コヒレント社製 微細加工用パルス&Q-CW レーザ 仕様一覧 (波長:355/532 nm) 一覧表は2014年11月作成時の内容になります。 波長 モデル名 保証平均出力 標準パルス エネルギー 注3) パルス幅 動作可能周波数 基本保証 Flare 355-0.3-10 0.3 mW @ 10 Hz 30 μJ 1.4 ns 10 Hz 固定 1 x 109 shot (15ヶ月) Flare 355-35-500 35 mW @ 500 Hz 70 μJ 1.4 ns 500 Hz 固定 9 1 x 10 shot (15ヶ月) Flare 355-30-1000 30 mW @ 1000 Hz 30 μJ 2.1 ns 1000 Hz 固定 1 x 109 shot (15ヶ月) MATRIX 355-0.5-60 0.5W @ 60 kHz 8 μJ <30 ns @ 60 kHz 50 kHz ~ 100 kHz 18ヶ月(10000時間) MATRIX 355-1-60 1W @ 60 kHz 16 μJ <25 ns @ 60 kHz 50 kHz ~ 100 kHz 18ヶ月(10000時間) MATRIX 355-1.5-70 1.5W @ 70 kHz 21 μJ <30 ns @ 70 kHz 50 kHz ~ 100 kHz 18ヶ月(10000時間) MATRIX 355-5-50 5W @ 50 kHz 100 μJ 30 ns ~ 150 kHz 14ヶ月(10000時間) AVIA NX 355-10 10W @ 100 kHz 100 μJ <30 ns @ ~100 kHz 1 shot ~ 200 kHz 12ヶ月(時間無制限) AVIA NX 355-20 20W @ 100 kHz 200 μJ <30 ns @ ~100 kHz 1 shot ~ 250 kHz 12ヶ月(時間無制限) AVIA NX 355-40 40W @ 130 kHz 308 μJ <35 ns @ ~130 kHz 1 shot ~ 300 kHz 12ヶ月(時間無制限) AVIA 355-5 5W @ 50 kHz 100 μJ <20 ns @ 60 kHz 1 shot ~ 150 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-5-100 2.5W @ 100 kHz 25 μJ <30 ns @ 100 kHz 1 shot ~ 150 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-7 7W @ 60 kHz 117 μJ <35 ns @ 60 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-10 10W @ 60 kHz 167 μJ <35 ns @ 60 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-14 14W @ 100 kHz 140 μJ <40 ns @ 100 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-23 23W @ 90 kHz 255 μJ <40 ns @ 90 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) 24ヶ月(10000時間) 355 nm AVIA 355-23-250 注1) 8.8W @ 250 kHz 35 μJ <75 ns @ 250 kHz 1 shot ~ 400 kHz AVIA 355-28 28W @ 110 kHz 255 μJ <40 ns @ 110 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 355-33 33W @ 110 kHz 300 μJ <40 ns @ 110 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) Paladin Compact 355-2000 2W @ 120 MHz 16 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 120 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Paladin Compact 355-4000 4W @ 120 MHz 33 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 120 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Paladin Advanced 355-8000 8W @ 80 MHz 100 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 80 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Paladin Advanced 355-10000 10W @ 80 MHz 125 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 80 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Paladin Advanced 355-16000 16W @ 80 MHz 200 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 80 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Paladin Advanced 355-24000 24W @ 82 MHz 293 nJ 15 ps ( @ 1064 nm typ.) 82 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Talisker Ultra 355-4 4W @ 200 kHz 20 μJ <15 ps 1 shot ~ 200 kHz 12ヶ月(5000時間) Talisker 1000 355-10 10W @ 1 MHz 20 μJ @ 500 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) Talisker HE 355-2 2W @ 50 kHz 30 μJ <15 ps 50 kHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID 355 1.5W @ 200 kHz 7.5 µJ @ 200 kHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(4000時間) RAPID 10-355 2.7W @ 100 kHz 27 µJ @ 100 kHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(4000時間) HYPER RAPID 25 9W @ 500 kHz 18 µJ <15 ps 200 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(4000時間) HYPER RAPID 50 16W @ 500 kHz 40 µJ <15 ps 400 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(4000時間) SUPER RAPID-HE 2.5W @ 200 kHz 20 µJ @ 50 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(4000時間) Flare 