オールインワン 小型リニアモータ silmo series (Smart lntegrated Linear Motor) Smart Integrated Linear Motor RoHS 指令 対応 RoHS Directive Compliance http://ccj.citizen.co.jp/ コンパクトに一体化した オールインワンの 小型リニアモータ silmo series 高分解能 リニアエンコーダ High Resolution Linear Encoder ALL IN ONE 3 相駆動 Smart Integrated Linear Motor リニアモータ （センサレス） リニアガイド 3 Phases Driver Linear Motor （軸受け） Linear Guide (Sensor Less) (Bearing) A compact all-in-one miniaturized linear motor 精密位置決め Precision positioning 光学系システムを搭載し、絞りやシャッタが必要な装置 ● 半導体、液晶の製造装置 ● 医療機器など The device that has an optical system, and a diaphragm and a shutter are required. ● ● 長さ・厚さ・位置等の測定器 ● 工業計測 ● 自動測定システム Semiconductor Equipment Medical Equipment Measurement Equipment such as length, thickness and positioning. ● ● Industrial measurement Automatic measurement system 目 次 Contents ご注文時の型式説明・特長・システム構成 ..................................................................................................... Reference to Model No., Special Features, System Configurations P.2 内部構造 ...................................................................................................................................................... Internal Structure P.3 シリンダタイプ SLS シリーズ モータ仕様・外形寸法 ................................................................................ Cylinder type of SLS Series : Motor specification and External Dimensions P.4 スライダタイプ SLR シリーズ モータ仕様・外形寸法 ................................................................... Slider type of SLR Series : Motor specification and External Dimensions P.5 ∼ P.6 サーボドライバ仕様・機能・ブロック図／カスタマイズ対応 .............................................................. Servo Driver specification, Function, Circuit Configuration/Customized information P.7 ∼ P.8 用語説明 ......................................................................................................................................... P.9 ∼ P.10 Terms and Definitions 1 ご注文時の型式説明 Reference to Model No. SLS-10-R20-1 外 径 (mm) Outer diameter 機種 S : シリンダタイプ R : スライダタイプ Type ストローク (mm) Stroke エンコーダ分解能 Encoder resolution 1 : 0.625μm/pls 2 : 0.078125μm/pls 先端形状 （SLS のみ） R：球面先 （SLS のみ） H：平先 （SLR のみ） N：先端ネジ穴タイプ Tip type S : Cylinder type R : Slider type R：Tip with spherical point（SLS only） （SLS only） H：Tip with flat point N：Tip with tapped hole （SLR only） 特 長 Special Eeatures ● コンパクトに一体化したオールインワンのリニア モータです。 ● モータ部は、スロットレスコイルによるコキング の無い構造、3 相正弦波駆動方式による滑らかな 動作を実現。 ● 小型化かつ高分解能なエンコーダを搭載。 ● 最小径φ10 のシリンダタイプを基本にニーズに合 わせモータ、ガイド、エンコーダのレイアウトを 変更したカスタマイズが可能です。 ● 位置制御モードと推力制御モードが可能な専用の サーボドライバを用意。 ● 推力制御モード使用で任意の推力による測長が 可能です。 