近紫外対物レンズ

Optics & Optical Coatings
近紫外対物レンズ
アプリケーション
システム
光学素子
PAL
カタログ
コード
W3087
YAGレーザの３倍波（355nm）
で使われる加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。
可視域の収差を抑える設計をしているので、
レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。
◦作動距離
（WD）
が長く、像面湾曲が補正されていて、
視野周辺部まで自然な観察像が得られます。
◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、
無限遠補正の対物レンズです。
◦近紫外光の観察用としてもお使いいただけます。
◦対物レンズは可視光
（532nm）
においてもパルスレーザで使用できます。
ホルダー
ご案内
▶固定式の対物レンズホルダー
（LHO-26）
をご用意しています。　C046
▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。
とレーザ導入
▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット
（OUCI-2）
用ダイクロブロック
（DIMC）
をご用意しています。　A018、
A019
▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業まで
ご相談ください。
ベース
手動ステージ
アクチュエータ
注意
▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径（1/e 2 ）
を瞳径の
約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、
小さな
集光スポットが得られません。
また、
レーザのエネルギー密度が高くなると、対物
レンズを損傷させる可能性があります。
▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、
加工された飛まつによって対物レンズ
のレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離
（WD）
を確保する
か、
薄い保護ガラスを挿入して、
対物レンズが汚れないようしてご使用ください。
▶倍率は結像レンズf＝200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡
鏡筒でご使用される場合、
倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用
になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、
結像レンズの焦点距離と対物
レンズの焦点距離の比からお求めください。
自動ステージ
光源
索引
ガイダンス
PAL-20-NUV
PAL-50-NUV
φ32.2
M26
P0.706
φ34
レンズ
3.5
（作動距離）
17.1
（作動距離）
φ36
偏光素子
（単位：mm）
φ32
ビームスプリッター
外形図
M26
P0.706
ミラー
MEオプティクス
77.9
フィルター
5
91.6
95
（同焦距離）
95
（同焦距離）
5
プリズム
基板/窓
光学データ
メンテナンス
セレクションガイド
アクロマート
集光レンズ
fθレンズ
対物レンズ
仕様
品番
価格
〔￥〕
タイプ
倍率
〔倍〕
NA
作動距離
WD
〔mm〕
焦点距離
分解能
焦点深度瞳径
f
（λ=550nm）
〔μm〕〔mm〕
〔mm〕
〔μm〕
カメラ視野
（1/2型）
〔mm〕
レーザ耐力※
〔J/cm2〕
質量
〔kg〕
PAL-20-NUV
355,000 近紫外
20
0.40
17.1
10
0.7
±1.7
φ8.0
0.24×0.32
0.05
（355nm） 0.30
PAL-50-NUV
427,000 近紫外
50
0.70
3.5
4
0.4
±0.6
φ5.6
0.10×0.13
0.05
（355nm） 0.34
※レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz
エキスパンダー
透過率波長特性（参考データ）
その他
100
90
80
70
T 60
〔%〕50
40
30
20
10
0
300
B192
T：透過率
PAL-20-NUV
PAL-50-NUV
400
500
600
λ
〔nm〕
700
800
WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected]
近赤外対物レンズ
LMPAL
W3087
カタログ
コード
フェムト秒レーザ（770～790nm）、およびYAGレーザ（1064nm）加工用の高NA無限遠補正対物レンズです。
可視域の収差を抑える設計をしているので、
レーザビームと同軸で加工面を観察することもできます。
アプリケーション
システム
◦作動距離
（WD）
が長く、像面湾曲が補正されていて、視野周辺部まで自然な観察像が得られます。
◦同軸観察系やレーザ導入光学系などに使用できる、無限遠補正の対物レンズです。
◦近赤外用対物レンズ
（LMPAL-20-NIR/LMPAL-50-NIR）
は、LCDの加工を想定し、
ガラス基板
（0.7mm）
を透過した状態で最も高い
性能を発揮します。
◦赤外光の観察用としてもお使いいただけます。
