ビーム ビーム その他の ビーム ミラー スプリッター レンズ プリズム 偏光子 フィルター レーザ 整形 シャッター 素子・試料 終端 ファイバー ミラーホルダー Mirror Holders ジンバル式 ミラー中心(回転中心) あおり方向 回転方向 調整時に光軸がずれない 干渉計 ホルダー ベース ミラーホルダーに取り付けら れたミラーの反射面があおり 軸及び、回転軸上にあるため、 位置決め調整ミラーホルダー に取り付けられたミラーの反 射面が後の光軸のズレがあり ません。 また、ミラー反射面がミラー ホルダーの取付軸または本体 の中心に合致するため、光学 設計を容易に行うことができ ます。 光源 手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド あおり方向 回転方向 MHAN/MHA ロッド 固 定 丸 型 m LMHA ロッド 固 定 丸 型 ジンバル式大型精密ミラーホルダー 大口径用のミラーホルダー。 φ100∼φ300mmまで5 サイズをラインナップ。 M MHD ベ ー ス固 定 丸 型 接近型ミラーホルダー ミラーホルダー同士や他の機器への接近が可能。 操作部に差動マイクロを使用した精密タイプあり。 φ30mmのみラインナップ。 m M MHE ロッド 固 定 丸 型 ジンバル式ビームスプリッターホルダー 枠部を薄くしジンバル式ミラーホルダーにて光のケラレを避けて反 射・透過有効径を大きくとったホルダー。 操作部に差動マイクロを使用した精密タイプあり。 φ30、φ50mmの2 サイズをラインナップ。 m M BHAN ロッド 固 定 丸 型 ジンバル式上操作型ミラー・ビームスプリッターホルダー 小型ミラーでも45 入射時の透過有効径が確保できるように設計さ れたミラー・ビームスプリッターホルダー。 小型干渉計の構築にや、小スペース用に最適です。 φ 12.7 ∼ 50.8mm の 5 サイズをラインナップ。 s . BSH/BSHL ロッド 固 定 ベ ー ス固 定 丸 型 キネマティックミラーホルダー ミラーの固定保持方法が 3点接触で高安定、コンパクトであり機器 への接近使用・45 入射時に最適。 高安定型と安価な量産型の選択が可能。 φ12.7∼φ100mmまで7 サイズをラインナップ。 s . ワンタッチ式ミラーホルダー ミラーの着脱が工具を使用せずにワンタッチで可能。 ホルダーを固定したままミラーの交換が可能に。 φ20∼φ50.8mmまで 4 サイズをラインナップ。 s キネマティック式小型ミラーホルダー 小型ミラーを接着したり専用ミラーケースアダプタを用い固定。 小型・軽量タイプ。 □25∼□50.8mmまで2 サイズをラインナップ。 s MHG ベ ー ス固 定 丸 型 MHF ロッド 固 定 ベ ー ス固 定 丸 型 支点(回転中心) コンパクトで組込み向き 支点を中心としたあおり方向、 回転方向の調整が行えます。 主に可動板、本体の 2 体構造 となっておりますので、非常 にコンパクトで装置への組み 込みなどにも有効です。 マイクロメータ・ 微調ネジ キネマティック式ミラーホルダー ガタを生じることなく位置保持性に優れているため、装置組込等 に最適。 操作部に差動マイクロを使用した精密タイプあり。 φ 25.4 ∼φ 100mm まで 8 サイズをラインナップ。 キネマティック式上操作ミラーホルダー 操作部が光軸に対し垂直な上操作のため、調整時光軸との干渉・ 機器への接触がなく操作に優れる。 操作部に差動マイクロを使用した精密タイプあり。 専用プレートと組合わせて使用。 φ 30 ∼φ 60mm まで 3 サイズをラインナップ。 小型上操作ミラーホルダー 小型干渉計の構築に最適な小径ミラー用の上操作ミラーホルダー。 操作部が光軸に対し垂直な上操作のため、調整時光軸との干渉・機 器への接触がなく操作に優れる。 φ10、φ15の2 サイズをラインナップ。 ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール C24 m s M キネマティック式 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ ジンバル式ミラーホルダー ミラー中心反射面があおり軸・回転軸上にあり、光軸をズラすこと なく操作が可能。 操作部に差動マイクロを使用した精密タイプあり。 各種アダプタ・ベース等オプションが豊富。 φ25∼φ150mmまで10 サイズをラインナップ。 ジンバル式上操作ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダーと同じく光軸にズレがなく操作部が上方 にあるため、光軸と干渉することなく操作が可能。 φ30、φ50mmの2 サイズをラインナップ。 