2014年10月1日改定 装置 番号 備考 施設等名称 FEP：Front End Process BEP：Back End Process 標準レシピを使用する場合 (Simple Case) 共用施設 等使用料 役務 チューニングが必要な場合 技術 共用施設 技術 指導費 等使用料 代行費 技術 指導費 （円/枚回） （円/枚回） （円/時間） （円/時間） （円/時間） （円/時間） AB08-01 AB08-04 AF01-02 AF01-03 AF01-04 AF01-05 AF02-02 AF02-03 AF02-06 AF03-01 AF03-02 AF03-03 AF03-06 AF03-08 AF03-09 AF03-10 AF03-11 AF03-12 AF03-14 AF03-16 AF03-17 AF04-01 AF04-02 AF04-03 AF04-04 AF04-05 AF04-06 AF04-07 AF07-01 AF07-02 AF07-03 AF07-04 AF07-05 AF07-06 AF07-07 AF07-08 AF07-09 AF07-10 AF07-11 AF08-01 AF08-02 AF08-03 AF08-11 AF08-12 AF08-14 AF08-16 AF08-18 AF08-19 AF08-402 AP01-101 AP03-101 AP03-105 AP04-101 AP06-101 AT02-01 AT03-01 AT06-01 AT07-01 AT07-02 B02-01 B02-03 B02-101 B03-02 B03-06 B03-07 B04-01 B06-101 B06-102 B07-101 B08-02-01 B08-02 B08-04 B08-06 B08-08 B08-12 B08-21 B10-01 B10-03 B10-06 B12-101 分光エリプソ GES5-IR 抵抗率測定器 VR120S レジストコータ ASC-400DH 縮小投影型露光装置 NSR-2205i11D 塗布・現像処理装置 SK80BW-AVP 電子ビーム露光装置 F511MR01 アッシャー RAM-6500R エッチング装置 E642 高密度プラズマエッチング装置 NE550C ポリシリコン成膜装置 DJ-833V-4B 絶縁膜成膜装置 DJ-833V-4B 層間膜成膜装置 DJ-833V-4B 多元系複合酸化物成膜装置 原子制御金属電極成膜装置 （VCE-AM3308P) ｽﾊﾟｯﾀ装置（ISP-2000-LC3） 極微細ゲートスタック形成前後処理装置 DJ-1207S 縦型減圧ＣＶＤ装置 GENESYS-21 縦型ＬＰ－ＣＶＤ装置 DJ-853-4B ヘリコンスパッタ装置 MB04-1019 真空蒸着装置 極薄膜ゲートスタック形成装置 SERAPHIC-21 横型拡散装置 DD-9300V 高誘電率膜欠陥低減処理装置 RLA-1208-V ランプアニール装置 RLA-1208-V ＲＴＰ装置 UHV-RTP ８インチ枚葉ＲＴＰ装置 SERAPHIC-21 急速熱処理装置 Aｓ－One１００ 前処理洗浄ドラフト装置 DC1 フッ酸洗浄ドラフト装置 DC３ 酸アルカリ洗浄ドラフト装置 DC４ 硫酸洗浄ドラフト装置 酸ドラフト装置 DC５ 写真用ドラフト装置 DC6 汎用有機ドラフト装置 DC7 前洗浄用スピンドライヤ装置 ＡＴＹ-2Ａ08 写真用スピンドライヤ装置 SPD-402 後処理用スピンドライヤ装置 ＡＴＹ-2Ａ08 ４インチ対応洗浄装置 GrandSlam ウエハ表面検査装置 LS6600 日立高分解能ＦＥＢ測長装置 S-9260A 干渉式膜厚計 NANO6100A Dektak8 エリプソメータ MARY-102 高誘電率薄膜化学結合状態観測装置 (XPS) 重ね合わせ誤差測定装置 全反射蛍光Ｘ線分析装置 ゲートスタック分析・計測膜構造解析装置 収差補正機能付き高分解能走査透過電子顕微鏡 精密枚葉貼合機 Ge/Si成膜装置 Epsilon2000 プラズマCVD装置(PD-220LCS) 磁場中アニール装置 磁性膜成膜用スパッタ装置 微細加工ＲＩＥ装置 縦型ＣＶＤ装置 高真空対応枚葉式スパッタＲＴＡ装置 汎用酸・アルカリ処理ドラフト バランサー機能搭載スピンドライヤー Low-kｴｯﾁｬｰ (TeliusSCCM) アッシング装置 ICE300型 マルチチャンバー方式エッチング装置 (Centura) SOD塗布装置 ACT12 PECVD装置 VECTOR 枚葉式プラズマＣＶＤ装置 Eagle-12 縦型アニ－ル炉 VF-5700B スパッタリング装置 ENDURA2 Cuめっき装置 SABRE NExT300 Cu_CMP装置 ChaMP-332M FIB装置 FIB2100 透過電子顕微鏡装置 HD2000 全自動蛍光X線分析装置 PW2820 CVmap測定ｼｽﾃﾑ 3092A パーティクル検査装置 ＷＭ3000FOUP 走査型電子顕微鏡装置 S-5200形 XRD（X線回折装置） 半導体パラメトリックテスター 4073A ﾌﾙｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ P-12XL ＩＲ－ＯＢＩＲＣＨ解析装置 応力測定装置 (FSM128LC2C) 分析装置 分析装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 100mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 その他 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 BEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 Off-Line FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 Off-Line Off-Line FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 BEP用装置 BEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 Off-Line Off-Line BEP用装置 BEP用装置 BEP用装置 Off-Line BEP用装置 Off-Line Off-Line Off-Line BEP用装置 3,700 2,100 5,200 5,900 4,900 24,700 3,200 4,500 