光コム3D形状測定器

光コム3D形状測定器
Non-contact Optical Comb 3D Profilometer
Optical Comb, Inc.
本製品は、レーザーで計測する非接触三次元形状測定装置です。光コム干渉法を利用し、測定対象物の
表面立体形状をミクロン精度での高速計測を実現しています。約30mm×30mmの範囲を奥行き方向
1μmの精度で計測し、計測時間は約2秒の高速計測が可能です。信号処理部ではFPGAによる高速信号
処理を行っています。
■特長
■外観
◆非接触・非破壊
レーザー光を照射して形状を計測を行うため
非接触・非破壊での三次元形状計測が可能です。
◆長距離・高分解能
コヒーレンスの良い広帯域光である光コムを使用する
ことで、長距離測定を要する大型部品においてもヘッ
ドの設計変更により高分解能での測定が可能です。
◆高精度
光コムは周波数の精度が高く、光周波数標準としての
実績があります。
高い周波数精度をそのまま形状測定に応用すること
が可能です。
◆高速
毎秒50万ポイントの測定が可能です。
データ計測時間は最速約2秒が可能です。
光源部
ヘッド
※その他に信号処理部（PC）・XYスキャナ・スキャナコントローラ
が必要です。
■XYスキャナ
■測定対象物
◆計測の容易なもの
・適度な反射がある散乱体（プレス品等）
◆計測の困難なもの
・反射光の極端に少ない材料（黒ゴム等）
・反射がきれい過ぎるもの（鏡、ガラスの表面等）
・急な斜面
・反射面が複数あるもの
（積層された半透明の膜の表面等）
寸法：165(L)×115(W)×90(H)mm
※スキャナ寸法は設計仕様により変更されます。
■スキャナコントローラ
◆計測不可なもの
・光を照射できないもの
・影になる場所
寸法：483(L)×374.5(D)×88(H)mm
Optical Comb, Inc.
■仕様
項目
仕様
横(XY)方向（ヘッド仕様による）
直線スキャン：42mm
XY スキャン：～30mm×30mm
スキャン点数：500点×500点
計測範囲
高さ・深さ(Z)方向
ヘッドから検査対象までの距離：～約10cm
高さ（深さ）範囲
：±10mm
※距離・高さ（深さ）範囲は変更可能
深さ(Z)方向： 1μm
測定精度
横(XY)方向：60μm
（ビームスポットサイズ、測定点数による）
分解能
高さ(Z)方向： 0.01μm～10μm (積算時間による)
2秒～@500 x 500点
計測時間*
（ガルバノスキャン + FPGA高速信号処理、2μs/点）
1550nm （レーザクラス1）、可視ガイド光あり
波長
*スキャン方式・スキャナ性能に依存します。
■システム構成
①光源部
②干渉計ヘッド
③信号処理部（PC）
④XYスキャナ
⑤スキャナコントローラ
④XYスキャナ
⑤コントローラ
①光源部
（光コム発生器）
②干渉計ヘッド
サンプル
③信号処理部（PC）
AD変換器/FPGA
Optical Comb, Inc.
■測定例（スチールブロック表面）
サンプル：スチールブロック
3D画像
反射光強度画像
フライス加工痕
深さ約5μm
Optical Comb, Inc.
■測定例（薄鉄板上の微小穴）
サンプル：薄鉄板上の微小穴
3D画像
鉄板厚さ 0.7mm
2D 画像
深さ 0.14494mm
3D動画は弊社HPに掲載しております。
URL：http://www.optocomb.com/ncp.html
カタログは予告無く変更される場合があります
株式会社光コム
Optical Comb, Inc.
Ver.2.10
■本社
〒101-0052
東京都千代田区神田小川町3-11-2 インペリアルお茶の水302号
TEL.03-6426-2831
■横浜研究開発センター
〒226-8510
神奈川県横浜市緑区長津田町4259-3
中小機構・東工大横浜ベンチャープラザE206号室
TEL.045-982-2213 FAX.045-982-2215

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