HOL LO/OR The early pionee er of diffractive optics Sincce 1989 太平貿易株式会 会社 開発営業課 〒103-0022 東京都中央区日本橋室町3-2-15 TEL 03-3270-4826 FAX 03-3245-1767 http://www.taiheiboeki.cco.jp [email protected] 14/03 目次 Beam Shaper / Top-Hat pp.3 3-6 Homogenizer / diffuser p.77 - 10 Vortex Lens-DOE p. 11 - 12 Multifocus-DOE p. 13 Beam Splitting - 1D / 2D p. 14 - 21 Diffractive Axicon / Multi Circles - DOE p. 22 2 Beam Shaper / Top-Hat DOEはレーザビームの中心と周辺のエネルギーを分散することによりビームを整形することに道 を開きました。TOP-HATビーム整形はガウシアン分布に近いレーザビームを輝度が均一で、エッ ジの急峻な円形または四角形状のビームスポットにするために使います。均一なビームスポット を必要な位置に結像させるためにはビ ムとスポットの途中にDOEを配置します 吸収性のスリッ を必要な位置に結像させるためにはビームとスポットの途中にDOEを配置します。吸収性のスリッ トを持ったマスクは使用する必要はありません。回折パターンの位相変化がビームスポット内を適 当な輝度に変化させます。 ●イメージ図 ガウシアン Top-Hat ●システム例 ●シュミレ ションデ タ ●シュミレーションデータ ・ガウシアンビーム ・シングルモード ・波長:355nm ・入射ビーム径3.5mm 入射ビ ム径3 5mm ・スポット径200um x 200um(四角) ●アプリケ シ ン例 ●アプリケーション例 ・レーザ加工、溶接、穴あけ、カッティング、スクライブ、アブレーション ・バイオメディカル ・通信 3 Beam Shaper / Top-Hat ●Small Angle Top-Hat (スキャナ・fθ用) トップハットエネルギー分布を有するレーザ光は、レーザ加工における分野で多く使用されています。また、多くのシ ステムは、ワーク面で加工するためにスキャナ(fθレンズ)を使用します。 ステムは、ワ ク面で加工するためにスキャナ(fθレンズ)を使用します。 HoloOr社ではスキャナ用にトップハットの DOEを開発し、スキャナの前にこのDOEを配置いただくと、fθレンズの加工面でトップハットエネルギー分布を作 成します。また、高出力のレーザースキャナーでも動作するように設計し,スポット光は回折限界の~1.5倍になりま す。 ST-219 ST-220 標準品_Small Angle Top-Hat (スキャナ・fθ用) 型式 TH-239-A-Y-A TH 239 A Y A TH-249-A-Y-A ST-219-A-Y-A ST-220-A-Y-A ST-221-A-Y-A ST-222-A-Y-A ST-225-A-Y-A TH-239-G-Y-A TH 249 G Y A TH-249-G-Y-A ST-219-G-Y-A ST-220-G-Y-A ST-221-G-Y-A ST-222-G-Y-A ST-225-G-Y-A TH-239-I-Y-A TH-249-I-Y-A ST 219 I Y A ST-219-I-Y-A ST-220-I-Y-A ST-221-I-Y-A ST-222-I-Y-A ST-225-I-Y-A TH-239-J-Y-A TH-249-J-Y-A ST-219-J-Y-A ST-220-J-Y-A ST-221-J-Y-A ST-222-J-Y-A ST-225-J-Y-A 波長 (nm) 10,600 10 600 10,600 10,600 10,600 10,600 10,600 10,600 1,550 11,550 550 1,550 1,550 1,550 1,550 1,550 1,064 1,064 11,064 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,030 1,030 1,030 1,030 1,030 1,030 1,030 入射ビーム径 (φmm) 4.67 4 67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 33.2 2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 拡がり角 (mRad) 4.682 4 682 7.339 5.196 5.196 4.385 4.014 4.67 0.685 11.073 073 0.76 0.76 0.641 0.587 0.683 0.47 0.737 00.522 522 0.522 0.44 0.403 0.469 0.455 0.713 0.505 0.505 0.426 0.39 0.454 外形寸法 (φmm) 12.5 12 5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12 12.5 5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 材質 出射形状 ZnSe Z S ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 角 円 円 四角 4 Beam Shaper / Top-Hat 標準品_Small Angle Top-Hat (スキャナ・fθ用) 型式 TH-239-K-Y-A TH-249-K-Y-A TH 249 K Y A ST-219-K-Y-A ST-220-K-Y-A ST-221-K-Y-A ST-222-K-Y-A ST-225-K-Y-A TH-239-P-Y-A TH-249-P-Y-A ST-219-P-Y-A ST 219 P Y A ST-220-P-Y-A ST-221-P-Y-A ST-222-P-Y-A ST-225-P-Y-A TH-239-Q-Y-A TH-249-Q-Y-A ST-219-Q-Y-A ST-220-Q-Y-A ST-221-Q-Y-A ST-222-Q-Y-A ST-225-Q-Y-A TH-239-S-Y-A TH-249-S-Y-A ST-219-S-Y-A ST-220-S-Y-A ST-221-S-Y-A ST-222-S-Y-A ST-225-S-Y-A TH-239-U-Y-A TH-249-U-Y-A ST-219-U-Y-A ST-220-U-Y-A ST-221-U-Y-A ST 222 U Y A ST-222-U-Y-A ST-225-U-Y-A TH-239-W-Y-A TH-249-W-Y-A ST-219-W-Y-A ST-220-W-Y-A ST-221-W-Y-A ST-222-W-Y-A ST 225 W Y A ST-225-W-Y-A TH-239-Z-Y-A TH-249-Z-Y-A ST-219-Z-Y-A ST-220-Z-Y-A ST-221-Z-Y-A ST-222-Z-Y-A ST-225-Z-Y-A 波長 (nm) 980 980 980 980 980 980 980 633 633 633 633 633 633 633 532 532 532 532 532 532 532 405 405 405 405 405 405 405 355 355 355 355 355 355 355 266 266 266 266 266 266 266 193 193 193 193 193 193 193 入射ビーム径 (φmm) 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 47 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 44.5 5 4.67 3.2 4 4 4.7 5 4.5 拡がり角 (mRad) 0.433 0.678 0.48 0.48 0.405 0.371 0.432 0.28 0.438 0.31 0.31 0.262 0.24 0.279 0.235 0.368 0.261 0 261 0.261 0.22 0.201 0.234 0.179 0.28 0.199 0.199 0 168 0.168 0.153 0.178 0.157 0.246 0.174 0.174 0.147 0 134 0.134 0.156 0.117 0.184 0.13 0.13 0.11 0.101 00.117 117 0.085 0.134 0.095 0.095 0.08 0.073 0.085 外形寸法 (φmm) 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25 4 