CF-SCMT Series ■ ■ CF-SCMT Series is a chemical thermoconnector made of NEW PFA which has been mainly designed for monitoring the temperature of ultrapure water and chemicals in semiconductor and FPD manufacturing lines. Due to the sensor holder installed in the fluid a temperature sensor measures fluid temperature with no contact. Due to in-line type liquid entrapping part has been reduced. ■ ■ ■ 注意本製品の接液部材質に対し、浸透性のある薬液のご使用における故障は補償しかねます。 We cannot be responsible for the failure caused by the use of the penetrating chemicals on the materials of the wetted part of this product. 型式規格 Std. - CF-SCMT 仕様型式欄にご記入頂き、そのままFAXでもOK! お見積もり、ご注文承ります。 Type selection 接続口径 Pipe size - 規格 Std. 流体温度 Fluid temperature 環境温度 Ambient temperature - CA PT PTM CA 0 ∼ 90℃ PT 0 ∼ 60℃ PTM 3/8” （φ9.53×6.33） 22 1/2” （φ12.7×9.5） 23 3/4” （φ19×15.8） 24 1” （φ25.4×22.2） 25 特殊 For specif. pipe connection ＊1 29 測温部熱電対(K熱電対 Type K thermocouple) Thermocouple 測温部測温抵抗体（PT100Ω）Resistance temperature sensor 測温部測温抵抗体（PT100ΩPFAモールド） Resistance temperature sensor at temperature element（PT100Ω、PFA mold) 0.97 0.65 0.38 0.24 1/2″(φ12.7×9.5) 0.74 0.49 0.29 0.18 3/4″(φ19×15.8) 0.47 0.31 0.18 0.11 1″(φ25.4×22.2) 0.34 0.23 0.13 0.08 口径別使用最高圧グラフ Structural drawing 白 White Ｂ φ32 ① 黒 Black ⑥ ② ③ ⑤ 溶着 Welded 30 20 φ2 3/8” 1/2” 3/4” 1” 0 50 100 150 液温 Solution temperature センサ取付穴寸法 Dimensions for mounting hole deep 6 1.0 0.9 0.8 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 ④ 6 2-M3 深さ6 24℃ 50℃ 100℃ 150℃ 3/8″(φ9.53×6.33) 使用最高圧力(MPa) Max. operating pressure Ａ常用圧力 MPa(G) Working pressure 呼び寸法(インチ) Nominal size (inches) 赤Red Ｂ 0 ∼ 50℃ 0 ∼ 150℃ 使用最高圧力 Max. operating pressure ＊1：特殊項目に付いては、型式末尾に順番に明記下さい。詳細は弊社にお問合せ下さい。＊1: For specif. items specify them at end of Type selection in order. For details, consult us with your specification. 構造図 Specifications 使用温度範囲 Operating temperature range 特殊項目 For specif item CA Φ3.2 Caution (56) Sensor 48 40 ケーブル長：2(m) Cable:2m long 2-φ3.5 M4圧着Y端子＋ − Pressure spade terminal for M4 最小曲げ半径：R16 20 3/8” ,1/2” ,3/4” :(230) 1” :(334) Minimum bending radius PT 材質 Materials Φ3.2 20 20 43 ケーブル長：2(m) Cable:2m long Pressure spade terminal for M4 材質 Std. mtl. No. 名称 Names of parts 1 温度センサ Temperature sensor 2 テーパーリング Tapered ring 3 キャップ Cap 4 センサホルダー Sensor Holder NEW PFA 5 ボディ Body NEW PFA 6 チューブ Tube NEW PFA CA Minimum bending radius NEW PFA/etc PTFE PP B 最小曲げ半径：R16 PTM SUS316 A B M4圧着Y端子 PTM φ3±0.1 Thermo Connector / Line Filter 主に半導体製造、FPD 製造ラインでの超純水および薬液の温度監視用に開発されたNEW PFA 製インライン型サーモコネクタです。流体中に設置されたセンサホルダーによって温度センサは非接触で流体温度を測定します。インライン型の為、液だまり部分が少なくなっています。 ■ 15 Parts ケミカルサーモコネクタ 26 20 P 1500 500 PFAチューブ：NEW PFA PFAリード PFA tube 収縮チューブ Flex tube: FEP PFA lead wire ＡＢ M4圧着丸端子Ｂ Pressure ring terminal for M4 最小曲げ半径：R12 Minimum bending radius 234 2014 Vol.1