6 〔￥〕 30,000 0.4 1 0.6 KSP-656FP-M6 27,220 A 2 0.2 1.3 KSPB-906M-M6 38,000 A 2 0.2 1.3 KSPB-906FP-M6 35,220 A 7.8 0.15 1.1 KSPB-1206MH-M6 74,000 A 7.8 0.15 1.1 KSPB-1206FPH-M6 71,220 A 9.8 0.15 1.5 KSPB-1606MH-M6 84,000 A 9.8 0.15 1.5 KSPB-1606FPH-M6 81,220 A 0.49 0.9 0.6 KSW-656-M6 48,000 A 9.8 0.15 2.2 KSW-1206-M6 110,000 A A ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール 納期 A…受注後1週間、問…要問合せ マイクロ 粗微動 ウォーム式 デジタル ロック機構 調整用 , 付属ビス / レンチサイズ m メータ F ファインピッチ スクリュー M マイクロ W 粗微動マイクロ g マイクロ . 有 C379
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