25.4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25 4 25.4 25.4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25 25.4 4 12.5 12.5 11 11 25.4 25.4 25.4 材質 出射形状 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 ライン ライン 円 四角 円 円 四角 5 Beam Shaper / Top-Hat ●標準品_Focal Beam Shaper (集光レンズ付) 型式 TH-003-A-Y-A TH-226-A-Y-A TH-205-A-Y-A TH-202-A-Y-A TH-009-A-Y-A TH-004-A-Y-A TH-208-A-Y-A TH-006-A-Y-A TH-011-A-Y-A ST-201-A-Y-A ST-211-A-Y-A TH-219-A-Y-A TH-234-A-Y-A TH-233-A-Y-A TH-008-C-Y-A TH-005-C-Y-A TH-007-C-Y-A ST-200-C-Y-A TH-203-D-Y-A TH-012-H-Y-A TH-224-X-Y-A TH-232-X-Y-A ST-208-X-Y-A TH-014-I-Y-A TH-102-I-Y-A TH-231-I-Y-A TH-101-I-Y-A TH-019-I-Y-A TH-103-I-Y-A TH-018-I-Y-A TH-017-I-Y-A ST-205-I-Y-A ST-203-I-Y-A TH-033-X-Y-A TH-033-X-Y-C TH-204-Q-Y-A TH-031-Q-Y-A TH-035-Q-Y-A TH-034-Q-Y-A TH-036-Q-Y-A ST-204-Q-Y-A ST-209-Q-Y-A TH-222-Q-Y-A TH-216-Q-Y-A TH-045-U-Y-A TH-046-U-Y-A TH-043-U-Y-A TH-042-U-Y-A TH-207-U-Y-A TH-209-U-Y-A ST-202-U-Y-A TH-245-U-Y-A 波長 入射ビーム径 (nm) (φmm) 10,600 3.7 10,600 4 10,600 4 10,600 14.5 10,600 10 10,600 12 10,600 13 10,600 25 10,600 25 10,600 16.5 10,600 11 10,600 12 10,600 14 10,600 12 9,250 10 9,250 12 9,250 25 9,250 12 2,940 4 1,319 7 1,070 14 1,070 12 1,070 14 1,064 7 1,064 6 1,064 5 1,064 3 1,064 3 1,064 9 1,064 13 1,064 39 1,064 7 1,064 6 800 6 800 6 532 3.5 532 5 532 2.5 532 2.5 532 3.5 532 6 532 2 532 2.9 532 12 355 1.65 355 2.5 355 8 355 2.5 355 3.5 355 9x6 355 14 355 12 WD (mm) 41 100 100 82.5 62.9 63.5 150 125.4 250 187.5 38 63.5 95 63.5 62.4 63.5 121 63 80 43.2 75.76 150 75 42.52 100 100 100 100 1000 20000 20000 100 52 200.29 200.29 105 52.4 99.5 99.5 99.5 52 104.76 40 720 94 95 49.8 50 99.35 200 50 50 スポットサイズ (mm) 0.65 3x3 1.5 0.23 0.436x0.436 0.39 5 15x1 3 0.36 0.125x0.2 0.25x1.5 0.25 0.25x2.5 0.405x0.405 0.35 14.2x1.7 0.26x0.26 0.2 0.17 1x1 0.3x0.3 0.5x0.5 0.19 0.15 0.2x0.6 0.15 0.21x0.21 10x10 635x635 635x5.3 0.21x0.210 0.05x0.05 3 3 0.2x0.2 0.1 0.09 0.1x0.1 0.2x0.2 0.03x0.03 0.15x0.2 0.2 10x10 0.17x0.17 0.08x0.08 0.015 0.05 0.2x0.2 0.1 0.05x0.006 0.045x0.01 出射形状 ライン 四角 円 円 四角 円 ライン 長方形 円 円 長方形 長方形 円 長方形 四角 円 長方形 四角 円 円 四角 四角 四角 円 円 長方形 円 四角 四角 四角 長方形 四角 四角 円 円 四角 円 円 四角 四角 四角 長方形 ライン 四角 四角 四角 円 円 四角 円 長方形 長方形 外形寸法 (φmm) 12.7 20 25.4 20 27.94 27.94 27.94 38.1 38.1 38.1 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 38.1 27.94 11 20 38.1 38.1 30 20 25.4 12.7 25.4 25.4 25.4 38.1 50 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 12.7 12.7 25.4 12.7 12.7 20 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 材質 ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 6 Beam Shaper / Top-Hat ●標準品_Focal Beam Shaper (集光レンズ付) 型式 TH-244-U-Y-A TH-217-U-Y-A TH-235-U-Y-A ST-217-U-Y-A ST-216-U-Y-A ST-215-U-Y-A TH-044-1-Y-A TH-051-W-Y-E TH-051-W-Y-A TH-241-W-Y-A 波長 (nm) 355 355 355 355 355 355 337 266 266 266 入射ビーム径 (φmm) 12 2 12 14 14 14 8 5 5 8 WD (mm) 50 100 700 47.8 47.8 47.8 49.395 42 42 200 スポットサイズ (mm) 0.035x0.013 0.1x0.1 10 0.006x0.042 0.006x0.038 0.006x0.034 0.02 0.015 0.015 1 出射形状 外形寸法 (φmm) 25.4 12.7 27.94 25.4 25.4 25.4 20 25.4 25.4 25.4 材質 AR コーティング FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 拡がり角 出射形状 外形寸法 (mRad) (φmm) 1.375x1.375° 四角 27.94 18.5x18.5mRad 四角 15 18.5x18.5mRad 四角 15 0.74mRad ライン 12.5 0.5mRad ライン 12.5 0.83° ライン 25.4 1x1° 四角 25.4 1mRad 円 25.4 4.2mRad 円 25.4 0.47mRad 四角 25.4 4.3mRad 円 25.4 0.39mRad 円 25.4 0.43mRad 円 25.4 0.94x0.94° 四角 25.4 0.8° $ 11 5.017mRad 円 11 5.017mRad 円 11 0.2° 11ライン 25.4 0.2° グリット10x10 25.4 0.26mRad 四角 11 0.26mRad 円 11 6x6mRad 四角 11 12mRad フレーム 11 1.03mRad フレーム 11 0.086° ライン 25.4 0.306mRad 円 25.4 1.37mRad ライン 25.4 2mRad 円 11 4.44mRad 円 11 4.44mRad 円 11 1.875x0.31mRad 長方形 25.4 0.17mRad 四角 11 材質 AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 両面 両面 長方形 四角 ライン 長方形 長方形 長方形 円 円 円 ライン ●標準品_Angular Beam Shaper (無限遠) 波長 入射ビーム径 (nm) (φmm) TH-002-A-Y-A 10,600 12 TH-250-1-Y-A 9,120 3x4 TH-251-1-Y-A 4,050 4.9x3.6 TH-249-1-Y-A* 1,070 3.2 TH-239-1-Y-A* 1,070 4.67 TH-015-I-Y-A 1,064 5.1 TH-013-I-Y-A 1,064 7 TH-215-I-Y-A 1,064 6 TH-246-I-Y-A 1,064 6 ST-225-I-Y-A* 1,064 4.5 ST-226-I-Y-A 1,064 8.5 ST-222-J-Y-A* 1,030 5 ST-221-J-Y-A* 1,030 4.7 TH-016-K-Y-A 980 7 TH-225-P-N-A 633 1.2 TH-228-Q-N-A 532 3 TH-228-Q-Y-A 532 3 TH-237-Q-Y-A 532 6 TH-236-Q-Y-A 532 6 ST-220-Q-Y-A* 532 4 ST-219-Q-Y-A* 532 4 ST-229-Q-Y-A* 532 4 ST-228-Q-Y-A 532 4 ST-227-Q-Y-A 532 4 ST-223-Q-Y-A 532 6 ST-207-Q-Y-A 532 10 ST-206-Q-Y-A 532 10 TH-238-U-Y-A 355 3 TH-227-U-N-A 355 3 TH-227-U-Y-A 355 3 TH-248-U-Y-A 355 5 ST-220-U-Y-A* 355 4 *f150~250の集光レンズ用に設計。 