コヒレント社製微細加工用パルス＆Q-CW レーザ

コヒレント社製微細加工用パルス＆Q-CW レーザ仕様一覧 (波長：355/532 nm)
一覧表は2014年11月作成時の内容になります。
波長
モデル名
保証平均出力
標準パルス
エネルギー　注3)
パルス幅
動作可能周波数
基本保証
Flare 355-0.3-10
0.3 mW @ 10 Hz
30 μJ
1.4 ns
10 Hz 固定
1 x 109 shot （15ヶ月）
Flare 355-35-500
35 mW @ 500 Hz
70 μJ
1.4 ns
500 Hz 固定
9
1 x 10 shot （15ヶ月）
Flare 355-30-1000
30 mW @ 1000 Hz
30 μJ
2.1 ns
1000 Hz 固定
1 x 109 shot （15ヶ月）
MATRIX 355-0.5-60
0.5W @ 60 kHz
8 μJ
＜30 ns @ 60 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-1-60
1W @ 60 kHz
16 μJ
＜25 ns @ 60 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-1.5-70
1.5W @ 70 kHz
21 μJ
＜30 ns @ 70 kHz
50 kHz ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 355-5-50
5W @ 50 kHz
100 μJ
30 ns
～ 150 kHz
14ヶ月（10000時間）
AVIA NX 355-10
10W @ 100 kHz
100 μJ
<30 ns @ ～100 kHz
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 355-20
20W @ 100 kHz
200 μJ
<30 ns @ ～100 kHz
1 shot ～ 250 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA NX 355-40
40W @ 130 kHz
308 μJ
<35 ns @ ～130 kHz
1 shot ～ 300 kHz
12ヶ月（時間無制限）
AVIA 355-5
5W @ 50 kHz
100 μJ
＜20 ns @ 60 kHz
1 shot ～ 150 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-5-100
2.5W @ 100 kHz
25 μJ
＜30 ns @ 100 kHz
1 shot ～ 150 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-7
7W @ 60 kHz
117 μJ
＜35 ns @ 60 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-10
10W @ 60 kHz
167 μJ
＜35 ns @ 60 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-14
14W @ 100 kHz
140 μJ
＜40 ns @ 100 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-23
23W @ 90 kHz
255 μJ
＜40 ns @ 90 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
24ヶ月（10000時間）
355 nm AVIA 355-23-250
注１)
8.8W @ 250 kHz
35 μJ
＜75 ns @ 250 kHz
1 shot ～ 400 kHz
AVIA 355-28
28W @ 110 kHz
255 μJ
＜40 ns @ 110 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 355-33
33W @ 110 kHz
300 μJ
＜40 ns @ 110 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
Paladin Compact 355-2000
2W @ 120 MHz
16 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
120 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Compact 355-4000
4W @ 120 MHz
33 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
120 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-8000
8W @ 80 MHz
100 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-10000
10W @ 80 MHz
125 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-16000
16W @ 80 MHz
200 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Paladin Advanced 355-24000
24W @ 82 MHz
293 nJ
15 ps ( @ 1064 nm typ.)