www.sigma-koki.com *[email protected] m s M m s M s MMHN/MMH ロッド 固 定 ベ ー ス固 定 丸 型 角 型 MHB ベ ー ス固 定 丸 型 LMHB ベ ー ス固 定 丸 型 LMMH ロッド 固 定 ベ ー ス固 定 丸 型 ビーム その他の ビーム ビーム ファイバー 終端 素子・試料 シャッター 整形 レーザ フィルター 偏光子 プリズム レンズ スプリッター ミラー ミラーホルダー Mirror Holders ミラーホルダーラインナップ 高分解能 再現性 安全性 差 動マイクロ メータによる精 密な調整が要 求される場合 に適している 再 調 整 などで 元の位置への 再 現 性が 要 求 され る 場 合 に 適している 組込み用途や 長時間にわたる 実験など、位置 保存性が重要 視される場合 ◎ DMタイプ ◎ M・DMタイプ ◎ ◎ 接近型ミラーホルダー MHE ◎ DMタイプ ◎ ジンバル式ビームスプリッターホルダー BHAN ◎ DMタイプ ◎ ジンバル式ミラーホルダー MHAN/MHA 基礎実験 装置組込み 防振台や定盤 上 に オ ープ ン の 光 学 系を組 む 場 合 に 適し ている 限られたスペー ス 内に 設 置し たい 場 合に 適 している 調整頻度が高い 調整頻度が低い 条 件 によっ て 光 学 系を頻 繁 に調整する必 要が ある場 合 に適している 一 度 調 整し た ら再調整の必 要 は 殆どない 場 合 に 適し て いる ◎ ジンバル式上操作ミラーホルダー LMHA ジンバル式大型精密ミラーホルダー MHD ジンバル式上操作型ミラー・ビームスプリッターホルダー BSH/BSHL ◎ キネマティックミラーホルダー MHG ◎ ワンタッチ式ミラーホルダー MHF ◎ キネマティック式小型ミラーホルダー MMHN/MMH ◎ 干渉計 ◎ HSタイプ ベース キネマティック式ミラーホルダー MHB ◎ DMタイプ キネマティック式上操作ミラーホルダー LMHB ◎ DMタイプ 光源 手動ステージ 小型上操作ミラーホルダー LMMH 大口径 φ100mm以上の 大口径オプティク スに対応 大口径ビーム用 ジンバル式ミラーホルダー MHAN/MHA 小口径 サイズ展開 インチ対応 ◎ ◎ φ25.4/φ50.8mm ジンバル式上操作ミラーホルダー LMHA ジンバル式大型精密ミラーホルダー MHD 透過用途 φ15mm以下の小 サイズのバリエー インチサイズが標 反射光だけでなく 径オプティクスに シ ョン が 豊 富 に 準品としてライン 透過光を使用する 対応 揃っている ナップされている 場合に有効 小型の干渉計構 築に適している ○ 最大径φ150mm ○ ○ ジンバル式ビームスプリッターホルダー BHAN ◎ キネマティックミラーホルダー MHG ○ 最大径φ100mm ◎ φ12.7/φ15mm ○ ◎ φ12.7/φ25.4/φ50.8mm ◎ ○ φ12.7mm ○ ◎ φ12.7/φ25.4/φ50.8mm ○ ◎ φ25.4/φ50.8mm ○ ワンタッチ式ミラーホルダー MHF キネマティック式小型ミラーホルダー MMHN/MMH ◎ ◎ ◎ キネマティック式上操作ミラーホルダー LMHB ○ ◎ φ10/φ15mm ◎ φ25.4/φ50.8mm 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ ブラケット・ スペーサー ○ ○ X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド マイクロメータ・ 微調ネジ ○ 接着による キネマティック式ミラーホルダー MHB 小型上操作ミラーホルダー LMMH 操 作 部 が 光 軸に 対して垂直方向に あり、調整時の安 全性・操作性に優 れている ○ 接近型ミラーホルダー MHE ジンバル式上操作型ミラー・ビームスプリッターホルダー BSH/BSHL 安全性・操作性 ○ ○ ◎ 最大径φ300mm ホルダー ◎ アクセサリ・ メンテツール ◎ ◎…特に適している ○…適している マイクロ 粗微動 m メータ s ネジ式 M マイクロ . ロ有ック機構 , 付属ビス - ロッドの ネジサイズ C25 ビーム ビーム その他の ビーム ミラー スプリッター レンズ プリズム 偏光子 フィルター レーザ 整形 シャッター 素子・試料 終端 ファイバー ミラーホルダー Mirror Holders ミラーホルダー素子サイズ別一覧 適応素子 サイズ 厚さ 〔mm〕 〔mm〕 φ12.7 φ15 φ20 φ25・φ25.4 1〜3 3〜5 1~3 1~3 1~3 3〜5 3〜5 3〜5 MAX6 MAX10 MAX10 3〜5 3〜5 □25以下 干渉計 φ25.4 ホルダー φ30 ベース 光源 手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド φ40 φ40・□50.8 φ50 