10,700 11,200 11,200 11,400 18,000 18,200 21,700 24,700 11,900 14,100 20,500 13,700 34,200 12,300 15,000 14,800 11,600 11,600 14,900 16,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 6,200 5,200 1,700 13,200 5,200 2,600 3,500 10,700 9,200 10,400 17,700 9,100 12,800 38,000 24,700 6,200 24,700 21,300 21,200 19,900 8,700 3,200 5,200 5,600 11,700 13,700 9,200 8,700 7,900 15,700 19,100 16,700 7,700 8,400 6,200 7,200 8,500 2,600 8,700 1,700 1,700 12,000 6,900 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 13,000 12,600 57,200 47,200 53,900 56,900 14,100 63,000 50,300 56,000 56,000 57,000 61,200 72,800 76,000 79,100 47,600 56,400 51,300 41,100 78,700 73,800 45,000 44,400 48,800 48,800 47,700 48,600 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 31,000 41,600 6,800 26,400 15,600 6,800 14,000 26,800 18,400 41,600 35,400 5,100 51,200 76,000 59,300 49,600 49,400 32,000 31,800 39,800 30,500 14,800 54,600 48,200 84,300 61,700 82,800 75,700 58,500 80,100 61,200 61,800 4,700 5,100 13,700 21,600 17,000 5,200 21,800 8,500 8,500 12,000 10,400 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 2014年10月1日改定 装置 番号 備考 施設等名称 FEP：Front End Process BEP：Back End Process 標準レシピを使用する場合 (Simple Case) 共用施設 等使用料 役務 チューニングが必要な場合 技術 共用施設 技術 指導費 等使用料 代行費 技術 指導費 （円/枚回） （円/枚回） （円/時間） （円/時間） （円/時間） （円/時間） F02-101 F03-07 F05-101 F08-04 F10-01 F10-02 H06-03 J4-106 L01-103 L01-104 L08-07 L08-17 M01-02 M01-08 M01-10 M02-01 M02-04 M02-05 M02-06 M02-07 M02-10 M03-01 M03-03 M03-06 M03-09 M03-101 M03-14 M04-02 M04-08 M04-101 M05-03 M06-03 M06-04 M07-02 M07-05 M07-07 M07-08 M07-09 M07-101 M07-102 M07-12 M07-13 M07-15 M08-04 M08-05 M08-06 M08-07 M08-10 M08-101 M08-12 M08-17 M08-23 M08-25 M08-27 M08-32 M08-40 M08-41 M08-42 M08-47 M08-50 M08-52 M08-55 M10-01 M10-04 M10-05 M12-06 M12-08 M12-101 M12-102 N03-101 N07-101 P03-103 P08-102 J03-117 J03-114 J03-115 J03-116 プラズマエッチング装置 U-8150 HCD-SIN成膜装置 TELFORMULA-1-HVGN 低エネルギー高精度イオン注入装置 SHX 強力X線薄膜構造評価装置 （ＴＴＲ－Ｉｎ－ｐｌａｎｅ） セミオ－ト・プロ－バ S300-861 フルオ－トプロ－バ （ＡＭＭ－1000Ｗ+ＵＦ300Ａ） メタル配線層形成装置 （ＥＮＴＲＯＮ Ｗ200Ｓ－2Ｔ） ヘリウムイオン顕微鏡 ＡｒＦ液浸露光装置 ArF液浸レジスト塗布現像装置 高精度測長ＳＥＭ Ｓ９３００ 原子間力顕微鏡 SPA400500 塗布・現像装置 SK-3000 塗布・現像装置 ACT-12 ＫｒＦステッパ－ FPA-5000ES3 酸化膜ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 (Telius T-3055SD) 酸化膜ｴｯﾁﾝｸﾞ装置 Centura eMax メタルエッチング装置 Centura DPS ﾌﾟﾗｽﾞﾏｱｯｼﾝｸﾞ装置 SURPASS320 アッシング装置 μASH300 酸化膜エッチャー (Telius-304DS) ＨＤＰ－ＣＶＤ成膜装置 SPEED LP-CVD装置 TELFORMULA-TEOS PE-CVD装置 EAGLE-12 Rapidfire LP-CVD装置 TELFORMULA-Poly 枚葉式マルチチャンバＲＴＰ装置 (AMAT)/Radiance 多目的成膜装置（TEL TRIAS） 枚葉式成膜装置 Trias-SPA 赤外線ランプ加熱装置（VHC-P616CP-S) 縦型酸化拡散炉 ALPHA-303i-K 中電流イオン注入装置 EXCEED2300V スパッタ装置 (COSMOSI-1201) 枚葉式成膜装置 Trias-W 枚葉式ウェハ洗浄装置 MP3000 スプレー式ウェハ洗浄装置 ZETA300 ダミ－洗浄装置(VENUS) 窒化膜エッチング装置(VENUS) 枚葉式ウェハ洗浄装置 SS3000 枚葉式ウェハ洗浄装置 SU3000 枚葉式ウェハ洗浄装置 SU3000 枚葉式ウェハ洗浄装置 SS3000 枚葉式スピンエッチャ－ SEZ323 バッチ式ウェハ洗浄装置 UW300Z 日立走査電子顕微鏡 S-5000 全反射蛍光Ｘ線分析装置 TREX612 エリプソメ－タ CALIBER300 