82 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Talisker Ultra 355-4
4W @ 200 kHz
20 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 355-10
10W @ 1 MHz
20 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 355-2
2W @ 50 kHz
30 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID 355
1.5W @ 200 kHz
7.5 µJ @ 200 kHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（4000時間）
RAPID 10-355
2.7W @ 100 kHz
27 µJ @ 100 kHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（4000時間）
HYPER RAPID 25
9W @ 500 kHz
18　µJ
<15 ps
200 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（4000時間）
HYPER RAPID 50
16W @ 500 kHz
40 µJ
<15 ps
400 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（4000時間）
SUPER RAPID-HE
2.5W @ 200 kHz
20 µJ @ 50 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（4000時間）
Flare 532-40-100
40 mW @ 100 Hz
400 μJ
2 ns
100 Hz　固定
2 x 109 shot （15ヶ月）
Helios 532-1-50
1W @ 50 kHz
>20 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Helios 532-1.5-50
1.5W @ 50 kHz
>30 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Helios 532-3-50
3W @ 50 kHz
>60 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
MATRIX 532-7-30
7W @ 30 kHz
233 μJ
＜20 ns @ 30 kHz
1 shot ～ 100 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 532-8-100
8W @ 100 kHz
80 μJ
＜35 ns @ 100 kHz
1 shot ～ 200 kHz
18ヶ月（10000時間）
MATRIX 532-14-40
14W @ 40 kHz
350 μJ
＜20 ns @ 40 kHz
1 shot ～ 200 kHz
18ヶ月（10000時間）
Evolution-15　注2)
15W @ 5 kHz
＜300 ns @ 1 kHz
1 kHz ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
Evolution-30　注2)
30W @ 5 kHz
＜250 ns @ 1 kHz
1 kHz ～ 10 kHz
12ヶ月（5000時間）
Evolution-HE　注2)
45W @ 1 kHz
45 mJ @ 1 kHz
＜150 ns @ 1 kHz
1 kHz
12ヶ月（5000時間）
AVIA 532-23
23W @ 100 kHz
280 μJ
＜40 ns @ 100 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
532 nm AVIA 532-30
(or 527
AVIA 532-38
nm)
30W @ 120 kHz
250 μJ
＜60 ns @ 120 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
38W @ 120 kHz
316 μJ
＜60 ns @ 120 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
AVIA 532-45
45W @ 120 kHz
375 μJ
＜60 ns @ 120 kHz
1 shot ～ 300 kHz
24ヶ月（10000時間）
Paladin Advanced 532-20000
20W @ 80 MHz
250 nJ
10 ps
80 MHz 固定
12ヶ月（5000時間）
Talisker Ultra 532-8
8W @ 200 kHz
40 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 532-15
15W @ 1MHz
30 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 532-6
6W @ 50 kHz
100 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID 532
2.5W @ 500 kHz
5 µJ @ 500 kHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID 10-532
4.3W @ 400 kHz
10 µJ @ 400 kHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HYPER RAPID 25 -532
15W @ 200 kHz
75 µJ @ 200 kHz
<15 ps
200 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HYPER RAPID 50 -532
25W @ 200 kHz
63 µJ @ 400 kHz
<15 ps
400 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
163 µJ @ 400 kHz注4)
/ 150 µJ @ 400 kHz注5)
<15 ps
400 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
100 µJ @ 10 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
12 mJ @ 1 kHz
3 mJ @ 5 kHz
20 mJ @ 1 kHz
6 mJ @ 5 kHz
注4)
HYPER RAPID 100 -532
65W @ 500 kHz
SUPER RAPID-HE
3.5W @ 200 kHz
● ビームモード（空間モード）は、“TEM00”シングル・モード。
注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。
注2) Evolutionのビームモードのみ、マルチモード。
注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。
/ 60W @ 500 kHz
注5)
注4) プロセスシャッターなし
注5) プロセスシャッターあり
※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
※本表に記載のない特殊条件（繰返周波数、パルスエネルギー）に関しては別途お問合わせください。
コヒレント社製微細加工用パルス＆Q-CW レーザ仕様一覧 (波長：1030/1064 nm/9 µm/10 µm )
波長
モデル名
保証平均出力
1064 nm Helios 1064-2.5-50
標準パルス
エネルギー　注3)
パルス幅
動作可能周波数
基本保証
注１)
2.5W @ 50 kHz
50 μJ
＜0.79 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Helios 1064-5-50
5W @ 50 kHz
100 μJ
＜0.69 ns
1 shot ～ 70 kHz
15ヶ月（8000時間）