A compact all-in-one linear motor. The motor part structure has no cogging, and the fluent movement is implemented by 3-phase sine wave drive methods. ● Miniaturization and high resolution are implemented for encoder part. ● Based on the cylinder type of the smallest diameter φ 10, it is possible to customise as per request by changing the layout of motor, guide and encoder. ● An exclusive servo driver that contains a position control mode and a thrust control mode is available. ● Possible to measure the length by an arbitrarily thrust control at a thrust control mode. ● ● ■ システム構成 System Configurations 上位コントローラ、 パルスカウンタ 等 Higher rank Controller, Pulse Counter etc. リニアモータ ● 接続ケーブル Connection n Cable Linear Motor ドライバ ● Driver LMD-02-070 SLR Series 電源 Power DC24V 5V 電源ケーブル ル Power Cable ble PC ブル USB ケーブル USB Cable リニアモータ ● 接続ケーブル（別売り） Connection Cable 型式 Model ：MA-119-020 長さ Length：2,000 mm Linear Motor SLS Series 2 内 部 構 造 Internal Structure シリンダタイプ Cylinder type SLS series マグネット ( シャフトと一体化 ) Magnet (Integrated with the shaft) コイル Coil スプラインシャフト Spline shaft 先端子 Tip shape エンコーダ部 Encoder section モータ部 タ部 Motor section ボールスプライン ( 軸受け ) Ball spline (Bearing) スライダタイプ Slider type マグネット Magnet SLR series リニアスケール Linear scale コイル Coil 位置決めピン Positioning pin 可動部 Movable part エンコーダ部 Encoder section ストッパ Stopper モータ部 Motor section リ リニアスライドレール ( 軸受け ) Linear slide rail (Bearing) 3 シリンダタイプ Cylinder type SLS series SLS-10 SLS-15 SLS-20 ■ モータ仕様 Motor Specification Parameter 項 目 単 位 Unit 24V 印加時最大推力 Maximum thrust (at 24V) 定格推力 ※ 1 Rated thrust ※ 1 推力定数 Thrust constant 最高速度 Maximum speed 最高加減速度 ※ 2 Maximum acceleration ※ 2 使用環境温度・湿度 Operating ambient temperature/humidity 保存環境温度・湿度 Storage temperature/humidity 可動部質量 Mass of moving part ストローク Stroke エンコーダ分解能 ※3 Encorder resolution N N N/ A m/sec m/sec2 ー ー kg mm ※3 μm/Pulse 繰返し精度 ※ 4 Repeatable Accuracy 軸受け構造 Bearing structure 重量（ケーブル除く） Weight（Cable excluded） ドライバ Driver ※4 SLS-10 △ 20 SLS-15 △ 20 SLS-20 △ 20 18.0 10.0 4.0 4.3 2.6 1.2 8.0 6.0 4.2 1.0 1.0 1.0 50.0 50.0 50.0 0 ∼ 50℃ 80％ RH 以下 結露なきこと Below 80％ RH without bedewing -20 ∼ 75℃ 80％ RH 以下 結露なきこと Below 80％ RH without bedewing 0.015 0.034 0.060 20 0.625（8 逓倍時 at 8Multiplication）／ 0.078125（64 逓倍時 at 64Multiplication） 光学式インクリメンタル（差動出力）Optical Incremental (Differential output) ±4 Pulse ボールスプライン Ball spline kg 0.06 0.14 LMD-02-070-010 ※ 1 ： 定格（連続で発生できる）推力はご使用環境により変動します。 （上記は水平時、周囲環境温度 25℃時の値です。） ※ 2：ワーク重量や摺動抵抗を想定しない理論値です。 最大加速度＝最大推力÷ ( 可動部質量×重力加速度（9.8m/s2）) ※ 3：分解能は出荷時固定となります。 ※ 4：先端子または可動部の位置決め精度（サーボ振動含む） LMD-02-070-020 0.23 LMD-02-070-030 ※ 1：The rate (occurs continuously) thrust is fluctuate by use environment. (The value above shows when horizontally and the ambient is 25℃ .) ※ 2：It is a theoretical value of without assuming work weight and slide resistance. Max Acceleration = Max thrust ÷ (Movable Part x Acceleration of Gravity（9.8m/s2）) ※ 3：Resolution is fixed at our factory. ※ 4：Positioning precision of the tip or the movable part (including servo vibration). ■ 外形寸法 Outside Configuration（unit：mm） 10 2×M2×P0.4 貫通 SLS-15 △ 20 139.5 10 5 2×M3×P0.5 貫通 142.5 24 18.5 Thru φ10 Stroke φ9 −00.01 20（ストローク） 10 ● 5 16 12.5 Thru φ2.9 SLS-10 △ 20 φ3.9 ● 0 SLS-20 △ 20 10 5 142.5 φ3.9 0 Stroke φ20 20（ストローク） 4×M2×P0.4 φ16.5中心円上 φ12 −0.01 ● φ15 Stroke 15 φ12 −0.01 20（ストローク） 4 スライダタイプ Slider type SLR series SLR-13 SLR-16 SLR-21 ■ モータ仕様 Motor Specification Parameter 項 目 Maximum thrust (at 24V) 定格推力 ※ 1 Rated thrust ※ 1 推力定数 Thrust constant 最高速度 Maximum speed 最高加減速度 ※ 2 Maximum acceleration ※ 2 使用環境温度・湿度 Operating ambient temperature/humidity 保存環境温度・湿度 Storage temperature/humidity 可動部質量 Mass of moving part ストローク Stroke エンコーダ分解能 ※3 Encorder resolution SLR-13 △ 20 単 位 Unit 24V 印加時最大推力 ー ー kg mm ※3 繰返し精度 ※ 4 Repeatable Accuracy 軸受け構造 Bearing structure 重量（ケーブル除く） Weight（Cable excluded） ドライバ Driver 20 光学式インクリメンタル（差動出力）Optical Incremental (Differential output) ±4 Pulse リニアスライドレール Linear slide rail 0.18 kg 0.23 LMD-02-070-010 ※ 1 ： 定格（連続で発生できる）推力はご使用環境により変動します。 （上記は水平時、周囲環境温度 25℃時の値です。） ※ 2：ワーク重量や摺動抵抗を想定しない理論値です。 最大加速度＝最大推力÷ ( 可動部質量×重力加速度（9.8m/s2）) ※ 3：分解能は出荷時固定となります。 ※ 4：先端子または可動部の位置決め精度（サーボ振動含む） LMD-02-070-030 ※ 1：The rate (occurs continuously) thrust is fluctuate by use environment. (The value above shows when horizontally and the ambient is 25℃ .) ※ 2：It is a theoretical value of without assuming work weight and slide resistance. Max Acceleration = Max thrust ÷ (Movable Part x Acceleration of Gravity（9.8m/s2）) ※ 3：Resolution is fixed at our factory. ※ 4：Positioning precision of the tip or the movable part (including servo vibration). 12 8 SLR-13 △ 20 0.37 LMD-02-070-020 ■ 外形寸法 Outside Configuration（unit：mm） ● SLR-21 △ 20 0.625（8 逓倍時 at 8Multiplication）／ 0.078125（64 逓倍時 at 64Multiplication） μm/Pulse ※4 SLR-16 △ 20 18.0 10.0 4.0 4.8 2.8 1.3 8.0 6.0 4.2 1.0 1.0 1.0 50.0 50.0 50.0 0 ∼ 50℃ 80％ RH 以下 結露なきこと Below 80％ RH without bedewing -20 ∼ 75℃ 80％ RH 以下 結露なきこと Below 80％ RH without bedewing 0.031 0.049 0.088 N N N/ A m/sec m/sec2 4 Depth M2深サ4 原点位置 67.5 Original Position 10 16 ワーク固定ネジ穴 2箇所 Screw hole for fixed work: 2 holes 4 Depth −0.02 φ2.5−0.08 2.5 M3深サ4 先端子、 ワーク取り付けネジ穴 Screw hole for tip or work ワーク位置決めピン 2箇所 Positioning pin for work: 2 pins 20 Stroke 19 25 ストローク 110 5 Depth モータ位置決めピン穴 Pin hole for motor positioning φ2.5 80 3.5 ＋0.01 0 深サ5 5 Depth 15 6.5 2.5 0 ＋0.01 深サ5 13 5 Depth M3深サ5 モータ固定用ネジ穴 3箇所 Screw hole for fixed motor: 3 holes 5 40 40 9 スライダタイプ Slider type SLR series SLR-16 △ 20 原点位置 67.5 Original Position 10 12 8 ● M2深サ4 4 Depth 16 ワーク固定ネジ穴 2箇所 4 Depth Screw hole for fixed work: 2 holes −0.02 2.5 M3深サ4 先端子、 ワーク取り付けネジ穴 Screw hole for tip or work φ2.5−0.08 ワーク位置決めピン 2箇所 Positioning pin for work: 2 pins 20 ストローク 23 29 Stroke 110 モータ位置決めピン穴 5 Depth ＋0.01 深サ5 16 Pin hole for motor positioning φ2.5 3.5 0 深サ5 5 Depth 15 8 2.5 0 ＋0.01 80 5 Depth M3深サ5 40 40 9 モータ固定用ネジ穴 3箇所 Screw hole for fixed motor: 3 holes SLR-21 △ 20 4 Depth M3深サ4 ワーク固定ネジ穴 2箇所 原点位置 11 11 17 Screw hole for fixed work: 2 holes 68 Original Position 17 4 Depth M3深サ4 −0.02 φ2.5−0.08 2.5 先端子、 ワーク取り付けネジ穴 Screw hole for tip or work ワーク位置決めピン 2箇所 Positioning pin for work: 2 pins 20 ストローク 29 Stroke 110 21 5 Depth Pin hole for motor positioning 80 3.5 φ2.5 ＋0.01 0 深サ5 5 Depth 15 0 ＋0.01 深サ5 モータ位置決めピン穴 10.5 2.5 35 ● 5 Depth M3深サ5 モータ固定用ネジ穴 3箇所 40 40 9 Screw hole for fixed motor: 3 holes 6 サーボドライバ Servo Driver ■ 外形寸法・取り付け寸法図 Outside Configuration & Install Dimension （Unit：mm） 82±0.2 75 5 80 0 5 75 75 銘板 Name plate +0.2 15 4×M3 5 4×M3 25 31±0.5 ■ Specification ■仕様 項 目 モータ電源 数値または内容 Parameter 24V(20 ∼ 40V) Motor power supply 24V(20 ∼ 40V) 制御 I/O 電源 5V ± 10% Power supply for I/O signal 5V ± 10% 定格出力電流 3A Rated output current 3A モータ駆動方式 3 相正弦波 PWM 方式 Motor Driving system 3-phase sine wave PWM モータ制御モード 位置制御／推力（トルク）制御 Motor control Position control ／ Thrust (torque) control ・Pulse/ Direction pulse system ・2 相パルス入力方式 Command pulse input system (Speed/Position control) 推力指令入力 0 ∼＋ 10V（アナログ） Directed voltage(Thrust control) 0 ∼＋ 10V（Analog） 外形寸法 80(W) × 31(H) × 82(D) Outside dimension 80(W) × 31(H) × 82(D) 100g Weight 100g 速度、変位制御 指令入力方式 （パルス列入力方式） 重 量 ・パルス方向入力方式 ・前進、後進パルス入力方式 項 目 ・Forward/ Backward pulse system ・2-phase pulse system ■ Function ■機能 内 容 Parameter Contents 入力信号 サーボ ON、アラームリセット、ゲインロー 切り替え、原点復帰、推力制御切り替え、 前進禁止リミット、後退禁止リミット Input signal Servo ON, Alarm reset, Gain low switching, Origin return, Thrust control switching, Forward prohibition, Backward prohibition 出力信号 アラーム（過負荷、エンコーダエラー、フルカ ウント、過電流、高温異常 等）インポジション、 サーボレディ、エンコーダ出力 （A, B, Z 相） Output signal Alarm (Overload, Encoder error, Full count, Over current, Over heat, others), In-position, Servo ready, Encoder output (A,B,Z-phase) 保護機能 過電圧、過電流、低電圧、オーバーヒート、 エンコーダエラー、位置偏差過大 Protection Over voltage, Over current, Low voltage, Over heat, Encoder error, Over location deviation 表示ランプ 電源 ON、インポジション、 アラーム（7SEG 表示） Indicator lamp Power ON, In-position, Alarm (7 segment display) Others Parameters can be set by USB cable. Auto position control by a program. Position control by manually operated.