ウエハ・プローブカード用LTCCインターポーザ基板 LTCC Interposer Substrate LTCCインターポーザ基板 DUT部拡大図 約5,000パッド、200μmピッチ 90x90x4.5mm 用 途 ・半導体ウエハ検査用プローブカードに使用されるLTCCインターポーザ基板※ ※ 『LTCCインターポーザ基板』 LSI半導体ウエハでは数千におよぶボンディングパッドが密集して配置されており、特性検査をするには プローブカード （下図参照） を使って、半導体の狭ピッチパッドを空間的に拡張してテスターにつなげることが必須です。 LTCCインターポーザ基板は、 この空間拡張を行うプローブカードのキーコンポーネントです。 特 長 ・低抵抗の銀ペースト配線とビアホールを、全層LTCCで構成された多層基板に三次元的に配置することにより、 狭ピッチ・超多ピンのエリアアレイタイプ・プローブカードに対応。 また、高周波技術の応用により高周波デバイス検査用プローブカードとしても適合。 ■PCB＋LTCCポゴピン接合タイプ LSI テスタ メイン基板（PCB） 固定具 中継コンタクタ プローブユニット LTCCインターポーザ基板 LSI ウエハ ［上記製品についてのお問い合わせ先］ 株式会社ヨコオ
© Copyright 2024 ExpyDoc