型式 WD (mm) 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 無限遠 ZnSe FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS 7 Homogenizer / diffuser ホモジナイザーは不均一なパワー出力レーザービームを均一にする回折型光学素子です。材質は溶融石英、 ZnSeなどで構成されており、オプションで高出力対応のAR-Vコーティングも製作しております。このコーティングによ り後反射を0.2%(両面)まで下げることができます。 ご使用にあたり 集光レンズを用いる場合はその焦点位置で 使用しない場合は通常下記方程式で求められる ご使用にあたり、集光レンズを用いる場合はその焦点位置で、使用しない場合は通常下記方程式で求められる WDoptimalで最も均一となります。また集光レンズの焦点を外れた位置で、あるいはWDoptimalより短い位置で動 作をさせた場合予期せぬ突出した出力が出現することもあります。 WDoptimal= DINP/Tan(αDF) DINP : 入射ビーム径 αDF : 拡散角度 ●光学システム例 ●アプリケーション ・レーザ加工、溶接、穴あけ、カッティング、スクライブ、アブレーション ・バイオメディカル ・通信 レ ザディスプレイ ・レーザディスプレイ ●パターンの種類 7 Homogenizer / diffuser 標準品_Homogenizer / diffuse 型式 ED-201-A-Y-A ED-203-A-Y-A ED 203 A Y A RD-203-A-Y-A DF-202-A-Y-A HM-207-A-Y-B HM-212-A-Y-A RD-222-A-Y-A RD-221-X-Y-A RD-220-X-Y-A HM-215-X-N-A HM 215 X N A HM-212-G-Y-A DF-202-H-Y-B ED-202-I-Y-A ED-203-I-Y-A RD-207-I-Y-A RD-203-I-Y-A RD-206-I-Y-A RD-204-I-Y-A RD-215-I-Y-A HM-203-I-Y-A HM-201-I-Y-A DF-200-I-Y-C DF-200-I-H-C DF-200-I-Y-A HM-200-I-Y-B HM-200-I-Y-A HM-214-I-Y-A HM-210-I-Y-A HM-213-I-Y-A HM-212-I-Y-A HM-208-I-Y-A HM-211-I-Y-A RD-216-I-Y-A HM 264 I Y A HM-264-I-Y-A HM-263-I-Y-A HD-200-I-Y-A HM-260-I-Y-A RH-218-I-Y-A HH-208-I-Y-A HH-211-I-Y-A HH-214-I-Y-A RH 206 I Y A RH-206-I-Y-A RH-215-I-Y-A RH-217-I-Y-A HM-274-I-Y-A HM-273-I-Y-A HM-283-I-Y-A HM-286-I-Y-A HM-285-I-Y-A RD-226-I-Y-A HM-272-I-Y-A HM-271-I-Y-A 波長 (nm) 10,600 10,600 10,600 10,600 10,600 10,600 10,600 4,500 4,500 4,150 1,550 1,320 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 11,064 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 拡がり角 外形寸法 (°) (φmm) 12.25X7.85 15 12.25X7.85 25.4 5 25.4 20x20 11 5x5 15 5x5 25.4 1.62 15 0.69 11 1.38 11 1.95x1.95 11 0.73x0.73 25.4 2.49x2.49 11 1.23X0.79 11 1.23X0.79 25.4 0.6 25.4 0.5 25.4 2 11 2 25 4 25.4 4 25.4 2x2 25.4 0.5x0.5 25.4 0.5x0.5 11 0.5x0.5 11 0.5x0.5 11 0.5x0.5 11 0 5x0 5 0.5x0.5 11 2x2 11 2x2 11 1x1 22 0.5x0.5 25.4 2.75x2.75 25.4 2x2 25.4 1.6 25.4 0 6x0 6 0.6x0.6 25 4 25.4 0.5 11 2.15 18 2 25.4 2 18 2.75x2.75 25.4 2x2 25.4 2x2 11 2 11 4 25.4 2 25.4 20x20 10x10 10x10 10x10 0.5x0.5 11 22.9 7.25x7.25 0.36x0.66 25.4 27.4 15x15 0.5x0.5 25.4 2x2 25.4 出射形状 楕円 楕円 円 四角 四角 四角 円 円 円 四角 四角 四角 楕円 楕円 円 円 円 円 円 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 円 四角 ライン ヘキサゴン ライン 円 四角 四角 四角 円 円 円 四角 四角 四角 ライン 長方形 円 四角 四角 最小入射ビーム径 (φmm) ----10 --9 6 4.5-5.5 4.5-5.5 4.5-5.5 6 6 ------12 10 6 6 4 5 9 ------6 6 5 5 5 6 5 5 5 5 3 5 5 6 5 5 5 6 4 6 1 1 6 3 6 1 6 5 材質 ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 片面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 備考 新製品 新製品 新製品 高均一 高均一 高均一 高均一 高均一 高均 高均一 高均一 高均一 新製品 新製品 新製品 8 Homogenizer / diffuser 標準品_Homogenizer / diffuse 型式 RD-211-K-Y-A HM-283-K-Y-A HM-211-L-Y-A HM-203-X-Y-A RD-210-X-Y-A ED-202-N-Y-A ED-203-N-Y-A HM-203-N-Y-A ED-202-O-Y-A ED-203-O-Y-A ED 203 O Y A RD-202-O-Y-A HM-213-O-Y-A DF-205-O-Y-A HM-203-O-Y-A DF-201-O-Y-A DF-200-O-Y-A RH-220-O-Y-A HM-274-1-N-A HM 274 1 N A HM-211-P-Y-A HM-260-P-Y-A HM-259-X-Y-A ED-202-Q-Y-A ED-203-Q-Y-A RD-202-Q-Y-A RD-206-Q-Y-A RD-204-Q-Y-A DF-202-Q-Y-A HM-200-Q-Y-A HM-202-Q-Y-B HM-202-Q-Y-A HM-201-Q-Y-A HM-208-Q-Y-A HM-203-Q-Y-A DF-201-Q-Y-A DF-200-Q-Y-B DF-200-Q-Y-A RH-218-Q-Y-A RH-217-Q-Y-A HM-273-1-Y-A ED-202-U-Y-A ED-203-U-Y-A RD 215 U Y A RD-215-U-Y-A HM-200-U-Y-A HM-214-U-Y-A HM-272-U-Y-A HM-203-U-Y-A HM-208-U-Y-A DF-201-U-Y-B HM-210-U-Y-A HM 267 U Y A HM-267-U-Y-A HM-285-U-Y-A RD-215-1-Y-A 波長 (nm) 980 980 940 808 800 755 755 755 694 694 694 694 694 694 694 694 694 680 633 633 542 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 445 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 311 拡がり角 外形寸法 (°) (φmm) 0.46 11 0.46x0.46 11 1.8x1.8 25.4 1.52x1.52 25.4 0.38 25.4 0.87X0.56 11 0.87X0.56 25.4 1.42x1.42 25.4 0.8X0.51 11 0.8X0.51 25.4 0.4 25.4 0.65x0.65 22 0.33x0.33 25.4 1.3x1.3 25.4 0.33x0.33 25.4 0.33x0.33 11 2.61 20 12.8x12.8 10x10 1.2x1.2 25.4 1.2 25.4 6x6 25.4 0.61X0.39 11 0.61X0.39 25.4 0.3 25.4 1 11 1 25 4 25.4 1x1 11 0.25x0.25 11 1x1 11 1x1 11 0.25x0.25 25.4 1.38x1.38 25.4 1x1 25.4 0 25x0 25 0.25x0.25 25 4 25.4 0.25x0.25 11 0.25x0.25 11 1 18 1 25.4 4.2x4.2 10x10 0.41X0.26 11 0.41X0.26 25.4 11.33 33 25 25.4 4 0.17x0.17 11 0.68x0.68 11 0.17x0.17 25.4 0.68x0.68 25.4 0.92x0.92 25.4 0.17x0.17 25.4 0.67x0.67 11 22.67 67 48 0.12x0.22 25.4 1.2 25.4 出射形状 円 四角 四角 四角 円 楕円 楕円 四角 楕円 楕円 円 四角 四角 四角 四角 四角 円 四角 四角 Line 四角 楕円 楕円 円 円 円 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 円 円 四角 楕円 楕円 円 四角 四角 四角 四角 四角 四角 四角 ライン 長方形 円 最小入射ビーム径 (φmm) 5 6 5 5 10 ----5 ----12 5 4 5 ----4 1 5 5 ------12 6 6 --6 5 5 9 5 5 ------6 6 1 ----4 6 5 6 5 5 --5 16 6 4 材質 AR コーティング 備考 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 マルチモード 新製品 高均一 高均一 高均一 高均一 高均一 新製品 9 Homogenizer / diffuser 標準品_Homogenizer / diffuse 型式 ED-202-W-Y-A ED-203-W-Y-A ED 203 W Y A RD-207-W-Y-A RD-205-W-Y-A HM-214-W-Y-A HM-202-W-Y-A HM-211-W-Y-A RH-217-W-Y-A HM-273-W-Y-A ED-202-Y-Y-A ED 202 Y Y A ED-203-Y-Y-A HM-202-Y-Y-A HM-201-Y-Y-A HM-203-Y-Y-A ED-204-Z-Y-A ED-205-Z-N-A ED-205-Z-Y-A ED-206-Z-N-A ED-206-Z-Y-A HM-202-Z-Y-A HM-203-Z-Y-A HM-214-Z-Y-A ED-207-Z-Y-A 波長 (nm) 266 266 266 266 266 266 266 266 266 248 248 248 248 248 193 193 193 193 193 193 193 193 193 拡がり角 外形寸法 (°) (φmm) 0.31X0.2 11 0.31X0.2 25.4 0.15 25.4 0.125 25.4 0.5x0.5 11 0.5x0.5 11 0.5x0.5 25.4 0.5 25.4 2.5x2.5 10x10 0.29X0.18 11 0.29X0.18 25.4 0.48x0.48 11 0.12x0.12 25.4 0.48x0.48 25.4 0.153x0.311 25.4 0.34x0.5 25.4 0.34x0.5 25.4 0 53x0 69 0.53x0.69 25 4 25.4 0.53x0.69 25.4 0.36x0.36 11 0.36x0.36 25.4 0.36x0.36 11 0.15x0.31 25.4x25.4 出射形状 楕円 楕円 円 円 四角 四角 四角 円 四角 楕円 楕円 四角 四角 四角 楕円 楕円 楕円 楕円 楕円 四角 四角 四角 楕円 最小入射ビーム径 (φmm) ----12 10 5 5 5 6 1 ----5 9 5 6 10 10 5 5 5 5 5 7 材質 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS UV FS UV FS UV FS UV FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 備考 新製品 高均一 10 Vortex Lens-DOE ボルテックスレンズは回析光学によってガウシアンのビームをリング状に変えることができます。 設置例 回折限界のスポット径 (LD) DL = 4xLxλ πxD x M² L : WD、D:入射ビーム径 A B C スポット径目安 A m1 m2 m3 m4 m5 m66 m7 m8 0.1834xDL 0.4978xDL 0.812xDL 1.127xDL 1.415xDL 1.7xDL 1.965xDL 2.28xDL B C 0.472xDL 2.0175xDL 0.707xDL 3.013x DL 0.966xDL 4.114xDL 1.31xDL 5.266xDL 1.651xDL 6.472xDL 1.99xDL 7.73xDL 2.306xDL 8.93xDL 2.65xDL 10.19xDL 11 Vortex Lens-DOE 型式 VL-208-A-Y-A VL-209-A-Y-A VL-204-I-Y-A VL-206-I-Y-A VL-208-I-Y-A VL-218-I-Y-A VL-216-I-Y-A VL-215-I-Y-A VL 215 I Y A VL-209-I-Y-A VL-209-J-Y-A VL-218-1-Y-A VL-216-1-Y-A VL-220-1-Y-A VL-219-1-Y-A VL-214-1-Y-A VL-204-M-Y-A VL 204 M Y A VL-206-M-Y-A VL-208-M-Y-A VL-209-M-Y-A VL-209-1-Y-A VL-209-Q-Y-A VL-216-Q-Y-A VL-225-Q-Y-A VL-217-Q-Y-A VL-209-2-Y-A VL-216-S-Y-A VL-209-S-Y-A VL-216-U-Y-A VL-209-U-Y-A 波長 (nm) 10600 10600 1064 1064 1064 1064 1064 1064 1064 1030 800 795 795 795 795 780 780 780 780 720 532 532 532 532 450 405 405 355 355 透過率(Typ) 外径 (%) (mm) 92 95 92 95 92 92 95 95 95 95 92 95 95 95 95 92 95 92 95 95 95 95 92 90 95 95 95 95 95 25.4 25.4 11 11 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 11 11 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25 4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 材質 ZnSe ZnSe FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 備考 m=1 m=1 m=1 m=1 m=1 m=4 m=2 m m=3 3 m=1 m=1 m=4 m=2 m=2 / 1mm thick m=3 / 1mm thick m=1 and 1mm thick m=1 m=1 m=1 m=1 m=1 m=1 m=2 m=6 Square donut m=1 m=2 m=1 m=2 m=1 12 Multifocus-DOE マルチフォーカルレンズは回析光学によって1つの入射ビームをいくつかの出力光線に変えることを可能にし ます。 光軸上でWDによりいくつかの焦点を光軸上で得ることができます。