半導体 IC テストソリューション ウエハ/チップ/パッケージ www.chroma.co.jp Turnkey Test & Automation Solution Provider クロマは、テスト＆オートメーションのターンキーソリューシ ョンを提供するメーカーとして、テスト装置や測定装置、自動 テストシステム、製造システムのカスタマイズソリューション を統合し提供しています。 この数年間、私達は半導体のテスト分野の経験を積み上げてき ました。そのため、ATE、PXIシステムから、ICハンドラーやシ ステムレベルのテストソリューションに至るまで、半導体テス トソリューションに関する幅広いポートフォーリオを持ってお ります。 ATEとPXIのソリューションでは、コンシューマーSOC（MCU、 コントローラ、オーディオ、ペリフェラル）、パワーマネージ メントIC（レギュレータ、LDO、DC/DC、AC/DC、LEDドライ バ）、RF（FEM、コネクティビティ、モバイル）、その他アプ リケーション（CIS、光センサ、RFID）をカバーします。 また、ハンドラーと自動システムのソリューションでは、温度 制御、拡張デバイスのハンドリング技術、ベアダイのハンドリ ング、CISターンキーソリューション、システムレベルのテス トソリューションをカバーします。 これらのターンキーソリューションにより、私達クロマは、テ スト品質とテストパフォーマンスを保ちつつ、テストコスト削 減へのベストアプローチをお客様へ提供致します。 ターンキー 半導体 IC テストソリューション ウエハプロセス ウエハソート Double Sides Wafer Inspection System オープン/ショートテスト VLSI Test Systems ファイナルテスト RF Solution Integrated Handler 組立・パッケージ SoC/Analog Test Systems 自動システムファンクションテスト Final Test Handler Hybrid Single Site Test Handler Miniature IC Handler CIS Turnkey Solution 出荷 Automatic System Level Test Handler 半導体自動テスト装置 (ATE) クロマの半導体向けATEは、ファブレス、IDM、テストハウスの方々に、最もコスト効果の高いソリューションを提供することを 目標に、高スループット、高いマルチサイトテスト能力を実現できる様に特別設計されています。高機能、高精度、パワフルなソ フトウエアツール、及び高信頼性を持つ私達のATEは、コンシューマデバイス、ハイパフォーマンスのマイクロコントローラ、ア ナログデバイス、SoCデバイスをテストするにあたって理想的です。 SoC 特長 MCU ☑低コストシステムかつハイパフォーマンス PMIC ☑高いマルチサイトテスト能力 ☑試作から量産までフレキシビリティに使用可能 ☑パワフルなソフトウエアツール Wireless ☑省スペースが可能となる小型フットプリント ☑他のプラットフォームに直接接続可能な Touch Sensor アダプターボードを用意 CHROMA ATE Consumer Devices Mixed-Signal Device Embedded Flash SoC/アナログ テストシステム Model 3650-EX Model 3650 Model 3650-CX 特長 特長 特長 ☑50/100MHz クロックレート ☑I/O 最大1024ピン ☑パターンメモリ 32/64M ☑DPS 最大96CH ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 512DUT ☑Microsoft Windows® 7 /XP OS ☑50/100MHz クロックレート ☑I/O 最大640ピン ☑パターンメモリ 16/32M ☑DPS 最大32CH ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 32DUT ☑Microsoft Windows® 7 /XP OS ☑50/100MHz クロックレート ☑I/O 最大256ピン ☑パターンメモリ 16/32M ☑DPS 最大16CH ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 32DUT ☑Microsoft Windows® 7 /XP OS 3650 シリーズ オプション 特長 ☑PVI100 アナログ オプション ☑VI45 アナログ オプション ☑HDADDA ミックスドシグナル オプション ☑ミックスドシグナル＆RF Box (MRX) ☑タイミングインターバルアナライザ オプション PVI 100 VI 45 HDADDA VLSI テストシステム Model 3380 Model 3380-P, 3380-D Model 3360-P, 3360-D 特長 特長 特長 ☑50/100MHz クロックレート ☑I/O 最大1280ピン ☑パターンメモリ 32/64/128M ☑DPS 最大128CH (4 wires) ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 1024DUT ☑Microsoft Windows 7 OS ☑フレキシブルな構成 ☑50/100MHz クロックレート ☑I/O 最大576ピン （3380-Dは256ピン） ☑パターンメモリ 32/64/128M ☑DPS 最大64CH (4 wires) ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 512DUT (3380-Dは256DUT） ☑Microsoft Windows 7 OS ☑フレキシブルな構成 ☑50MHz クロックレート ☑I/O 最大256ピン （3360-Dは64ピン） ☑パターンメモリ 8/16M ☑フレキシブルな構成 ☑SCAN/ALPG ☑パラレルテスト 32DUT ☑Microsoft Windows® 7 /XP OS LXPG2x1 (No Outlet) STBUSx1 UR+I/F PMUVIx1 フレキシブルな構成 ☑フレキシブルなスロットをサポート ☑フレキシブルなスロットは、I/O、UVI、ADDA、PXIeなど幅広い機能を差し込み可能 ☑3360-D : 2 slots; 3360P: 8 slots; 3380-P: 9 slots; 3380: 20 slots ☑時間、周波数測定ユニット Flexible Slots PXI IC テストシステム プログラマブル ピンエレクトロニクス モジュール Model 36010 DUT 電源 Model 36020 Mini ATE Model A360101 特長 特長 特長 ☑PXI/PXIeハイブリッドに適合 ☑PXI/PXIeハイブリッド コンパチブル ☑I/O 最大64ピン ☑50/100MHz クロックレート ☑電圧レンジ +10V/-2V ☑DPS 8CH ☑パターンメモリ 32M ☑電流レンジ 6通り選択可能 ☑ユニバーサル ロードボード ☑パーピンPMU ☑電圧印加 16-bit分解能 ☑Labview/LabWindowsをサポート ☑SCAN 4chain/256M ☑電流測定 18-bit分解能 ☑Windows® 7 /XP OS ☑Labview/LabWindowsをサポート ☑Labview/LabWindowsをサポート ☑Microsoft Windows® 7/XP OS ☑Microsoft Windows® 7/XP OS ピックアップ＆プレース ハンドラー : ファイナルテスト とシステムレベルテスト ファイナルテスト (FT) ファイナルテストは、お客様へ製品を出荷する前に実施されるテストです。テストパターンを用い、デバイスのファンクションや 電気的特性が、要求される仕様と合致するかどうかをテストします。テストの目的は以下の通りです。 ☑製品設計通りか確認すること ☑高品質を実現すること ☑製造の品質をコントロールすること ☑製造歩留りを絶えず改善すること アドバンスド TEC コントローラ Model 54100 シリーズ 特長 ☑150W(24A/8A), 300W(27V/12A), もしくは 800W(40V/20A)による双方向駆動 ☑電流リップル20mA以下でリニア駆動を維持しながら、90% 800W Temp. Stability ±0.01℃ 25 以上の駆動パワー効率を持つフィルターを通したPWM出力 Time ☑温度レンジ -50～+150℃ (分解能：0.01℃、絶対精度：0.3℃) ☑最適なPID制御により短時間 (1時間) ±0.01℃、 長時間±0.05℃の安定性を実現 TEC Modules ☑TECシグナルとPID自動制御により最適な制御を実現 Chroma 54100 Series ☑２つのT-Type熱電対 (制御フィードバック用に1つ、 モニタとオフセット用に1つ) により幅広い制御モードを提供 3温度フルレンジ ファイナルテストハンドラー Model 3110 -40℃~125℃ Model 3110-FT -40℃~125℃ TT Chart - Hot to Cold 85℃ ~ -40℃ : 400 sec. (Tc of Kit) Temp. 90 70 50 30 10 -10 -30 125 0 125 75 150 225 300 350 400 Sec. * Only for 3110 thermal head 50 50 0 0 -40 ℃ TT Chart - Cold to Hot -40 -40℃ ~ 85℃ : 120 sec. (Tc of Kit) ℃ Model 3160-A 40℃~125℃ Temp. Model 3180 Ambient~125℃ 90 70 50 30 10 -10 -30 125 Ambient 125 40 ℃ ℃ 0 75 150 225 300 350 400 Sec. * Only for 3110 thermal head システムレベルテスト (SLT) 多くの会社は、ICの後行程においてデバイスの品質を確保するためにパッケージされたデバイスをフルファンクションでテストします。 しかしながら、この方法は下記のような問題を引き起こす可能性があります。 