不透明石英ガラスOM-100 - 福井信越石英

2C1-1
不透明石英ガラスOM-100
Opaque Quartz Glass
独自の技術によって製造された、全く新しいタイプの高純度不透明石英ガラ
スです。気泡を含有した従来品と異なり、特殊な微細構造によって、ほぼ完全
な不透明性と高密度を実現しています。
OM-100 is a new, high purity, opaque material produced by our new technology.
The homogeneous opacity of OM-100 is induced by the unique material structure.
Systematically produced micropores in the otherwise dense structure result in very low
permeability to incident light and thermal radiation.
特 長 Features
用
途
高遮熱性:
全 波長 の光透過率は肉厚3mm の 場合1%
以下
縦型熱処理炉用のフランジ
Optical properties:
The direct spectral transmittance of OM-100 is
below 1%, even at a path length as small as 3mm.
枚葉式熱処理炉用のフランジ
Applications
Flanges for the vertical furnace.
Flanges for the furnace of the single wafer system.
高密度:
従来の不透明石英ガラスと比較して、高密度
2.18∼2.19g/cm3
High density:
The density of OM-100 is 2.18-2.19g/cm3
純度および 耐熱性:
従来の天然石英ガラス並みの純度および耐熱性。
Purity and thermal stability:
The purity and thermal stability of OM-100 are
same as HX.
耐熱性 Thermal stability
純 度
Purity
1250℃での粘度(viscosity at 1250℃)
Logη
OM-100
HX
HX-E
12.0
12.0
12.5
unit(ppm)
Na
K
Li
Al
Fe Cu Ca Mg
OM-100 0.2
0.4
0.6
15
0.2 <0.05 1.2 0.05
(本表の分析は、
規格値ではありません)
お問い合わせ先:信越石英株式会社 第3事業部 TEL.03-3348-1911 FAX.03-3348-4919
For business contact:Shin-Etsu Quartz Products Co.,Ltd. Division-3