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ MAX10 3〜5 3〜5 3〜5 3〜5 MAX6 MAX8 MAX8 MAX6 MAX6 MAX10 MAX10 MAX10 MAX10 MAX10 MAX10 MAX10 3〜5 3〜5 3〜5 3〜5 MAX8 MAX12 MAX12 φ50.8 φ60 マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー φ80 アクセサリ・ メンテツール φ100 φ130 φ150 φ200 φ254 φ300 5〜8 5〜8 5〜8 MAX11 MAX15 MAX15 MAX11 MAX11 MAX17 MAX17 MAX17 5〜8 5~8 MAX11 MAX17 MAX17 5〜8 5〜8 5〜8 MAX17 MAX17 MAX11 MAX17 MAX17 MAX15 MAX19 MAX19 7〜12 MAX14.5 MAX18 MAX18 MAX28 10〜15 MAX17 MAX20 MAX38 MAX40 MAX54 MAX54 品名 ジンバル式上操作ミラー・ビームスプリッターホルダー キネマティックミラーホルダー ジンバル式小型ビームスプリッターホルダー ジンバル式小型ビームスプリッターホルダー ジンバル式上操作ミラー・ビームスプリッターホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ジンバル式上操作ミラー・ビームスプリッターホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー(量産型) キネマティックミラーホルダー(高安定型) キネマティック式小型ミラーホルダー キネマティック式小型ミラーホルダー キネマティック式小型ミラーホルダー キネマティック式小型ミラーホルダー キネマティック式精密ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ジンバル式精密ビームスプリッターホルダー ジンバル式ビームスプリッターホルダー ジンバル式上操作ミラーホルダー キネマティック式上操作精密ミラーホルダー キネマティック式上操作ミラーホルダー ジンバル式精密ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式精密ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー 接近型精密ミラーホルダー 接近型精密ミラーホルダー 接近型ミラーホルダー 接近型ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー(量産型) キネマティックミラーホルダー(高安定型) ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式小型ミラーホルダー キネマティック式小型ミラーホルダー ジンバル式精密ビームスプリッターホルダー ジンバル式ビームスプリッターホルダー ジンバル式上操作ミラー・ビームスプリッターホルダー ジンバル式上操作ミラーホルダー キネマティック式上操作精密ミラーホルダー キネマティック式上操作ミラーホルダー ジンバル式精密ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式精密ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー ジンバル式上操作ミラー・ビームスプリッターホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー ワンタッチ式ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー キネマティック式上操作精密ミラーホルダー キネマティック式上操作ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー キネマティック式ミラーホルダー ジンバル式大型精密ミラーホルダー キネマティックミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー ジンバル式ミラーホルダー ジンバル式大型精密ミラーホルダー ジンバル式大型精密ミラーホルダー ジンバル式大型精密ミラーホルダー ジンバル式大型精密ミラーホルダー 調整方法 素子固定方法 ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ マイクロ マイクロ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ 差動マイクロ ネジ ネジ 差動マイクロ マイクロ ネジ 差動マイクロ マイクロ 差動マイクロ マイクロ 差動マイクロ マイクロ ネジ 差動マイクロ 差動マイクロ マイクロ マイクロ ネジ ネジ ネジ ネジ マイクロ マイクロ ネジ ネジ ネジ 差動マイクロ マイクロ ネジ ネジ 差動マイクロ マイクロ 差動マイクロ マイクロ 差動マイクロ マイクロ ネジ ネジ ネジ マイクロ マイクロ ネジ ネジ ネジ ネジ 差動マイクロ マイクロ マイクロ マイクロ ネジ ネジ マイクロ ネジ ネジ ネジ マイクロ ネジ ネジ ネジ ネジ ネジ 差動マイクロ 差動マイクロ 差動マイクロ 差動マイクロ ネジリング 3点接触 ネジリング ネジリング ネジリング ワンタッチ ワンタッチ ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触 3点接触 アダプタ・貼付 アダプタ・貼付 アダプタ・貼付 アダプタ・貼付 ネジリング ワンタッチ ワンタッチ ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触 3点接触 3点接触 3点接触 ワンタッチ ワンタッチ 3点接触 3点接触 ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触・貼付 3点接触・貼付 ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触 ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ワンタッチ ワンタッチ 3点接触 ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触 ネジリング ネジリング ネジリング 3点接触 3点接触 ネジリング ネジリング 3点接触 3点接触 3点接触 3点接触 品番 NEW BSHL-12.7B NEW MHG-MP12.7 BSH-15B BSH-15B NEW BSHL-15B MHF-20 MHF-20F NEW BSHL-25.4 MHAN-25.4M MHB-25.4M MHB-25.4S MHG-MP25 MHG-HS25 MMHN-25H MMHN-25M6 MMHN-25RH MMHN-25RM6 MHB-25.4DM MHF-25.4 MHF-25.4F BHAN-30DM BHAN-30M LMHA-30 LMHB-30DM LMHB-30M MAHN-30DM MAHN-30M MHB-30DM MHB-30M MHB-30S MHE-30DML MHE-30DMR MHE-30ML MHE-30MR MHF-30 MHF-30F MHG-MP30 MHG-HS30 MHAN-40M MHB-40M MHB-40S MMH-50H MMH-50M6 BHAN-50DM BHAN-50M NEW BSHL-50 LMHA-50 LMHB-50DM LMHB-50M MHAN-50DM MHAN-50M MHB-50DM MHB-50M MHB-50S NEW MHG-MP50 NEW BSHL-50.8 MHAN-50.8M MHB-508M MHB-50.8S MHF-50.8 MHF-50.8F NEW MHG-MP50.8 LMHB-60DM LMHB-60M MHAN-60M MHB-60M MHB-60S MHA-80S MHB-80M MHB-80S MHG-80 MHA-100S MHB-100M MHB-100S MHD-100 MHG-100 MHA-130S MHA-150S MHD-150 MHD-200 MHD-254 MHD-300 価格 〔¥〕 23,000 12,000 23,000 22,000 23,000 11,000 10,000 24,000 25,000 30,000 27,000 8,000 10,000 10,000 11,000 10,000 11,000 40,000 12,000 11,000 50,000 30,000 35,000 47,000 33,000 43,000 25,000 40,000 30,000 27,000 55,000 55,000 41,000 41,000 13,000 12,000 8,000 10,000 27,000 33,000 30,000 18,000 18,000 55,000 35,000 35,000 39,000 52,000 36,000 46,000 28,000 45,000 35,000 32,000 15,000 35,000 28,000 35,000 32,000 16,000 15,000 15,000 56,000 40,000 34,000 38,000 34,000 40,000 42,000 38,000 30,000 45,000 50,000 46,000 110,000 38,000 50,000 55,000 130,000 160,000 180,000 250,000 納期の 目安 