(by an accompanying software) USB 通信によるパラメータ設定、プログラム その他 7 Value/ Contents による自動位置決め動作、マニュアル位置決 め動作 （付属のソフトウェアを使用） サーボドライバ Servo Driver ■ ブロック図 Block diagram POW LED 緑 Green インターフェース回路 0/+5V 7 segment モニタ出力 1 Monitor output 1 モニタ出力 2 Monitor output 2 D/A A、B エンコーダ Encorder エンコーダ Limit sensor CPU Encorder LSF、LSR、ORG リミットセンサ /CW /CCW /SVON /RESET /G-LOW /TRQ /INPOS /ALAM /Z /A /B TRQ REF 7 セグ 0/+5V Interface circuit ABphase phase A相B相 アラーム表示 Alarm display MON1 MON2 TESTPIN TESTPIN リミットセンサ 位置制御 速度制御 電流制御 Limit sensor CW、CCW 指令パルス Command pulse Position control Speed control Current control DO OH OV LV OC D1 PWM 通信 Communications 10b A/D 電源モニタ Power monitoring BUF AMP OH OV LV USB 変換 USB OC U相 U-phase V相 V-phase E2ROM 電源リセット USB パラメータ設定 Parameter setting conversion 電圧変換 過電流検出 Power reset 過電圧検出 Over voltage detection 低電圧検出 Low voltage detection Voltage converting Overcurrent detection Overheat detection 高温検出 P15V PWM パワー部 Power units Current sensor P+V + U V W U V W ゲートドライブ回路 P15V Gate drive circuit P+V モータ電源 Motor power supply 470uF DC+24V VCC 制御電源 Power supply for signal +5V リミットセンサ Limit sensor PG 470uF DV/DV PG ゲート電源 Gate power 220uF 6.1V GND カスタマイズ対応 For Customize フルカスタマイズ例 ■ モータ仕様の変更からフルカスタマイズまで対応いたします。 詳細は、お問い合わせください。 Fully customizable example Changing motor specifications and fully customized models are available to meet our customers' requirement. Please contact us for more details. ■ ケーブル長さ ■ 取付穴、位置決め穴の位置や形状 ■ 先端子形状 など ■ ■ ■ ■ ● 3 軸が 1 枚のベースに一体化して搭載されています。 Three Silmos in one loaded on the base. ストローク変更 推力定数変更 軸受けサイズ変更 グリス変更 など ■ 特殊形状 ■ 多軸一体化 など ■ Cable Length ■ Screw/pin holes, position/form for positioning holes ■ Tip type ■ ■ ■ ■ Stroke Thrust constant Bearing Grease ■ Customized Shapes ■ Multi Silmos in one. 8 用語・定義 シリーズ シリーズ リニアモータ 用語・定義 silmosiLmo ■ 定格推力： ■ 分 解 能 ： 常温（25℃ ) 環境、水平姿勢の状態で連続して発生できる推力の値です。 これ以上の推力を連続で発生させ続けると発熱によりモータが破損する可能性があります。 モータ表面温度が 60℃以下になるようにご使用ください。 周囲温度、ワークの重さ、設置姿勢、加減速度、放熱の程度等により定格値（連続で発生できる推力）は変化しますので、 ご不明な点はご相談ください。 理論上の最小動作単位。 外部より指令パルスを入力して動作させる場合、入力機器の性能により速度が制限されてしまう可能性があります。 以下の表をご確認ください。 ● 最高速度 1m/sec で動作させる場合に必要な入力指令パルス条件 項 目 単 位 SLR シリーズ SLR シリーズ 分 解 能 μm/pulse 指令速度 pulse/sec 0.625 1,600,000 0.071825 12,800,000 ■ 繰返し精度： 同じ目標位置に対して位置命令により繰返し位置決めを行った際のばらつきの幅 ( 実測値）。 正 ( 前進方向 ) 及び負（後退方向 ) の向きから順次 5 回位置決めを行い、最大値と最小値の差を繰り返し精度とします。 目標位置 停止位置 前進 1 回目 後退 2 回目 5 回目 繰り返し精度 ● ● ■ 最大速度： 分解能 0.625 μ m/pulse のモデルでは± 4 × 0.625 μ m/pulse = ± 2.5 μ m 以下 分解能 0.071825 μ m/pulse のモデルでは± 4 × 0.071825 μ m/pulse = ± 0.3125 μ m 以下となります。 水平姿勢、無負荷の条件で、LMD-02-070 により駆動した場合の到達速度の最大値 ( 実測値）。 ■ 最大加減速度：水平姿勢、無負荷の条件で、LMD-02-070 により駆動した場合の到達加速度、減速度の最大値 ( 実測値）。 ■ 原点復帰： 専用ドライバ LMD-020-070 における原点復帰シーケンスは次の通りです。 エンコーダの Z 相レベル (H or L) の変化を利用しております。 原点位置 メカストッパ Z 層レベル ❶ サーボ ON 状態から後退する。 ❷ メカストッパへの突き当たりを検出し、前進する。 ❸ L→H に切り替わる位置を検出し、更に前進。 ❹ H→L に切り替わる位置を検出し、停止。 ❺ 後退し H→L に切り替わるエッジ (❹で検出した位置 ) に位置決め。