マルチスキャンQアンドA2014 ㈱プラズマテック 始めに 弊社のマルチスキャン「とかし込み君」について、よくお問い合わせいただく事柄をQアンドAに してみました。 本編はバージョンアップを重ねてきた「とかし込み君」の最新バージョン4.00に関する事柄も 含んで改訂いたしました。 ユーザー様の一助になれば幸いです。 Q:マルチスキャンとは何?、何のために使うの? A:マルチスキャンは電子ビームを熱源とした真空蒸着において、蒸発材料面の平坦を維持して有効 利用するために2003年に弊社が開発し、2008年5月に特許(特許第4120217号)が認 められた電子ビームのスキャン制御方法です。 技術の骨子は電子ビームを振る波形上の速度を任意に設計して、結果的に材料の蒸発溶融面を安定 に保つことです。 弊社はこれを波形設計ソフト「とかし込み君」と波形発振部を組み合わせて、 「マルチスキャン」 として商品化して提供しております。 ※英語表示のソフト「ScanMate」も一緒に提供しております。 Q:マルチスキャンを使用するには何が必要? A:基本的にパソコン、波形発生器、マルチスキャンソフト「とかし込み君」が必要です。 波形発生器には電源に内蔵されているものと、従来機用の外付けタイプがあります。 又、初期のタイプ(Version2.0)ではROMライタが必要な物もあります。 Q:「とかし込み君」にはどんなバージョンがあるの? A:ソフト「とかし込み君」と波形発生器はバージョンアップを重ねて次のようになっています。 ○印は対応 リリース年とバージョン 「とかし込み君」 MS-201A,B 内蔵 MS or MS-201C (ROM ライタ要) (Version 3.00) 2003年 1.01 ○ 2004年 2.10 ○ 2006年 3.00 ○※ 2007年 3.01 ○※ D-102DvⅡ 「Dv Pattern Maker」 (「とかし込み君」3.01相当のD-102DvⅡ電源用バージョン) 2007年 2.01 ○※ 4.00 ◎Version4.00 ○※ ・ 2014年 ※最新の波形発生器にはROMライタは不要です。 注)バージョン4.00はそれ以前の3.00~バージョンの機能もサポートしています。 次頁参照 資料: 「とかし込み君」バージョン4.00と発振基板のバージョンとの関係 現在のところ発振基板には従来のバージョン3.00と、本バージョン対応以降のバージ ョン4.00とがあります。 バージョン4.00と発振基板の組み合わせによっては、使用出来ない機能があります。 以下に使用可能な組み合わせの関係を示します。 「とかし込み君」機能 発振基板 Ver.4.00 ROMバックアップ 発振基板 Ver.3.00 ○ ○ 復元機能 ○ ○ 元波形の利用 ○ ○ XYスキャン設定 ○ ○ 周波数指定 ○ × ○ ○ ○ × ローテーション機能 ○ × 位置確認機能 ○ ○ 範囲形状指定 ○ × チルト設定 ○ × ヘリカルスキャン設定 周波数指定 Q:「とかし込み君」を動作させるパソコンの条件は? A:シリアル(RS-232C)ポート付きで、OSは Windows98SE/Me/XP/7 のもので動作が 確認されています。(XP/7については別途VBランタイムライブラリもセットアップ必要) ※シリアルポートの無いパソコンでもUSB-シリアルアダプタを使用すれば使用可能です。 (この場合、アダプタのCOMポート番号を調べて設定する必要があります。) Q:COMポートの番号はどうやって判るの? A:パソコンにシリアルアダプタが装着された状態で Windows から調べます。 (マイコンピュータ) システム → → コントロールパネル ハードウェア → → (パフォーマンス) デバイスマネージャ → とたどればポートのところにC OM番号が表示されています。 パソコン内臓は一般的にCOM1ですが、USB変換アダプタでは使用するUSBポートに よって番号が変わってきます。 「とかし込み君」のバージョンによってはCOM4までしかサポートしていないものもあり ます。この場合は4までにして下さい。 [どうしてもCOM番号が合わないは弊社にご相談下さい。] Q:「とかし込み君」のCOM:ポート番号の設定はどうするの? A:バージョン3.10以降では「とかし込み君」のメイン画面で設定します。 それ以前のバージョンについては次のように設定します。 「とかし込み君」の機能設定画面にてCOMポートを選択してOK→Endで変更されます。 機能設定画面はメイン画面でタイトル枠内のカラーボックスを 黒 赤 白 緑、緑、黒、水色、茶、白、赤 緑 水 茶 の順にクリックすると Set_Up ボタンが表れるのでクリック、さらに で表示される ID を plzscan121 と入力して Continue Q:パターン設定画面にP1とかP2とかあるのは何? A:波形を作成する時の目安マークで、基本的にはP1を手前P2を奥として考えます。 但し、EB1とEB2によっても、又、波形発生ユニットの違いによっても変わる場合もあ りますので、実際と合致しているか事前に確かめておきます。 もし、実物が反対ならば波形の設定前に反転して書き込むようにします。 ※バージョン3.11以降はこの基準点設定を済ませておけば、書き込み時に自動で極性処理 が行われます。 Q:取り扱い上の注意点は? A: ○ 波形設定時は必ず ACC オフで行って下さい。 ○ 波形設定後は通信ケーブルを外して下さい。 ○ PROMタイプではROMの抜き差しは必ず電源を切って行って下さい。 又、ROMの方向は事前に確認して下さい。 Q:セットアップについての注意点は? A: 提供CDによる「とかし込み君」のセットアップは XP 以降では機能しませんので、次の様に して下さい。 1.Visual Basic ランタイムライブラリのセットアップを行う。 vb6sp6rt フォルダの SetUp を実行する(version3.11 まで) XTRM Runtime フォルダの xrun_setup.exe を実行する(version4.00) 2.フォルダ 「とかし込み君」 を丸ごとコピーする フォルダ内の MultiScan210.exe が「とかし込み君」プログラムなのでショートカット 等を作成しておく。 3.「とかし込み君」を起動し、初期設定を行う。 注意! 「とかし込み君」 「ScanMate」は日本語 Windows に対応しています。それ以外の 言語では文字化けが起きることがありますので注意して下さい。
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