Flare 1064-50-50
50 mW @ 50 Hz
1 mJ
2 ns
50 Hz 固定
2 x 109 shot （15ヶ月）
MATRIX 1064-10-30
10W @ 30 kHz
333 μJ
＜40 ns @ 30 kHz
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
Talisker Ultra 1064-16
16W @ 200　kHz
80 μJ
<15 ps
1 shot ～ 200 kHz
12ヶ月（5000時間）
Talisker 1000 1064-25
25W @ 1 MHz
50 μJ @ 500 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
Talisker HE 1064-10
10W @ 50 kHz
>180 μJ
<15 ps
50 kHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID NX
7W @ 1 MHz
50 µJ @ 50 kHz
10 - 15 ps
50 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID 1064
6W @ 1 MHz
10 µJ @ 500 kHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
RAPID 10-1064
10W @ 1 MHz
10 µJ @ 1 MHz
<10 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HYPER RAPID 25 -1064
25W @ 1 MHz
125 µJ @ 200 kHz
<15 ps
200 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HYPER RAPID 50 -1064
50W @ 1 MHz
125 µJ @ 200 kHz
<15 ps
400 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
250 µJ @ 400 kHz注4)
/ 225 µJ @ 400 kHz注5)
<15 ps
400 kHz ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
200 µJ @ <10 kHz
<15 ps
1 shot ～ 1 MHz
12ヶ月（時間無制限）
HYPER RAPID 100 -1064
100W @ 1 MHz
SUPER RAPID-HE
10W @ 1 MHz
DIAMOND C-20
20W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30
30W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30 (9.3 μm)
17W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-30 (10.2 μm)
30W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-40
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-40 (10.2μm)
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-55
55W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-55 (9.3 μm)
40W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND C-70
70W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND GEM-100
100W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND GEM-100L (9.6 μm)
80W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月（時間無制限）
100W (CW)
-
右記制限内で可変可能
CW, もしくは ≦25 kHz 12ヶ月（時間無制限）
9 μｍ DIAMOND GEM-100L (10.2μm)
/ 10 μｍ DIAMOND G-100
注4)
注5)
/ 90W @ 1 MHz
100W @ 1 kHz, 60% duty
200 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND G-100i (9.4 μm)
100W @ 1 kHz, 60% duty
200 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND K-225i (9 μm)
225W @ 1 kHz, 60% duty
450 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND K-250
250W @ 1 kHz, 60% duty
500 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND K-300
300W @ 1 kHz, 60% duty
600 mJ (typ.)
3 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下） 1 shot ～ 100 kHz
12ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-150
150W @ 1 kHz, 60% duty
315 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-250
250W @ 10 kHz, 60% duty
500 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-250i
225W @ 10 kHz, 60% duty
450 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400i (9.4 μm)
350W @ 1 kHz, 40% duty
875 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400
400W @ 0.6～200 kHz, 60% duty
800 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-400CL2(パワーループ）
400W @ 1～100 kHz, 60% duty
800 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 kHz ～ 100 kHz
24ヶ月（時間無制限）
DIAMOND E-1000
1000W @ 0.6～200 kHz, 60% duty
2000 mJ (typ.)
2 μs ～ 1 ms 可変（Duty 60%以下）
1 shot ～ 200 kHz
24ヶ月（時間無制限）
● ビームモード（空間モード）は、“TEM00”シングル・モード。
● CO2のパルス幅可変範囲はパルス・モジュレーション範囲の意味。
注1) 時間制限がある場合には、使用時間もしくは期間のいずれか早い方。
注3) 標準パルスエネルギーは、基準周波数動作における換算値です。
注4) プロセスシャッターなし
注5) プロセスシャッターあり
※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
※本表に記載のない特殊条件（繰返周波数、パルスエネルギー）に関しては別途お問合わせください。
コヒレント・ジャパン株式会社
www.coherent.co.jp
東京本社 Tel. 03‐5635‐8700 Fax. 03‐5635‐8681
大阪支店 Tel. 06‐6350‐7670 Fax. 06‐6350‐7671

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