原点復帰完了 ● 電源投入時のサーボ ON について 電源投入後初めてサーボ ON する場合は、可動部の位置を認識（磁極検知）するために可動部が 1mm 程度動く場合 があります。また、可動部がメカストッパに突き当たっている状態ですと、磁極検知ができず動作不良になる場合が あります。電源投入後初めてサーボ ON する場合は、可動部からメカストッパまでの距離を 1mm 以上空けるよう にしてください。 9 silmo Terms and Definitions series ■ Rated thrust: The thrust value while operated continuously in a state of horizontal posture under normal temperature（25℃ ).The motor may be damaged by heat if a further thrust is produced continuously. Motor surface temperature should be no more than 60°. Rated value (thrust produced continuously) can be varied by ambient temperature, weight of the work, setting posture, acceleration and deceleration, and degree of the heat radiation.Please contact us for further assistance. ■ Resolution: The theoretical smallest movement unit. The speed may be limited when a command pulse is input by an outside controller. This happens due to an input apparatus performance. Please refer the following table. ● The input pulse condition that is necessary when operated by the maximum speed 1m/sec. Unit SLR series SLR series Resolution Parameter μm/pulse Command Speed pulse/sec 0.625 1,600,000 0.071825 12,800,000 ■ Repeatable Accuracy: The width variations (actual value) in the actual position when commanded to return repeatedly to the same point. Operating the positioning to the target positions from the forward and backward directions five times. The difference between max.value and min.value is defined as repeatable accuracy. Target position Stop position Forward First time Backward Second time Fifth time Repeatable accuracy e.g. Resolution 0.625 μ m/pulse is not more than ± 4 × 0.625 μ m/pulse= ± 2.5 μ m e.g. Resolution 0.071825 μ m/pulse is not more than ± 4 × 0.071825 μ m/pulse= ± 0.3125 μ m ■ Max speed: Max.value (actual value) of arrival speed that driven by LMD-02-070 under conditions of horizontal posture and no load. ■ Max. acceleration and deceleration speed: Max.value (actual value) of acceleration and deceleration that driven by LMD-02-070 under conditions of horizontal posture and no load. ■ Origin Return: Origin return sequence by the exclusive driver LMD-020-070 is as follows:Using encorder Z phase level (H or L). Original position Machine stopper Z phase level ❶ Reverse from Servo ON status. ❷ Detect and forward a machine stopper end. ❸ Detect a changing position form L to H, and forward further. ❹ Detect a changing position form H to L, and stop. ❺ A position is decided at the changing edge from H to L after going back (a position detected at ④). Origin return is completed. ● Regarding Servo ON (the power supply: ON status) When the Servo is ON for the first time after the power supply