◦LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは保護ガラスユニット
（ガラス厚1.8mm）
が付属されています。
レーザ加工によって飛散する
飛まつから、対物レンズを保護することができます。保護ガラスユニットの保護ガラスは交換することが可能です。
◦各種の対物レンズは可視光
（532nm）
においてもパルスレーザで使用できます。各レンズとも波長532nmのレーザ耐力
（参考値）
は
0.1J/cm2です。
（ただし、
レーザパルス幅10ns、繰り返し周波数20Hz）
光学素子
ホルダー
ベース
ご案内
手動ステージ
▶固定式の対物レンズホルダー
（LHO-26）
をご用意しています。　C046
▶対物レンズを十字動ホルダーに固定される場合は、営業にご相談ください。
とレーザ導入
▶レーザ加工用鏡筒として、同軸照明付観察ユニット
（OUCI-2）
用ダイクロブロック
（DIMC）
をご用意しています。　A018、A019
▶厚みの薄いカバーガラスに対応する対物レンズが必要な場合は、営業まで
ご相談ください。
アクチュエータ
自動ステージ
注意
▶対物レンズをレーザ加工に用いる場合は、入射ビーム径（1/e 2 ）
を瞳径の
約半分になる大きさまで広げてご使用ください。入射ビームが細すぎると、
小さな
集光スポットが得られません。
また、
レーザのエネルギー密度が高くなると、対物
レンズを損傷させる可能性があります。
▶対物レンズを使ってレーザ加工する場合、
加工された飛まつによって対物レンズ
のレンズ表面が汚れる可能性があります。十分な作動距離
（WD）
を確保する
か、
薄い保護ガラスを挿入して、
対物レンズが汚れないようしてご使用ください。
▶100ｆ
ｓ以下のフェムト秒レーザビームを入射させた場合、パルス幅が広がる
可能性があります。
▶倍率は結像レンズf＝200mmを使用した時の値です。他メーカーの顕微鏡
鏡筒でご使用される場合、
倍率が異なる場合があります。実際の倍率はご使用
になる鏡筒の結像レンズの焦点距離を確認し、
結像レンズの焦点距離と対物
レンズの焦点距離の比からお求めください。
▶LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRは付属された保護ガラスの厚さを
考慮して設計されています。保護ガラスを外して使用すると、仕様通りの性能
が得られません。
LMPAL-20-NIR-Y/LMPAL-50-NIR-Y-HRの保護ガラスユニットの交換方法
保護ガラスユニット取付けネジ
保護ガラスユニット
光源
索引
ガイダンス
ミラー
ビームスプリッター
偏光素子
レンズ
外形図
（単位：mm）
ガラス
77.6
68.5
95
（同焦距離）
6.7
９５
（同焦点距離）
５
保護
ガラス
1.8
（ガラス厚）
基板/窓
φ３９．
３
φ36.5
ガラス
91
5.7
79.3
95
（同焦距離）
５
フィルター
プリズム
φ３９．
５
0.7（ガラス厚）
10
（作動距離）
M２６
P０．
７０６
4（作動距離）
5
MEオプティクス
LMPAL-50-NIR-Y-HR
φ38
φ38
φ36.5
φ３９．
５
0.7（ガラス厚）
5
20
（作動距離）
1.8
（ガラス厚）
φ３９．
４
17.4（作動距離）
LMPAL-50-NIR
M26
P0.706
LMPAL-20-NIR-Y
M２６
P０．
７０６
M26
P0.706
LMPAL-20-NIR
９５
（同焦距離）
保護
ガラス
光学データ
メンテナンス
仕様
価格
〔￥〕
品番
倍率
〔倍〕
タイプ
NA
作動距離
WD
〔mm〕
焦点距離
分解能
カメラ視野
焦点深度瞳径
f
（λ=550nm）
（1/2型）
〔μm〕〔mm〕
〔mm〕
〔μm〕
〔mm〕
レーザ耐力※
〔J/cm2〕
質量
〔kg〕
LMPAL-20-NIR
270,000 近赤外
20
0.45 空気換算17.2
10
0.6
±1.4
φ9.0
0.24×0.32 0.1
（780nm）
LMPAL-20-NIR-Y
200,000 近赤外
20
0.45
20
10
0.6
±1.4
φ9.0
0.24×0.32 0.2
（1064nm） 0.44
LMPAL-50-NIR
324,000 近赤外
50
0.80
空気換算3.8
4
0.3
±0.4
φ6.4
0.10×0.13 0.1
（780nm）
LMPAL-50-NIR-Y-HR
550,000 近赤外
50
0.67
10
4
0.4
±0.6
φ5.4
0.10×0.13 0.2
（1064nm） 0.48
0.34
0.44
※レーザパルス幅10ns、
繰り返し周波数20Hz
集光レンズ
fθレンズ
対物レンズ
T：透過率
その他
LMPAL-NIR-Y
LMPAL-NIR
LMPAL-20-NIR
LMPAL-50-NIR
500
アクロマート
エキスパンダー
透過率波長特性（参考データ）
100
90
80
70
T 60
〔%〕50
40
30
20
10
0
400
セレクションガイド
600
700
800
λ
〔nm〕
900
1000
1100
100
90
80
70
T 60
〔%〕50
40
30
20
10
0
400
LMPAL-20-NIR-Y
LMPAL-50-NIR-Y-HR
500
600
700
800
λ
〔nm〕
900
1000
1100
TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310
B193

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