2C1-1 不透明石英ガラスOM-100 Opaque Quartz Glass 独自の技術によって製造された、全く新しいタイプの高純度不透明石英ガラ スです。気泡を含有した従来品と異なり、特殊な微細構造によって、ほぼ完全 な不透明性と高密度を実現しています。 OM-100 is a new, high purity, opaque material produced by our new technology. The homogeneous opacity of OM-100 is induced by the unique material structure. Systematically produced micropores in the otherwise dense structure result in very low permeability to incident light and thermal radiation. 特 長 Features 用 途 高遮熱性: 全 波長 の光透過率は肉厚3mm の 場合1% 以下 縦型熱処理炉用のフランジ Optical properties: The direct spectral transmittance of OM-100 is below 1%, even at a path length as small as 3mm. 枚葉式熱処理炉用のフランジ Applications Flanges for the vertical furnace. Flanges for the furnace of the single wafer system. 高密度: 従来の不透明石英ガラスと比較して、高密度 2.18∼2.19g/cm3 High density: The density of OM-100 is 2.18-2.19g/cm3 純度および 耐熱性: 従来の天然石英ガラス並みの純度および耐熱性。 Purity and thermal stability: The purity and thermal stability of OM-100 are same as HX. 耐熱性 Thermal stability 純 度 Purity 1250℃での粘度(viscosity at 1250℃) Logη OM-100 HX HX-E 12.0 12.0 12.5 unit(ppm) Na K Li Al Fe Cu Ca Mg OM-100 0.2 0.4 0.6 15 0.2 <0.05 1.2 0.05 (本表の分析は、 規格値ではありません) お問い合わせ先:信越石英株式会社 第3事業部 TEL.03-3348-1911 FAX.03-3348-4919 For business contact:Shin-Etsu Quartz Products Co.,Ltd. Division-3
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