これは、平行のズームシステム、 光学センサー、眼科などのアプリケーションに有効です。また、材料加工のアプリケーションなどで焦点深度 を深くすることができます を深くすることができます。 型式 TF-005-A-Y-A 波長 焦点距離 外径 (nm) (mm) (mm) 10600 レンズなし 25.4 材質 AR コーティング f50mmのレン f100mmのレ ズを使用 ンズを使用 ZnSe 両面 49/50/51 96.3/100/104 MF-003-G-Y-A 1550 レンズなし 15 FS 両面 90.91/93.02/ 47.62/48.19/ 95.2497.56/1 48.7849.38/5 00/102.56105 0/50.6351.28 .26/108.11/1 /51.95/52.63 11.11 MF-001-G-Y-A 1550 レンズなし 15 FS 両面 48/49/50/51 92.4/96/100/ /52.1 104.3/109 両面 46.48/47.14/ 47.8348.53/4 9.25/5050.77 /51.56/52.38 53.22/54.1 MF-004-I-Y-A 1064 レンズなし 25.4 FS 86.84/89.19/ 91.6794.28/9 7.06/100103. 13/106.45/11 0113.79/117. 86 48.27/ 48.84/ 49.41/ 5050.6 / 51.22 / 51.85 48.6/49.3/50 /50.7/51.5 MF-002-I-Y-A 1064 レンズなし 25.4 FS 両面 MF-001-I-Y-A 1064 レンズなし 15 FS 両面 BF-006-I-Y-A 1064 レンズなし 11 FS 両面 TF-003-I-N-A 1064 45.3/46.95/48.6 25.4 FS なし 93.33/ 95.45/ 97.67 /100 102.44 / 105 / 107.69 94.7/97.3/10 0/102.9/106 80.08 / 44.47 / 57.10 133.11 - BF-005-I-Y-A 1064 レンズなし 25.4 FS なし 48.1 / 52 BF-001-I-N-A 1064 45 3/48 6 45.3/48.6 25 4 25.4 FS なし - TF-004-J-Y-A 1030 レンズなし 11 FS なし TF-004-1-N-A 808 レンズなし 11 FS なし TF-006-U-Y-A 355 レンズなし 25.4 FS 両面 92.9 / 108.3 96.5/100/103 49.1/50/50.9 .8 97.2/100/102 49.3/50/50.7 .9 49.99/50/50. 99.94/100/10 01 0.06 13 Beam Splitting - 1D ビームスプリッターはレーザビームを希望の数のビーム/ビームスポットに変換する回折型光学素子の1種です。1次 元、2次元の配列はご要望によります。 DO E レン ズ レーザービーム レ ザ ビ ム ビームスプリッターは同一表面の多くの位置を同時に穴あけをしたり、同時の作業を可能にします。この位置はそれ ぞれの位置関係から決めます。したがって、この光学素子は生産性及び位置精度を向上させ、X-Yテーブルをも不 要にします。標準品としては材質がZnSe及び溶融石英用に2点と3点のビームスポットがあります。ビームスポットの 数 波長 出射角度などはカ ト イズ致します 数、波長、出射角度などはカストマイズ致します。 θ 3点ビームスポット 点ビ ム ポ ト 2点ビームスポット 点 ポ ※θ:分離角 ●アプリケーション ・レーザ加工、スクライブ レ ザ加工 スクライブ ・3D計測 ・レーザディスプレイ ・医療用途 14 Beam Splitting - 1D 標準品_Beam Splitting - 1D 型式 MS-272-A-Y-N MS 272 A Y N DS-207-A-Y-A TS-205-A-Y-A TS-028-A-Y-A TS-004-A-Y-A TS-003-A-Y-A TS-027-A-Y-A DS-001-A-Y-A DS-025-A-Y-A DS 025 A Y A DS-002-A-Y-A TS-230-A-Y-A TS-201-A-Y-A DS-026-A-Y-A DS-213-A-Y-A MS-304-A-Y-A MS-298-A-Y-A MS-298-A-Y-N DS-223-A-Y-A MS-291-A-Y-A MS-364-A-Y-A TS-200-C-Y-A MS-338-D-Y-A MS-279-D-Y-N MS-278-D-Y-A MS-278-D-Y-N MS-278-D-Y-L MS-271-D-Y-A MS-226-D-Y-A MS-245-E-Y-A MS-214-E-Y-A MS-333-E-Y-A MS-244-E-Y-A MS 243 E Y A MS-243-E-Y-A MS-331-E-Y-A MS-268-G-Y-X MS-268-G-Y-A MS-255-G-Y-X MS-210-G-Y-A TS-216-G-Y-D TS-216-G-Y-A TS 224 G Y A TS-224-G-Y-A MS-398-G-Y-1 MS-233-I-Y-A MS-213-I-Y-B MS-213-I-Y-A MS-263-I-Y-A TS-202-I-Y-A MS-257-I-Y-A MS-255-I-Y-X MS-269-I-Y-A 波長 分岐数 (nm) 10,600 7 10,600 2 10,600 3 10,600 3 10,600 3 10,600 3 10,600 3 10,600 2 10,600 2 10,600 2 10,600 3 10,600 3 10,600 2 10,600 2 10,600 8 10,600 7 10 600 10,600 7 10,600 2 10,600 9 10,600 4 9,250 3 2,940 6 2,940 7 2,940 7 2 940 2,940 7 2,940 7 2,940 7 2,940 5 2,790 10 2,790 6 2,790 10 2,790 10 2 790 2,790 8 2,790 10 1,550 19 1,550 19 1,550 101 1,550 27 1,550 3 1,550 3 11,550 550 3 1,550 5 1,064 7 1,064 11 1,064 11 1,064 4 1,064 3 1,064 51 1,064 101 1,064 25 分散角 (°) 1.9 1.5 0.9 0.5 1.35 0.68 0.76 1.4 1.52 2.7 2.5 4.77 1 0.376 0.45 1.9 19 1.9 13.47 1.13 0.53 4.61 1.5 2.42 2.61 2 61 2.61 2.61 1.93 1.38 1.5 1.5 2 2 39 3.9 2 0.22 0.22 0.08 0.4 0.67 0.67 00.67 67 0.43 0.7 1.2 1.2 1.5 10 1mRad 0.06 0.112 外形寸法 (φmm) 15 15 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 27.94 15 27.94 27.94 38.1 27.94 15 15 27.94 27.94 38.1 27.94 11 11 11 11 11 11 25.4 25.4 25.4 11 25.4 25 4 25.4 19 25.4 25.4 25.4 11 25.4 25.4 20 25.4 25.4 11 11 11 18 25.4 25.4 25.4 材質 ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 0次光* 50 50-100% 100% <3% ** 70-130% 70-130% 70-130% 70-130% 70-130% <3% ** <3% ** <3% ** 70-130% 70-130% <3% ** <3% ** <3% ** 80-120% 50-100% <3% ** 80-120% <1% ** 70-130% <3% ** 80-120% 0-100% 50-100% 0-50% 80-120% 80-120% <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** 70-130% 0-100% 0-250% --97-140% 70-130% 70 70-130% 130% 70-130% 50-100% >100% 80-120% <3% ** 70-130% 0-100% 0-250% 0-100% 備考 0次光 50-100% *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 15 Beam Splitting - 1D 標準品_Beam Splitting - 1D 型式 MS-269-I-Y-X MS 269 I Y X MS-268-I-Y-A MS-268-I-Y-X MS-107-I-Y-A MS-262-I-Y-X MS-214-I-Y-A TS-203-I-Y-A TS-008-I-Y-S TS-008-I-Y-D TS 008 I Y D TS-008-I-Y-A DS-006-I-Y-A TS-031-I-Y-A TS-030-I-Y-B TS-030-I-Y-A DS-033-I-Y-A DS-212-I-Y-A TS-213-I-Y-A TS-212-I-Y-A TS-211-I-Y-A DS-216-I-Y-A DS-224-I-Y-A DS-215-I-Y-A DS-222-I-Y-A MS-332-I-Y-A MS-316-I-Y-A DS-033-J-Y-A MS-357-J-Y-A MS-355-J-Y-E MS-355-J-Y-A MS-323-K-Y-A MS-207-X-Y-B MS-208-X-Y-B MS 269 X Y X MS-269-X-Y-X MS-269-X-Y-A TS-231-X-N-A TS-220-X-Y-A DS-214-X-N-A MS-265-M-Y-A MS-107-P-Y-E MS-107-P-Y-A MS 255 Q Y X MS-255-Q-Y-X MS-207-Q-N-F MS-207-Q-Y-B MS-320-Q-N-A MS-107-Q-Y-A MS-214-Q-Y-A TS-008-Q-Y-A DS-006-Q-Y-A TS-031-Q-Y-A TS-030-Q-Y-A 波長 (nm) 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1 064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1,064 1 064 1,064 1,030 1,030 1,030 1,030 980 905 905 900 900 850 850 808 780 633 633 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 分岐数 25 19 19 7 5 6 3 3 3 3 2 3 3 3 2 2 3 3 3 2 2 2 2 4 11 2 6 4 4 5 81 81 25 25 3 3 2 8 7 7 101 81 81 8 7 6 3 2 3 3 分散角 (°) 0.112 0.15 0.15 0.29 0.5 0.57 0.135 1.27 1.27 1.27 2.5 5.1 10 10 10 0.255 2 54 2.54 4.36 3.8 1.52 0.12 3.39 2.2 1 12 1.2 9.85 0.2 1.29 1.29 0.042 0.21 0.42 0 09 0.09 0.09 4.06 6.1 1.93 1.1 0.17 0.17 00.03 03 0.13 0.13 0.023 0.14 0.29 0.64 1.27 2.54 5 外形寸法 (φmm) 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 38.1 11 11 25.4 11 20 11 11 11 11 25.4 25.4 20x20 20x20 25.4 25.4x25.4 25.4x25.4 25 4 25.4 25.4 25.4 9.8x9.8 25.4 25.4 25.4 25.4 25 25.4 4 25.4x25.4 25.4x25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 材質 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 なし 両面 両面 両面 両面 なし 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 0次光* 50 50-150% 150% 0-100% 70-130% 80-120% 50-150% <3% ** 70-130% 97-103% 97-140% 97 140% 70-130% <3% ** 70-130% >100% 70-130% <3% ** <3% ** 70-130% 70-130% 70-130% <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** 0-100% <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** 80-120% 50-200% 50-200% 50 150% 50-150% 0-100% 70-130% 70-130% <3% ** <3% ** >100% 80-120% 00-250% 250% 50-200% 50-200% <3% ** 80-120% <3% ** 70-130% <3% ** 70-130% 70-130% 備考 最小入射φ8mm *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 16 Beam Splitting - 1D 標準品_Beam Splitting - 1D 型式 DS-033-Q-Y-A DS 033 Q Y A DS-032-Q-Y-A MS-208-Q-N-F MS-338-Q-Y-A DS-211-Q-N-F TS-210-Q-Y-C TS-210-Q-Y-A DS-215-Q-Y-A MS-323-Q-Y-A MS 323 Q Y A MS-322-Q-Y-A TS-225-Q-Y-A TS-209-X-Y-A DS-215-R-Y-A MS-269-S-Y-X TS-008-U-Y-S TS-008-U-Y-D TS-008-U-Y-A TS-204-U-Y-S TS-204-U-Y-D TS-204-U-Y-A DS-006-U-Y-A MS-320-U-Y-A MS-269-U-Y-X DS-033-U-Y-A TS-211-U-Y-D MS-307-U-Y-A MS-385-U-Y-A MS-396-U-Y-Z MS-408-1-Y-A MS-262-X-Y-X MS-318-X-N-A MS-208-W-Y-B TS 008 W Y A TS-008-W-Y-A DS-006-W-Y-A 波長 (nm) 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 532 515 488 405 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 355 351 343 308 266 266 266 分岐数 2 2 81 6 2 3 3 2 5 4 3 3 2 25 3 3 3 3 3 3 2 8 25 2 3 4 6 9 12 5 8 81 3 2 分散角 (°) 5.1 10 0.25 0.29 15 7.64 7.64 1.7 0.023 1.7 0.04 2.46 1.55 0.043 0.42 0.42 0 42 0.42 0.81 0.81 0.81 0.85 0.015 0.037 3.4 1 27 1.27 1.7 0.25 0.01 0.8 0.16 0.43 0.125 0 32 0.32 0.64 外形寸法 (φmm) 25.4 25.4 25.4x25.4 11 5x5 25.4 25.4 11 25.4 20x20 25.4 25.4 11 25.4 25.4 25.4 25 4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25.4 25 4 25.4 20x20 25.4 25.4 15x15 25.4 25.4 25.4x25.4 25 4 25.4 25.4 材質 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 なし 両面 なし 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 なし 両面 両面 両面 0次光* <3% ** <3% ** 50-200% <3% ** <3% ** --70-130% <3% ** 80-120% 80 120% <3% ** 70-130% 70-130% <3% ** 50-150% 97-103% 97-140% 70-130% 97-103% 97-140% 70-130% <3% ** <3% ** 50-150% <3% ** 97-140% <3% ** <3% ** 80-110% 0-100% 50-150% <3% ** 50-200% 70 130% 70-130% <3% ** 備考 最小入射φ8mm *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 17 Beam Splitting - 2D Beam Splitting - 2D ビーム多分散素子はレーザビームを複数のビームに分散する回折型光学素子です。