532-40-100 40 mW @ 100 Hz 400 μJ 2 ns 100 Hz 固定 2 x 109 shot (15ヶ月) Helios 532-1-50 1W @ 50 kHz >20 μJ <0.69 ns 1 shot ~ 70 kHz 15ヶ月(8000時間) Helios 532-1.5-50 1.5W @ 50 kHz >30 μJ <0.69 ns 1 shot ~ 70 kHz 15ヶ月(8000時間) Helios 532-3-50 3W @ 50 kHz >60 μJ <0.69 ns 1 shot ~ 70 kHz 15ヶ月(8000時間) MATRIX 532-7-30 7W @ 30 kHz 233 μJ <20 ns @ 30 kHz 1 shot ~ 100 kHz 18ヶ月(10000時間) MATRIX 532-8-100 8W @ 100 kHz 80 μJ <35 ns @ 100 kHz 1 shot ~ 200 kHz 18ヶ月(10000時間) MATRIX 532-14-40 14W @ 40 kHz 350 μJ <20 ns @ 40 kHz 1 shot ~ 200 kHz 18ヶ月(10000時間) Evolution-15 注2) 15W @ 5 kHz <300 ns @ 1 kHz 1 kHz ~ 10 kHz 12ヶ月(5000時間) Evolution-30 注2) 30W @ 5 kHz <250 ns @ 1 kHz 1 kHz ~ 10 kHz 12ヶ月(5000時間) Evolution-HE 注2) 45W @ 1 kHz 45 mJ @ 1 kHz <150 ns @ 1 kHz 1 kHz 12ヶ月(5000時間) AVIA 532-23 23W @ 100 kHz 280 μJ <40 ns @ 100 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) 532 nm AVIA 532-30 (or 527 AVIA 532-38 nm) 30W @ 120 kHz 250 μJ <60 ns @ 120 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) 38W @ 120 kHz 316 μJ <60 ns @ 120 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) AVIA 532-45 45W @ 120 kHz 375 μJ <60 ns @ 120 kHz 1 shot ~ 300 kHz 24ヶ月(10000時間) Paladin Advanced 532-20000 20W @ 80 MHz 250 nJ 10 ps 80 MHz 固定 12ヶ月(5000時間) Talisker Ultra 532-8 8W @ 200 kHz 40 μJ <15 ps 1 shot ~ 200 kHz 12ヶ月(5000時間) Talisker 1000 532-15 15W @ 1MHz 30 μJ @ 500 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) Talisker HE 532-6 6W @ 50 kHz 100 μJ <15 ps 50 kHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID 532 2.5W @ 500 kHz 5 µJ @ 500 kHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID 10-532 4.3W @ 400 kHz 10 µJ @ 400 kHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) HYPER RAPID 25 -532 15W @ 200 kHz 75 µJ @ 200 kHz <15 ps 200 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) HYPER RAPID 50 -532 25W @ 200 kHz 63 µJ @ 400 kHz <15 ps 400 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) 163 µJ @ 400 kHz注4) / 150 µJ @ 400 kHz注5) <15 ps 400 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) 100 µJ @ 10 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) 12 mJ @ 1 kHz 3 mJ @ 5 kHz 20 mJ @ 1 kHz 6 mJ @ 5 kHz 注4) HYPER RAPID 100 -532 65W @ 500 kHz SUPER RAPID-HE 3.5W @ 200 kHz ● ビームモード(空間モード)は、“TEM00”シングル・モード。 注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。 注2) Evolutionのビームモードのみ、マルチモード。 注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。 / 60W @ 500 kHz 注5) 注4) プロセスシャッターなし 注5) プロセスシャッターあり ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 ※本表に記載のない特殊条件(繰返周波数、パルスエネルギー)に関しては別途お問合わせください。 コヒレント社製 微細加工用パルス&Q-CW レーザ 仕様一覧 (波長:1030/1064 nm/9 µm/10 µm ) 波長 モデル名 保証平均出力 1064 nm Helios 1064-2.5-50 標準パルス エネルギー 注3) パルス幅 動作可能周波数 基本保証 注1) 2.5W @ 50 kHz 50 μJ <0.79 ns 1 shot ~ 70 kHz 15ヶ月(8000時間) Helios 1064-5-50 5W @ 50 kHz 100 μJ <0.69 ns 1 shot ~ 70 kHz 15ヶ月(8000時間) Flare 1064-50-50 50 mW @ 50 Hz 1 mJ 2 ns 50 Hz 固定 2 x 109 shot (15ヶ月) MATRIX 1064-10-30 10W @ 30 kHz 333 μJ <40 ns @ 30 kHz 1 shot ~ 100 kHz 24ヶ月(時間無制限) Talisker Ultra 1064-16 16W @ 200 kHz 80 μJ <15 ps 1 shot ~ 200 kHz 12ヶ月(5000時間) Talisker 1000 1064-25 25W @ 1 MHz 50 μJ @ 500 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) Talisker HE 1064-10 10W @ 50 kHz >180 μJ <15 ps 50 kHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID NX 7W @ 1 MHz 50 µJ @ 50 kHz 10 - 15 ps 50 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID 1064 6W @ 1 MHz 10 µJ @ 500 kHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) RAPID 