DIAMOND Eシリーズの製品仕様表

Superior Reliability & Performance
次世代型 RF電源一体型メタルシールド CO 2レーザ　【高中出力モデル（150～1000W ）】
DIAMOND E シリーズ
仕様
注１)
発振波長
μm
定格出力
W
出力レンジ
W
最大有効ピークパワー
W
注9)
パルス立下時間　出力安定度
パワーループ設定に要する時間
注8)
2
ビームウェスト径(1/e )
注8)
ビーム拡がり角(全角）
150
注2)
20～150
375
50
%
±7
-
ms
2
ビーム径(1/e2)
E-250
10.6±0.4
μs
M
mm
モード品質
E-150
10.2～10.8
注3)
注5)
≥250
E-400
400
注3)
≥ 750
< 60
注5, 14)
±6
注15）
mm
2.2 （典型）
mrad
6.6 （典型）
< 2.0
パルス周波数範囲
（シングルショット～）
kHz
%
（LxWxH)
mm
kg
レーザヘッド重量
最大消費電流
（ピーク電流）
>0.83、<1.20
100
熱負荷
注10)
≦60
-
E-250
冷却水温設定範囲
E-400/400CL2
E-1000
982 x 140 x 184
199 x 227 x 1064
1067 x 336 x 320
1497 x 384 x
471
16.3
45
75 （RF電源部約19 kg含む）
173
48 ±1％
< 100
( <200A peak, 6
ms)
≦170
(<240A peak, 1 ms)
≦425
(<628A peak, 1
ms)
kW
2.5
≦4.8
< 8.5
< 22
ℓ/分
5.7
> 9.5
≥ 5.7
≦±1.0（要求出力安定性による）
℃
℃
-
206 (30 psi) @
5.7 ℓ/分
827 (120 psi)
5～40
5～45
≦207 (30 psi)
注13)
kPa
冷却水最大静圧
kPa
動作時環境温度
℃
湿度 (結露なきこと)
％
< 95
動作高度
m
< 2000
E-250i
E-400i
発振波長
μm
9.36±0.05
9.1～9.5
定格出力
W
≥ 225
出力レンジ
W
最大有効ピークパワー
W
≥ 650 注4)
パルス立下時間
μs
< 60
注4)
出力安定度
%
モード品質
M2
±6 注5, 14)
≤1.2
注１)
ビームウェスト径(1/e )
ビーム拡がり角(全角）
偏光
注3,14)
827 (120 psi)
5～45
350
1700 注4)
< 55
±6
≤1.2
-
mm
-
9.0 ±1.5
mrad
≦2.5
注15）
344 (50 psi) @ 9.5 ℓ/分　35～350注3)
7.0 ±1.0　注15）
注8)
注8)
10～225
> 25
21～25
10～35
注11)
2
200
55 average
（100A peak)
A
冷却水流量
冷却水温安定性
2
12±1.5
10±1.5
（ベースプレートに対し垂直）
VDC
入力電圧
ビーム径(1/e )
12±1.5
200
100
E-150
ユーティリティ
仕様
注5)
±5
-
2~1000
デューティーサイクル・リミット
冷却水差圧
250
≥0.83、≦1.2　注8, 15)
RF励起パルス幅レンジ
レーザヘッドサイズ
注5)
注12)
1.6（典型）、
2.0（最大）
直線偏光、 > 100:1
直線偏光、 > 100:1
<1：1.2
> 2500
注3)
注4)
< 1.5
（ベースプレートに対し水平）
ビーム楕円率
100～1000
< 1.2
9.0 ±1.0　-
偏光
≧1000 注14)
±2　-
注6)
≤1.2
-
400
100～400
40～400
注4)
> 1000
< 55
注3)
注4)
±6
E-1000
10.2～10.8
注14)
10～250
E-400CL2
≦1.6
直線偏光、 > 100:1 直線偏光、 > 100:1
（ベースプレートに対し（ベースプレートに対し
水平）
垂直）
ビーム楕円率
パルス周波数範囲
（シングルショット～）
RF励起パルス幅レンジ
デューティーサイクル・リミット
注8, 15)
≥0.83、≦1.2　kHz
200
100
μ秒
2~1000
2~800
%
≦60
≦40
E-250i
ユーティリティ
レーザヘッドサイズ
（LxWxH)
レーザヘッド重量
kg
45
VDC
入力電圧
最大消費電流
（ピーク電流）
E-400i
mm 199 x 227 x 1064
A
1067 x 336 x 320
75 （RF電源部
約19 kg含む）
48 ±1％
< 100
( <200A peak, 6
ms)
≦150
(<260A peak, 1
ms)
kW
≦4.8
≦7.5
注10)
ℓ/分
≥ 5.7
> 9.5
冷却水温安定性
℃
冷却水温設定範囲
℃
熱負荷
冷却水流量
≦±1.0（要求出力
安定性による）
-
21～25
-
206 (30 psi) @
5.7 ℓ/分
827 (120 psi)
344 (50 psi) @
9.5 ℓ/分
827 (120 psi)
注11)
kPa
冷却水最大静圧
kPa
動作時環境温度
℃
湿度 (結露なきこと)
％
< 95
動作高度
m
< 2000
冷却水差圧
5～45
5～45
注1）　全ての仕様値はオペレーターズマニュアルに記載されているガイドラインに沿って作動させた場合に限ります。
注2）冷却水の温度が25℃以上から、1℃上昇あたり約1%の出力低下が起こりえます。
注3）低出力や共振点においての使用時はレーザ出力安定度が、その仕様を満たさないことがございます。
注4） E-250/250iの場合：パルス幅100μs、繰返周波数1 kHzにて測定。
E-400iの場合：パルス幅50μs、繰返周波数1 kHzにて測定。
E-400/E-400CL2/1000の場合：繰返周波数1 kHz、10%デューティサイクルにて測定。
注5）　E-150/250i/1000の場合：±(Pmax-Pmin)/（2*Pmax）にて測定。
E-400CL2の場合：(Pmax-Pmin)/（2*Pmax）にて測定。ディテクションバンド幅は5 Hz。
注6）　40 kHz、35%デューティサイクル、ModeMasterでの測定。
注7）　レーザ出力口の0.5 mの位置にて測定。
注8）　E150の場合： 10 kHz、70%デューティサイクルでの測定。
E-250/250i場合：ビーム径はレーザ出力口の1.0 mに位置するウェスト位置にて測定。
E-400/400i/400CL2の場合：ビーム径はレーザ出力口の0.5 mに位置するウェスト位置にて測定。
E-1000の場合：ビーム径はレーザ出力口の5 mに位置するウェスト位置にて測定。
注9）　繰返周波数1 kHz、35%デューティサイクルでの典型値。
注10）　冷却水は腐食防止効果のある蒸留水をご使用ください。詳細はオペレーターズマニュアルを参照ください。
注11）　この差圧はレーザシステム内でのものであり、チラーの付属品や循環ホースによる圧力降下は含まれません。
注12）　「ON」を押してから、設定出力の±2%の出力で安定するまでの時間。
注13）　E-1000のみ 344 (50 psi) @ 25 ℓ/分
注14）　繰返周波数10 kHz、60%デューティサイクルにて測定。
注15）　繰返周波数10 kHz、25%デューティサイクルにて測定。
※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
コヒレント･ジャパン株式会社

Download Report