分岐したそれぞれのビームの 特性はパワーと分散角度を除いては元のレーザビームと同じです。 ビームの分散の方向は1-Dあるいは2-Dパターンが選択可能です。また、ビームを複数に分散する回折型光学素 ビ ムの分散の方向は1 Dあるいは2 Dパタ ンが選択可能です。また、ビ ムを複数に分散する回折型光学素 子と平凸集光レンズを組み合わせたマルチスポット光学素子も提供致します。これらの素子は集光面上に線状ま たは面状に理想的なビームスポットを集光させます。 ●アプリケーション ・レーザ加工、スクライブ ・3D計測 ・レーザディスプレイ ・医療用途 18 Beam Splitting - 2D 標準品_Beam Splitting - 2D 型式 MS-366-A-Y-A MS 366 A Y A MS-259-A-Y-N MS-225-A-Y-N MS-225-A-Y-A MS-225-A-Y-L MS-232-A-Y-L MS-232-A-Y-N MS-232-A-Y-A MS-256-A-Y-L MS 256 A Y L MS-030-A-Y-A MS-256-A-Y-B MS-222-A-Y-A MS-221-A-Y-A MS-256-A-Y-N MS-282-A-Y-A MS-223-A-Y-N MS-223-A-Y-A MS-223-A-Y-L MS-229-X-Y-A MS-249-X-Y-A MS-427-D-Y-A MS-426-D-Y-A MS-239-D-Y-A MS-284-D-Y-N MS-218-D-Y-N MS-218-D-Y-L MS-218-D-Y-A MS-300-D-Y-A MS-219-D-Y-N MS-219-D-Y-A MS-247-D-Y-A MS-280-D-Y-N MS 280 D Y A MS-280-D-Y-A MS-281-D-Y-N MS-281-D-Y-A MS-254-D-Y-A MS-274-D-Y-N MS-273-D-Y-N MS-227-D-Y-A MS-295-D-Y-L MS 295 D Y N MS-295-D-Y-N MS-294-D-Y-N MS-394-D-Y-A MS-393-D-Y-A MS-219-E-Y-A MS-289-G-Y-N MS-289-G-Y-L MS-354-G-Y-A MS-353-G-Y-X MS-410-1-Y-A 波長 分岐数 (nm) 10,600 5x5 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 9x9 10,600 7x7 10,600 2x2 10,600 7x7 10,600 7x7 10,600 7x7 10,600 7x7 10,600 7x7 10,600 7x7 10 600 10,600 7x7 10,600 7x7 10,150 5x5 3,400 9x9 2,940 6x6 2,940 6x6 2,940 9x9 2,940 3x3 2 940 2,940 9x9 2,940 9x9 2,940 9x9 2,940 8x8 2,940 7x7 2,940 7x7 2,940 5x5 2,940 3x3 2 940 2,940 3x3 2,940 9x9 2,940 9x9 2,940 9x9 2,940 9x9 2,940 7x7 2,940 7x7 2,940 9x9 22,940 940 99x9 9 2,940 3x3 2,940 9x9 2,940 9x9 2,790 7x7 1,550 5x5 1,550 5x5 1,550 2x2 1,550 16x16 1,540 18x18 分散角 (°) 10 1.2 1.2 1.2 1.2 1.5 1.5 1.5 1.9 10 1.9 1.9 1.9 1.9 1.9 1.9 19 1.9 1.9 2.9 1.6 2.2 3.2 0.57 1 1 38 1.38 1.38 1.38 1.57 1.9 1.9 2.75 1 1 1.38 1.38 0.57 1.38 1.9 1.94 1.38 11.38 38 1 0.53 1.9 1.84 3.2 3.2 0.73 0.48 0.72 外形寸法 (φmm) 25.4 15 15 15 15 15 15 15 15 25.4 15 15 15 15 15 15 15 15 15 27.94 11 11 11 11 11 11 11 11 11 11 11 19 19 19 19 25.4 25.4 25.4 25.4 19 19 19 11 11 11 11 11 11 12.5 19 材質 ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe ZnSe サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア サファイア ZnSe Z ZnSe S ZnSe サファイア サファイア サファイア FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 0次光* 00-100% 100% 50-100% 50-100% 0-100% 0-50% 0-50% 50-100% 0-100% 00-50% 50% <3% ** >100% 0-100% 0-100% 50-100% 0-100% 50-100% 0-100% 0-50% 0-100% 0-100% <1% ** <1% ** 0-100% 50-100% 50-100% 0-50% 0-100% <3% ** 50-100% 0-100% 0-100% 50-100% 0 100% 0-100% 50-100% 0-100% 0-100% 50-100% 50-100% 0-100% 0-50% 50 50-100% 100% 50-100% 0-100% 0-100% 0-100% 50-100% 0-50% <3% ** 0-250% <3% ** *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 19 Beam Splitting - 2D 標準品_Beam Splitting - 2D 型式 MS-409-1-Y-A MS 409 1 Y A MS-413-1-Y-A MS-412-1-Y-A MS-411-1-Y-A MS-289-X-Y-A MS-270-X-Y-A MS-218-H-Y-A MS-219-H-Y-A MS-220-H-Y-A MS 220 H Y A MS-270-H-Y-A MS-425-I-Y-1 MS-240-I-Y-A MS-261-I-Y-A MS-201-I-Y-A MS-215-I-Y-A MS-224-I-Y-A MS-216-I-Y-A MS-270-I-Y-A MS-211-I-Y-A MS-204-I-Y-A MS-212-I-Y-B MS-212-I-Y-A MS-027-I-Y-N MS-027-I-Y-L MS-377-I-Y-A MS-027-I-Y-A MS-049-I-Y-A MS-025-I-Y-A MS-202-I-Y-A MS-203-I-Y-A MS-290-I-Y-A MS-341-I-Y-A MS 342 I Y A MS-342-I-Y-A MS-289-I-Y-A MS-288-I-Y-A MS-287-I-Y-A MS-286-I-Y-A MS-285-I-Y-A MS-306-I-Y-A MS-305-I-Y-X MS 027 K Y A MS-027-K-Y-A MS-321-K-Y-A MS-027-L-Y-A MS-321-L-Y-A MS-203-1-Y-A MS-267-X-Y-A MS-365-X-Y-A MS-217-X-Y-A MS-328-X-Y-A MS-234-X-Y-A 波長 分散角 外形寸法 分岐数 (nm) (°) (φmm) 1,540 10x10 1.35 19 1,535 64x64 0.7 10x10 10x10 1,535 128x64 0.087x0.047 1,535 128x64 0.23 10x10 1,470 5x5 3 11 1,444 4x4 1.9 11 1,320 9x9 0.62 11 1,320 7x7 0.87 11 1,320 5X5 1.7 11 1,320 4x4 1.74 11 1,064 489spots 0.045 11 1,064 2X2 13.6 11 1,064 3x3 0.57 11 1,064 7X7 0.7 11 1,064 5X5 1 11 1,064 5X5 1.38 11 1 064 1,064 4X4 1 38 1.38 11 1,064 4x4 1.4 11 1,064 7x7 0.19 25.4 1,064 2X2 0.25 25.4 1,064 15x15 0.5 25.4 1,064 15x15 0.5 25.4 1,064 9X9 0.5 25.4 1,064 9X9 0.5 25.4 1 064 1,064 9X9 05 0.5 20 1,064 9X9 0.5 25.4 1,064 7X7 0.7 25.4 