10-1064 10W @ 1 MHz 10 µJ @ 1 MHz <10 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) HYPER RAPID 25 -1064 25W @ 1 MHz 125 µJ @ 200 kHz <15 ps 200 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) HYPER RAPID 50 -1064 50W @ 1 MHz 125 µJ @ 200 kHz <15 ps 400 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) 250 µJ @ 400 kHz注4) / 225 µJ @ 400 kHz注5) <15 ps 400 kHz ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) 200 µJ @ <10 kHz <15 ps 1 shot ~ 1 MHz 12ヶ月(時間無制限) HYPER RAPID 100 -1064 100W @ 1 MHz SUPER RAPID-HE 10W @ 1 MHz DIAMOND C-20 20W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-30 30W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-30 (9.3 μm) 17W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-30 (10.2 μm) 30W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-40 40W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-40 (10.2μm) 40W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-55 55W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-55 (9.3 μm) 40W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND C-70 70W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND GEM-100 100W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND GEM-100L (9.6 μm) 80W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月(時間無制限) 100W (CW) - 右記制限内で可変可能 CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月(時間無制限) 9 μm DIAMOND GEM-100L (10.2μm) / 10 μm DIAMOND G-100 注4) 注5) / 90W @ 1 MHz 100W @ 1 kHz, 60% duty 200 mJ (typ.) 3 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND G-100i (9.4 μm) 100W @ 1 kHz, 60% duty 200 mJ (typ.) 3 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND K-225i (9 μm) 225W @ 1 kHz, 60% duty 450 mJ (typ.) 3 μs ~ 1 ms可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND K-250 250W @ 1 kHz, 60% duty 500 mJ (typ.) 3 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND K-300 300W @ 1 kHz, 60% duty 600 mJ (typ.) 3 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 12ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-150 150W @ 1 kHz, 60% duty 315 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-250 250W @ 10 kHz, 60% duty 500 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 200 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-250i 225W @ 10 kHz, 60% duty 450 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 200 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-400i (9.4 μm) 350W @ 1 kHz, 40% duty 875 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 100 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-400 400W @ 0.6~200 kHz, 60% duty 800 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 200 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-400CL2(パワーループ) 400W @ 1~100 kHz, 60% duty 800 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 kHz ~ 100 kHz 24ヶ月(時間無制限) DIAMOND E-1000 1000W @ 0.6~200 kHz, 60% duty 2000 mJ (typ.) 2 μs ~ 1 ms 可変(Duty 60%以下) 1 shot ~ 200 kHz 24ヶ月(時間無制限) ● ビームモード(空間モード)は、“TEM00”シングル・モード。 ● CO2のパルス幅可変範囲はパルス・モジュレーション範囲の意味。 注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。 注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。 注4) プロセスシャッターなし 注5) プロセスシャッターあり ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 ※本表に記載のない特殊条件(繰返周波数、パルスエネルギー)に関しては別途お問合わせください。 コヒレント・ジャパン株式会社 www.coherent.co.jp 東京本社 Tel. 03‐5635‐8700 Fax. 03‐5635‐8681 大阪支店 Tel. 06‐6350‐7670 Fax. 06‐6350‐7671
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