シリコンウェーハケース包装用ガゼット袋 Gusset Pouches for Silicon Wafer Case Packaging 半導体シリコンウエハーの保管・輸送時に、ウェーハケースを包装するために使用するガゼットタイプの袋です。内部のクリーン度を保持するために、高いガス遮断性ならびに強度特性を有しています。製品には、内装用（透明ラミネート袋）、外装用（アルミラミネート袋）の２種類があります。特長 1. 複数の材質の異なるフィルムを積層したラミネートフィルムを用いており、特に外装用のアルミラミネート袋は、優れたガスバリヤ性能を有しています。 2. 各種袋の最内面となるポリエチレンには、袋自体からの汚染を防止するために、無添加ポリエチレンフィルムを使用しています。 3. クラス1000のクリーン度環境下で製袋されています。 4. ラミネート構成、ラミネート特性（強度など）、袋形態、寸法などは、ユーザー要求に応じて変更可能です。材質構成透明ラミネート：NY/PE/LDPE、PET/PE/PE-film アルミラミネート：NY/PE/AL/PE/LDPE、NY/D/NY/D/AL/PE/PE-film 注：NY：ナイロン（フィルム） PE：ポリエチレン PET：ポリエチレンテレフタレート AL：アルミ箔 LDPE：低密度ポリエチレン（フィルム） D：ドライラミネート一般特性項目単位引張り強度 N/15mm 突刺し強度 N 引張り伸度％ヒートシール強度酸素透過度透湿度 N/15mm ml/m2・day・atm g/m2・day 透明ラミネート MD TD 表裏 MD TD 92.9 86.0 13.2 14.0 142.5 134.5 51.7 59.1 7.1 アルミラミネート 110.5 133.0 22.5 20.4 115 105.8 72.7 検出限界以下検出限界以下注1：保証値ではありません注2：透明ラミネートはPET/PE/PE-film，アルミラミネートはNY/D/NY/D/AL/PE/PE-film 注3：シール条件は、圧力98kPa，時間1秒，温度140襄です。サイズ 4インチφから12インチφのウェーハ用ボックスまで対応できます。お問い合わせ先：信越フィルム株式会社 TEL.03-3259-1061 FAX.03-3259-1064 Contact:Shin-Etsu Film Co.,Ltd URL:http://www.shinetsu-film.co.jp