1,064 5X5 1 25.4 1,064 4X4 1.38 25.4 1,064 2X2 4 25.4 1,064 5x5 2.61 11 1,064 4x4 0.846 50 1 064 1,064 7x7 14 1.4 11 1,064 5x5 2.2 11 1,064 3x7 1.27x0.423 25.4 1,064 3x5 1.27x0.635 25.4 1,064 3x4 1.27x0.846 25.4 1,064 3x3 1.27 25.4 1,064 5x6 0.635x0.508 25.4 1,064 5x5 0.635 25.4 980 9X9 00.5 5 25 25.4 4 980 5x5 2.98 11 940 9x9 0.45 25.4 940 5x5 2.86 11 935 2X2 3.51 25.4 910 4x4 0.8 25.4 894 2X2 11.4 11 894 5X5 1.63 11 850 19x13 0.76x0.68 9.8x9.8 850 2X2 3.2 25.4 材質 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS AR コーティング 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 両面 0次光* <3% ** <3% ** <3% ** <3% ** 0-100% <3% ** 0-100% 0-100% 00-100% 100% <3% ** 0-250% <3% ** 0-100% 0-100% 0-100% 0-100% <3% ** <3% ** 0-100% <3% ** 0-800% 0-300% 50-100% 0-50% 0-100% 0-100% 0-100% 0-100% <3% ** <3% ** 0-100% <3% ** 0 100% 0-100% 0-100% 0-100% 0-100% <3% ** 0-100% <3% ** 75-125% 00-100% 100% 0-100% 0-100% 0-100% <3% ** <3% ** <3% ** 0-100% ク クロス19x13 <3% ** *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 20 Beam Splitting - 2D 標準品_Beam Splitting - 2D 型式 MS-248-X-Y-A MS 248 X Y A MS-225-M-Y-A MS-277-M-Y-A MS-241-M-Y-A MS-202-M-Y-A MS-238-N-Y-A MS-237-N-Y-A MS-236-N-Y-A MS-235-N-Y-A MS 235 N Y A MS-277-N-Y-A MS-367-1-Y-L MS-367-1-Y-A MS-237-P-Y-A MS-240-P-Y-A MS-267-P-Y-A MS-371-Q-Y-A MS-363-Q-Y-A MS-356-Q-Y-A MS-382-Q-Y-A MS-402-Q-Y-X MS-402-Q-Y-N MS-402-Q-Y-L MS-403-Q-Y-X MS-201-Q-Y-A MS-235-Q-Y-A MS-251-Q-Y-L MS-251-Q-Y-A MS-027-Q-Y-L MS-027-Q-Y-N MS-027-Q-Y-A MS-049-Q-Y-A MS-025-Q-Y-A MS 202 Q Y A MS-202-Q-Y-A MS-203-Q-Y-A MS-246-Q-Y-A MS-367-Q-Y-L MS-241-Q-Y-A MS-289-Q-Y-N MS-340-Q-Y-X MS-287-Q-Y-A MS 375 Q Y A MS-375-Q-Y-A MS-359-Q-Y-A MS-358-Q-Y-X MS-360-Q-Y-A MS-253-S-Y-A MS-277-S-Y-A MS-254-S-Y-A MS-203-U-Y-A MS-203-U-N-A MS-027-U-Y-A 波長 分散角 外形寸法 分岐数 (nm) (°) (φmm) 800 2X2 3 25.4 780 9x9 0.09 11 780 19x19 0.088 25.4 780 8x8 0.8 25.4 780 4X4 1.02 25.4 755 7x7 1.5 11 755 7x7 1.5 11 755 5x5 1.9 11x11 755 5x5 1.9 11 755 19x19 0.085 25.4 660 21x21 0.056 11 660 21x21 0.056 11 633 7x7 1.26 11 633 2X2 8.06 11 633 4x4 0.8 25.4 532 101x101 12 6x6 532 101x101 20 10x10 532 12 1.52 25.4 532 2X2 3.8 25.4 532 11x11 0.16 11 532 11x11 0.16 11 532 11x11 0.16 11 532 11x11 0.16 11 532 7x7 0.35 11 532 5x5 1 35 1.35 11 532 7x7 0.095 25.4 532 7x7 0.095 25.4 532 9X9 0.25 25.4 532 9X9 0.25 25.4 532 9X9 0.25 25.4 532 7X7 0.35 25.4 532 5X5 0.5 25.4 532 4X4 0 69 0.69 25 4 25.4 532 2X2 2 25.4 532 29x29 0.7 25.7x25.7 532 21x21 0.045 11 532 8x8 0.55 25.4 532 5x5 1.1 11 532 21x21 0.04x0.04 11 25.4 532 3x5 0.635x0.318 532 10 10x10 10 00.034 034 25 25.4 4 532 11x11 0.05 11 532 9x9 0.55 11 532 99x99 0.05 11 405 4x4 0.53 11 405 19x19 0.046 25.4 405 9x9 0.079 25.4 355 2x2 1.33 25.4 355 2x2 1.33 25.4 355 9X9 0.18 25.4 材質 FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS FS サファイア FS FS FS AR 0次光* コーティング 両面 <3% ** 両面 0-100% 両面 0-500% 両面 <3% ** 両面 <3% ** 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 00-100% 100% 両面 0-500% 両面 0-50% 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 <3% ** 両面 <3% ** 両面 ランダムパターン 両面 ランダムパターン 両面 円パターン 両面 <3% ** 両面 50-200% 両面 50-100% 両面 0-50% 両面 50-200% 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 0-50% 両面 0-100% 両面 >100% 両面 50-100% 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 0-100% 両面 <3% ** 両面 <3% ** 両面 0-1000% 両面 0-50% 両面 <3% ** 両面 50-100% 両面 50-400% 両面 0-100% 両面 00-100% 100% 両面 0-100% 両面 0-150% 両面 --両面 <3% ** 両面 0-500% 両面 0-100% なし <3% ** なし <3% ** 両面 0-100% *0次光と他との強度 **0次光と入射ビームの強度 21 Diffractive Axicon / Multi Circles - DOE Diffractive Axicon 型式 DA-004-I-Y-A DA 004 I Y A DA-003-I-Y-A DA-002-Q-Y-A DA-001-Q-Y-A 波長 (nm) 1064 1064 532 532 88.11 0.3 15.3 31 外径 (mm) 25.4 25 4 25.4 7.25x7.25 7.25x7.25 拡散角度 材質 AR コーティング FS FS FS FS 両面 両面 両面 両面 Multi Circles 型式 波長 (nm) 個数(リング) 拡散角度 外径 (mm) 材質 AR コーティング MC-006-I-Y-A MC-005-I-Y-A MC-017-1-Y-A 1064 1064 808 2 2 12 1 83 1.83 3.66 5.9 11 11 11 FS FS FS 両面 両面 両面 22
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