is activated, a moving part may move around 1mm in order to recognise (magnetic pole detection) the position of a moving part. Also, the moving part may become poor in movement if the moving part is facing to a machine stopper without detecting a magnetic pole. Keep the distance between a machine stopper and the moving part 1mm or more when the Servo is ON for the first time after the power supply is activated. 10 アプリケーション 半導体製造装置：ステッパー、ダイシング、成膜装置、ターボ分子ポンプ、洗浄装置、検査装置 情報処理・OA：プロッタ、 記憶装置、銀行端末 通信：光ファイバ融着接続機、光コネクタ製造装置 医療機器：超音波診断装置、歯科用機器、 X 線 機 器、 遠 心 分 離 機、 人 工 心 臓、 検 査 機 器 検 査 装 置： デ ィ ス ク 検 査 装 置、 電 子 顕 微 鏡、 コ ネ ク タ 検 査 装 置 精密計測機器：三次元測定器、光学機器、実験用機器 各種工作機械：バリ取り加工機、研削機、プリント基板穴あけ 加工機、鏡面加工機 FA & ロボット：画像処理、ロボット、アクチュエータ、ネジ締め機、カードリーダー、搬送機器 レーザ関連：レーザマーカ、レーザ顕微鏡、レーザスキャナ 各種機械：自動組立機、溶接機、高速巻線機、テープ巻取機 当 社 製 品 例 Product Lineup コアレス DC モータ ブラシレスモータ AC サーボモータ リニアアクチュエータ Coreless DC Motor Brushless Motor AC Servomotor Linear Actuator エンコーダ・タコメータ スピンドルモータ ガルバノ光学スキャナ ギアヘッド Encoder & Tacho SpindleMotor Galvanometer Optical Scanner Gearhead Applications Semiconductor Equipment: Stepper aligner, spincoater, dicing saw, turbo molecular pump, cleaning equipment, die bonder, equipment for test, inspection and high accuracy motion control including use in vacuum condition. Optical and Magnetic Disk Storage Equipment: Optical disk initializer, optical disk testing system, optical disk storage media certifiers. Digital Imaging Equipment: Laser scanner with mirror / polygons, high-end laser printer, image setter and other high performance spinning scanning products. Medical Equipment: High-speed dental micro grinder, ultrasonic diagnosis, artificial heart, X-ray instruments and centrifugal separater. Laser and Optical Equipment: Laser marker, laser scanner, optical measuring equipment, image processor, optical fiber splicing machine, laser microscope, optical connector equipment and electron microscope. Machine Tools, FA and Inspection Equipment: Robots, actuator, cardreader, high speed drilling machine, grinding machine, mirror polishing equipment, welding machine, contact lens lathers, 3-D measuring equipment and high speed winding machine. ※ 記載の製品内容は予告なく変更することがあります。ご不明な点がありましたらご連絡下さい。 Technical data and products are subject to change without notice. For further information, please contact us or our authorized agent at any time. 〒276-0047 千葉県八千代市吉橋1811 - 3 TEL.047(458)7935 FAX.047(458)7962 E-mail: [email protected] / http://ccj.citizen.co.jp/ 1811-3, Yoshihashi, Yachiyo, Chiba 276-0047, Japan Telephone : +81-47-458-7935 / Facsimile : +81-47-458-7962 E-mail: [email protected] / http://ccj.citizen.co.jp/ 2013. 07
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