【1】 ATEと実際の動作環境との差異の発生 【2】 数か月に及ぶATEテスト用プログラムの開発により、市場への投入は遅れる 【3】 テストコストがシリコンコストの減少と対比し割高になっていく システムレベルテストへの牽引 市場への投入スピード ☑ ATEプログラムの準備より早く出荷可能 ☑ 大きなデバイスに対応 ☑ 有用性が高い Wafer Module Board IC Cycle Probe Test Final Test System Level Test ICs ICs ATE Module Boards Wafer コスト ☑ ATEに比べて低い投資コスト (COO) ☑ マニュアルテストと比較して高能率 （低コスト） 故障検出率 ☑ DPPMコントロール ☑ 品質保証 ☑ 個々の取り組みを軽減 ☑ システム評価 ☑ コンプライアンス ☑ テストしやすさ ☑ ソフトウエアとハードウエアの間の 矛盾を検出 Probe Card Disruptive Process Implement in Semiconductor Test Manual Assembly & Package Wafer Process Wafer Sort ASFT Auto. System Function Test Package Test Shipping ミニ卓上シングルサイトテストハンドラー システムレベルテストハンドラー Model 3111 特長 Model 3260 特長 ☑ICパッケージ：5x5mm～45x45mm ☑RC (リチェック、リテスト）によりオーバーキルの割合を軽減 ☑ソフトウエア設定可能なBIN制御 ☑時間とリソースを軽減 ☑エアダンパーを用いたコンタクト ☑歩留り向上 ☑コンタクト圧バランス最適化 ☑様々なテスタに適用 ☑テストソケット寿命最大化 ☑オプションのPoP(Package on Package)ソリューション ☑2重のスタック保護 ☑オーダーメイドのテスト処理設計 ☑連続的な自動再テスト ☑独特なFACT(Fault Auto Correlation Test)により個人の ☑リモートコントロール制御 ☑リアルタイム システムカメラ モニタリング ☑モバイル機器で制御可能 ハンドリングタイムを軽減 CIS ターンキーテストソリューション CIS (CMOS Image Sensor) テストソリューションは、クロ マ特有のターンキーソリューションの一つです。ファンク ションテストや画像検査に対してパフォーマンスとクオリ ティを提供する最適化されたリソースを用い、最高のUPH を実現します。私達のCISソリューションは、お客様に最高 のCOO(Cost Of Ownership、総保有コスト)を提供します。 特長 ☑ハンドラーモデル3270 - 16サイトパラレル ☑16/16光源 (FT)/IPC ☑ATE 3380P 100MHzクロックレート ☑パターンメモリ 128M ☑I/O 192ピン ☑UVI 16CH (4 wires) ☑RMB2 スイッチングボード ☑キャプチャカード (MIPI 1G) Circuit Probing クロマ ATE、キャプチャカード、MIB ☑3380シリーズ 100MHz ATE ソリューション ☑MIBによりフレキシブルかつ最適化された構成 (Matrix Interface Board) ☑従来のフル構成のATEソリューションに対して MIB Board LED Light Source Chroma Tester Capture Cards 2～3倍コスト削減 ☑最新のキャプチャカードソリューション : MIPI CSI1/2 マルチプルレーンをサポート 光源 ☑ハロゲン光源に対して10倍以上の寿命 ☑オーバーヒートの問題なし ☑D65光源に対してスペクトル反応の差は1%以下 ☑16サイトパラレル化のご要求に対してサイズ拡張可能なLED光源 ☑ハロゲン光源よりも8～10倍コスト削減 Light Source Light Source IC ハンドラー ☑16サイトまでサポート可能な ハイスピードハンドラー ☑様々なパーッケージをハンドリング可能 (外形 2x2mm～14x14mm) ☑それぞれのサイトに対してFT光源をインテグレート ☑Model 3110-FTにより、4サイトで低温(-40℃)サポート Tri-temp Test Handler Model 3110-FT Miniature IC Handler Model 3270 クロマジャパン株式会社 〒223-0057神奈川県横浜市港北区新羽町472番地 T (045) 542-1118 F (045) 542-1080 www.chroma.co.jp 台湾本社 CHROMA ATE INC. 66 Hwaya 1st Rd., KueishanHwaya Technology Park, Taoyuan County 33383, Taiwan T +886-3-327-9999 F +886-3-327-8898 [email protected] www.chromaate.com 中国 Chroma Electronics (Shenzhen) Co., Ltd. 8F, No.4, Nanyou Tian An Industrial Estate, Shenzhen, China PC: 518052 T +86-755-2664-4598 F +86-755-2641-9620 www.chroma.com.cn アメリカ CHROMA ATE INC. 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