日立卓上顕微鏡 TM3030 電子光学系の最適化で シャープな観察 卓上サイズでコンパクト設計 オート機能でシンプル操作 15倍∼30,000倍 （デジタルズーム：最大12万倍） 倍率 x1.0 k 100 μm 試料：食品上のカビ 倍率：1,000倍 観察条件設定 表面/通常/高輝度 観察モード 標準モード、 帯電軽減モード 画像モード 標準、 影付1、 影付2、 凹凸 試料可動範囲 X：±17.5 mm、 Y：±17.5 mm x30 k 3.0 μm 試料：ポリスチレンラテックス（φ115 nm) 倍率：30,000倍 コントラストの違いで コ ントラストの違いで 異物分析も迅速に可能 異物分析も迅 速に可能（高感度BSE検出器） （高感度 BSE検出器） スペクトルデータ TM3030用エネルギー分散型X線分析装置 スペクトル1 スペクトル2 スペクトル1 + ※TM3030 との組み合わせ例 ※検出器内蔵型 スペクトル2 x1.0 k 100 μm マッピングデータ 70 ɤm 炭素 （C） 70 ɤm チタン （Ti） 70 ɤm 酸素 （O） 70 ɤm 鉄 （Fe） 70 ɤm ニッケル （Ni） 70 ɤm クロム （Cr） ※TM3030 との組み合わせ例 ※検出器内蔵型 小さくて高性能 日立走査電子顕微鏡 装置本体の幅を55センチとし、小型化を図りながらも、 3.0 nmの像分解能性能を持ち合わせた「小さくて高性能」な低真空SEMです。 ターボ分子ポンプの採用により、 省電力、省スペース 化を実現。 ※ ※当社従来機種S-3000N（1998年4月製）対比。 電力・スペース約30％削減。S-3000N最大試料高さ10 mm（標準ステージ）。 使用頻度の少ない方でも気軽に使える 操作ガイドを開発。 SEMを身近にしました。 二次電子分解能3.0 nm（高真空） 、 反射電子分解能4.0 nm（低真空） を保証。 高感度半導体反射電子検出器 従来の二次電子検出器に加えて、組成情報が得られる 反射電子検出器を標準搭載。 日立独自の高感度化により、高速スキャンでも像観察が 可能。 異物解析に最適な検出器です。 二次電子像 反射電子像 試料：切削工具のブレード 二次電子像分解能 3.0 nm 保証（高真空モード） （30 kV） 反射電子像分解能 4.0 nm 保証（低真空モード） （30 kV） 倍率 5∼300,000倍 加速電圧 0.3∼30 kV
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