Superior Reliability & Performance 高出力、小型全固体ナノ秒 UVレーザ AVIA NX AVIA NX 仕様 注1) 355-40 355-20 出力およびエネルギー 繰返周波数 (シングルショット~) kHz ns パルス幅 40W, 308 µJ @ 130 kHz 20W, 200 µJ @ 100 kHz 10W, 100 µJ @ 100 kHz 300 250 200 < 30 @ 100 kHz < 35 @ 130 kHz TEM00, M2 <1.3 空間モード ビーム拡がり角 mrad ビーム径(1/e2) mm <0.2 3.50 ±0.35 ±25% of Rayleigh Range @ 出力ポート ビームウェスト位置 非点収差 % ±30 ビーム真円度 % >85 >100:1 偏光（消光比） 垂直, ±3° 偏光方向 <25 µrad / ℃ ビーム位置安定性 パルスエネルギー安定性 % rms 出力安定性 (2σ) % rms ウォームアップタイム 長期ビーム位置安定性 ( >8h) <5 <2 コールドスタートより： <45 分 ウォームスタートより： <15 ±25 (一定の繰返周波数設定において） μrad kg レーザヘッド重量 (結露なきこと） 輸送時 21.5 22.2 RS-232, Ethernet, USB 外部接続 VAC 消費電力 動作温度 355-10 354.7 nm 中心波長 100 ~ 240, <700W 100 ~ 240, <500W ℃ +10 ~ 35°C 電源 ℃ +10 ~ 5°C 非動作時（保管時） ℃ 20 ~ +50° 温度 ℃ -20 ~ +60°C 湿度 % 5 ~ 80 レーザヘッド 注1） 最適な繰返周波数にて計測。 ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 コヒレント･ジャパン株式会社
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