A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A A 問 A 問 問 問 問 問 問 納期 A…受注後1週間、問…要問合せ C26 www.sigma-koki.com *[email protected] ビーム その他の ビーム ビーム ファイバー 終端 素子・試料 シャッター 整形 レーザ フィルター 偏光子 プリズム レンズ スプリッター ミラー ミラーホルダー Mirror Holders ミラーホルダー素子サイズ別一覧 ストローク あおり 回転 〔〕 〔〕 ±1.5 ±3 ±2 ±2 ±1.5 ±3 ±3 ±1.2 ±4 ±4.3 ±4.3 ±3 ±3 ±5 ±5 ±5 ±5 ±2.8 ±3 ±3 ±4 ±4 ±4 ±2.8 ±2.8 ±4 ±4 ±2.8 ±4.3 ±4.3 ±8 ±8 ±8 ±8 ±3 ±3 ±3 ±3 ±4 ±3.7 ±3.7 ±4 ±4 ±3 ±4 ±1.4 ±4 ±1.8 ±1.8 ±3 ±4 ±2.4 ±2.4 ±2.4 ±2 ±1.4 ±4 ±2.4 ±2.4 ±3 ±3 ±2 ±1.8 ±1.8 ±4 ±2.8 ±2.8 ±3.5 ±2.3 ±2.3 ±2 ±3.4 ±1.9 ±1.9 ±5.7 ±2 ±2.9 ±2.5 ±4.3 ±3.4 ±2.8 ±2.3 ±1.2 ±3 ±1.4 ±1.4 ±1.2 ±3 ±3 ±1.1 ±4 ±4.3 ±4.3 ±3 ±3 ±5 ±5 ±5 ±5 ±2.8 ±3 ±3 ±4 ±4 ±4 ±2.8 ±2.8 ±4 ±4 ±2.8 ±4.3 ±4.3 ±5.5 ±5.5 ±5.5 ±5.5 ±3 ±3 ±3 ±3 ±4 ±3.7 ±3.7 ±4 ±4 ±3 ±4 ±1.5 ±4 ±1.8 ±1.8 ±4 ±4 ±2.4 ±2.4 ±2.4 ±2 ±1.5 ±4 ±2.4 ±2.4 ±3 ±3 ±2 ±1.8 ±1.8 ±3 ±2.8 ±2.8 ±5 ±2.3 ±2.3 ±2 ±3.4 ±1.9 ±1.9 ±5.7 ±2 ±4 ±3.5 ±4.3 ±3.4 ±2.8 ±2.3 ネジピッチ 粗動(微動) 〔mm〕 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.5 0.5 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.5(0.05) 0.5 0.5 0.5(0.05) 0.5(0.05) 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.25 0.5 0.5 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.5(0.05) 0.5 0.5 0.25 0.25 0.25 0.5 0.5 0.25 0.25 0.25 0.5(0.05) 0.25 0.25 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.25 0.5 0.5 0.5 0.6(0.02) 0.25 0.5 0.5 0.6(0.02) 0.6(0.02) 0.6(0.02) 0.6(0.02) 1回転あたりの分解能 あおり 回転 〔 /回転〕 〔 /回転〕 約0.27 約0.74 約0.27 約0.27 約0.27 約0.72 約0.72 約0.2 約0.54 約0.62 約0.62 約0.39 約0.39 約0.9 約0.9 約0.9 約0.9 粗:約0.62 約0.57 約0.57 粗:約1.08 約0.54 約0.6 粗:約0.57 ̶ 粗:約1.08 約0.54 粗:約0.62 約0.62 約0.62 粗:約1.4 粗:約1.4 ̶ ̶ 約0.48 約0.48 約0.39 約0.39 約0.45 約0.46 約0.46 約0.38 約0.38 粗:約0.71 約0.31 約0.16 約0.6 粗:約0.36 ̶ 粗:約0.71 約0.31 粗:約0.4 約0.4 約0.4 約0.26 約0.16 約0.31 約0.4 約0.4 約0.3 約0.3 約0.26 粗:約0.36 ̶ 約0.31 約0.35 約0.35 約0.49 約0.29 約0.29 約0.18 約0.35 約0.24 約0.24 粗:約0.57 約0.13 約0.3 約0.26 粗:約0.43 粗:約0.34 粗:約0.28 粗:約0.23 約0.27 約0.74 約0.27 約0.27 約0.27 約0.72 約0.72 約0.22 約0.68 約0.62 約0.62 約0.39 約0.39 約0.9 約0.9 約0.9 約0.9 粗:約0.62 約0.57 約0.57 粗:約1.35 約0.68 約0.6 粗:約0.57 ̶ 粗:約1.35 約0.68 粗:約0.62 約0.62 約0.62 粗:約1.4 粗:約1.4 ̶ ̶ 約0.48 約0.48 