分光エリプソ薄膜解析装置 ASET-F5 シート抵抗測定装置 オムニマップRS100 分光エリプソ薄膜解析装置 ASET-F5X 薄膜応力測定装置 FML128L パ－ティクル検査装置 SP1-TBI 段差測定装置 (DekTakV300SL) 抵抗率測定器 VR-120/05 サーマウェーブ測定装置（TP-630) 抵抗率測定器 VR-120/08S 光学顕微鏡 AL3110F レビューSEM SEMVisionG2 ﾌﾙｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ P-12XL 半導体パラメトリックテスター 4156＆4284 ウェハ自動搬送外観検査顕微鏡 AL3100 自動濃縮装置 TVD-900 重ね合わせ精度測定装置 Arｃｈer10-AIM 半導体パラメトリックテスター 4073 ｾﾐｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞ S300-561 半導体パラメトリックテスター 4073B フーリエ変換赤外分光光度測定装置（FTIR QS-312J) 蛍光Ｘ線分析装置 System3272 ﾐｸﾛ外観検査ｼｽﾃﾑ AL110-12 ﾐｸﾛ外観検査ｼｽﾃﾑ AL120-12 枚葉METAL-CVD装置(DJ-1207S-DB) STI用CMP装置 (A-FP-3000M) ドープトシリコン膜用縦型低圧CVD装置（DJ1226V-DF） シート抵抗測定器 VR300DSE SEM (日立S-4700) FTIR 水銀プローバ TDS 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 分析装置 分析装置 分析装置 100mmウエハ対応装置 分析装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 分析装置 分析装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 その他 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 300mmウエハ対応装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 分析装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 Off-Line Off-Line FEP/BEP 共用装置 Off-Line FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 Off-Line FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 Off-Line FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 Off-Line FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 Off-Line Off-Line FEP用装置 FEP/BEP 共用装置 FEP/BEP 共用装置 Off-Line Off-Line Off-Line BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 FEP用装置 FEP用装置 BEP用装置 Off-Line Off-Line Off-Line Off-Line Off-Line 19,700 12,200 22,700 10,700 4,700 4,700 10,000 68,000 27,200 7,500 2,200 10,100 3,900 5,200 5,700 25,700 22,900 22,900 5,700 5,700 11,500 19,900 14,600 10,300 13,700 26,900 28,000 24,700 24,700 8,800 24,700 7,800 17,300 8,700 9,300 18,200 19,500 1,800 3,200 3,200 1,800 7,700 5,000 2,700 10,200 2,200 3,400 6,900 3,200 8,200 9,900 2,700 1,500 6,600 1,500 1,000 5,500 1,700 2,500 1,000 5,500 2,400 1,700 1,700 1,700 6,700 4,900 1,000 1,000 29,700 23,700 27,700 3,700 1,700 3,200 3,200 3,200 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 300 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 59,100 54,900 65,900 21,400 9,400 14,100 52,000 27,200 81,600 27,800 6,400 10,100 33,200 35,400 47,900 56,600 64,200 64,200 54,200 54,200 50,600 51,800 51,100 51,500 68,500 67,300 75,600 71,700 29,700 70,400 74,100 47,600 55,400 28,800 32,600 45,000 44,900 14,400 32,000 32,000 14,400 34,700 37,500 7,600 25,500 9,300 10,200 17,300 10,300 8,200 37,700 6,800 5,300 19,800 5,300 3,500 45,100 9,900 10,000 3,500 22,000 48,000 10,200 10,200 10,200 16,100 19,600 3,500 3,500 65,400 59,300 61,000 15,200 11,900 16,000 12,800 13,800 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 3,500 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400 4,400
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