FPD露光装置 FX-101S FX-101Sは第10世代の超大型プレートサイズに対応 FX-101Sは第10世代の超大型プレートサイズに対応 FPD露光装置 FX-101S FXシリーズの特長である高スループット・高解像度・高精度アライメントを超大型プレートサイズにおいても実現し、高性能・高品位TV用パネルの量産に対応いたします。また、第11世代プレートサイズにも改造で対応可能です。特長 ●マルチレンズ投影光学系を搭載実績のあるニコン独自のマルチレンズ投影光学系の搭載により、他方式では困難な広い露光領域を実現すると同時に、高解像度を達成しています。 ●高スループット広い露光領域と高速ステージにより、超大型プレートサイズにおいても高いスループットを実現しています。露光領域は一回のスキャン露光で60インチワイドパネルを 2面焼き付けることが可能です。 2,880 mm × 3,130 mmプレートサイズの場合： ●高解像度解像度は、マルチレンズ投影光学系とニコン独自のフォーカス制御システムにより、プレート全面で3 μｍ（L/S時）の高解像度を実現。 ●高精度アライメント多点同時アライメントの採用と高精度ステージにより、アライメント精度±0.6 μm以下を実現。、毎時270枚（65インチワイドパネル）毎時410枚（60インチワイドパネル）毎時810枚（40インチワイドパネル） Performance 解像度（L/S）（切替可） 3.5 µm (g+h+i-line)、3.0 µm (i-line) (option) 投影倍率 1:1 アライメント精度 ≦ ±0.6 µm 2,880 × 3,130 mm （第11世代プレートサイズに改造可能）プレートサイズ 70 sec/plate Conditions: 4 scans, g+h+i-line, 30 mJ/cm2 タクトタイムレーザ光ビームをのぞきこまないこと Max. 1mW CW He-Ne 633nm クラス2 レーザ製品安全に関するご注意ご注意 ■ご使用の前に「使用説明書」をよくお読みの上、正しくお使いください。本カタログに掲載した製品および製品の技術（ソフトウェアを含む）は「外国為替および外国貿易法」に定める規制貨物等（特定技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取りください。・このカタログは2014年11月現在のものです。仕様と製品は、製造者側がなんら債務を被ることなく予告なしに変更されます。・このカタログに掲載の会社名及び商品名は各社の商標または登録商標です。 ©2014 NIKON CORPORATION http://www.nikon.co.jp/pec FPD装置事業部営業部 108-6290 東京都港区港南2-15-3 品川インターシティ C棟電話（03）6433-3641 株式会社ニコンテック 140-0012 東京都品川区勝島1-5-21 東神ビル電話（03）5762-8911