約0.39 約0.39 約0.6 約0.46 約0.46 約0.38 約0.38 粗:約0.95 約0.48 約0.2 約0.4 粗:約0.36 ̶ 粗:約0.95 約0.48 粗:約0.4 約0.4 約0.4 約0.26 約0.2 約0.48 約0.4 約0.4 約0.3 約0.3 約0.26 粗:約0.36 ̶ 約0.41 約0.35 約0.35 約0.72 約0.29 約0.29 約0.18 約0.52 約0.24 約0.24 粗:約0.57 約0.13 約0.42 約0.38 粗:約0.43 粗:約0.34 粗:約0.28 粗:約0.23 1目盛りあたりの分解能 あおり 回転 〔 /1DIV〕 〔 /1DIV〕 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.012 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 微:約0.001 ̶ ̶ 微:約0.002 ̶ ̶ 微:約0.0011 約0.006 微:約0.002 ̶ 微:約0.001 約0.012 ̶ 微:約0.003 微:約0.003 約0.014 約0.014 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.009 ̶ ̶ ̶ 微:約0.001 ̶ ̶ ̶ 微:約0.0007 約0.004 微:約0.001 ̶ 微:約0.0008 約0.008 ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.008 ̶ ̶ ̶ ̶ 微:約0.0007 約0.004 ̶ 約0.007 ̶ ̶ 約0.005 ̶ ̶ ̶ 約0.005 ̶ 微:約0.0008 ̶ ̶ ̶ 約0.0006 約0.0005 約0.0004 微:約0.0003 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.012 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 微:約0.001 ̶ ̶ 微:約0.002 ̶ ̶ 微:約0.0011 約0.006 微:約0.002 ̶ 微:約0.001 約0.012 ̶ 微:約0.003 微:約0.003 約0.014 約0.014 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.009 ̶ ̶ ̶ 微:約0.002 ̶ ̶ ̶ 微:約0.0007 約0.004 微:約0.002 ̶ 微:約0.0008 約0.008 ̶ ̶ ̶ ̶ 約0.008 ̶ ̶ ̶ ̶ 微:約0.0007 約0.004 ̶ 約0.007 ̶ ̶ 約0.005 ̶ ̶ ̶ 約0.005 ̶ 微:約0.0008 ̶ ̶ ̶ 微:約0.0006 微:約0.0005 微:約0.0004 微:約0.0003 質量 〔kg〕 0.07 0.04 0.07 0.06 0.07 0.11 0.06 0.09 0.4 0.3 0.3 0.12 0.12 0.03 0.09 0.03 0.09 0.37 0.12 0.07 0.45 0.4 0.53 0.44 0.44 0.47 0.4 0.37 0.3 0.3 0.49 0.49 0.43 0.43 0.15 0.1 0.12 0.12 0.6 0.6 0.6 0.2 0.26 0.55 0.5 0.36 0.88 0.75 0.75 0.58 0.7 0.77 0.7 0.7 0.24 0.36 0.7 0.7 0.7 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C46 C46 C46 C34 C34 C29 C29 C40 C36 C36 C33 C33 C42 C42 C43 C43 C38 C38 C40 C40 C36 C36 C36 C29 C43 C40 C36 C36 C34 C34 C29 C38 C38 C40 C36 C36 C40 C36 C36 C29 C40 C36 C36 C43 C29 C40 C40 C45 C45 C45 C45 マイクロ 粗微動 m メータ s ネジ式 M マイクロ . ロ有ック機構 , 付属ビス - ロッドの ネジサイズ 干渉計 ホルダー ベース 光源 手動ステージ X軸 XY軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸 回転 ゴニオ・傾斜 多軸 M6 直動ガイド 自動ステージ ピエゾ ステッピング スケール付 ACサーボ ソフトウェア ケーブル オプション アクチュエータ マイクロメータ・ 微調ネジ ブラケット・ スペーサー アクセサリ・ メンテツール C27
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