高純度用 一段式減圧弁 バルクガス用 AP9000 & AP9100 Series ¡高純度プロセスガスの供給ラインに最適 ¡入口側圧力 AP9000：最大11.7MPa AP9100：最大5.5MPa ¡流量範囲 AP9000：＜2000slpm AP9100：＜5000slpm ¡ボディ材質 SUS316L ¡タイドダイヤフラム構造 型式表示方法 ポート番号 AP9 0 10 S q w 2PW FV16 FV16 e シート材質 サイズ 記号 0 1 記号 材質 無記号 PCTFE（標準） VS べスペル® Cv値 3 4 圧力計表示注） 設定圧力 記号 10 15 30 記号 無記号 サイズ 0 1 0.034∼0.7MPa ● ● 0.034∼1.0MPa ● 2.1MPa（プリセット） ● 設定圧力範囲 MPA 記号 S 材質 SUS316L 内面粗さ ポート位置 e q w ポート数 2ポート 3ポート 記号 記号 表面粗さ Ra max 無記号 0.4μm M 0.25μm w 注）圧力計付を選択した 場合は"MPA"記号を つけてください。 ポート数 材質 q 2PW 3PW ゲージポート注） （出口側e） 圧力計 ゲージポートなし 圧力計なし 0 （継手：1/4フェースシール オス） V3 −0.1∼0∼0.2MPa L −0.1∼0∼0.4MPa 1 −0.1∼0∼0.7MPa H −0.1∼0∼1.1MPa 4 0∼3MPa 記号 無記号 配管接続方式（入口側q、出口側w） 記号 FV8 MV8 TW8 FV12 MV12 TW12 FV16 MV16 TW16 表示 適用なし MPa 配管接続方式 1/2フェースシール継手（メス） 1/2フェースシール継手（オス） 1/2チューブ溶接 3/4フェースシール継手（メス） 3/4フェースシール継手（オス） 3/4チューブ溶接 1フェースシール継手（メス） 1フェースシール継手（オス） 1チューブ溶接 注）圧力計について詳細は圧力計ガイド （P.88） をご参照ください。 品番記入例 2PW q w e Port AP9010S 2PW FV16 FV16 3PW FV16 FV16 H MPA 3PW qIN wOUT eOUT側ゲージポート 仕様 型式 設定圧力範囲 使用流体 入口側圧力範囲 保証耐圧力（入口側） 破壊圧力 周囲温度および使用流体温度 インボードリーク 外部リーク アウトボードリーク 内部リーク 内面粗さ 配管接続方式 ボンネットポート 圧力特性 内部容積 質量 AP9010 AP9030 AP9110 0.034∼0.7MPa 注1）入口側圧力5.5MPaのときの値です。入口/出口側圧力条件の変更も可能です。詳しくは当社にご確認ください。 注2）シート材質がベスペル®の場合、−10∼90℃となります。 注3）ベルジャ法（Heガス 入口側圧力2.1MPa）で測定。 注4）質量は目安であり、配管接続方式やオプションなどによって異なります。 22 AP9115 注1） 2.1MPa（プリセット） 0.034∼0.7MPa 0.034∼1.0MPa 接ガス部材質を腐食しないもの 真空∼11.7MPa 真空∼5.5MPa 真空∼1.7MPa 17.6MPa 46.9MPa （凍結なきこと） −40∼71℃注2） 2×10−11Pa・m3/sec 2×10−10Pa・m3/sec注3） 4×10−9Pa・m3/sec注3） Ra max 0.4μm または 0.25μm フェースシール継手、チューブ溶接 NPT1/8 入口側圧力0.7MPa降下で設定圧力0.026MPa上昇 入口側圧力0.7MPa降下で設定圧力0.038MPa上昇 197cm3 5.9kg注4） 高純度用 一段式減圧弁／バルクガス用 AP9000 & AP9100 Series 流量特性図 材質記号 S ボディ SUS316L 表面処理 電解研磨＋不動態化処理 ポペット ハステロイ® C-22 ハステロイ® C-22 ベローズ SUS316L ノズル PCTFE（オプション：べスペル® ） シート エルジロイ® ポペットスプリング ニッケル200注） （銀メッキ） ボンネットシール 注）AP9030の場合 SUS316（銀メッキ）となります。 AP9010 入口側圧力： 6.9MPa 1.4MPa 2.1MPa 0.52MPa 0.6 設定圧力（MPa） 外形寸法図 減圧弁 0.5 0.4 0.3 AP 0.2 SL 0.1 AP9000/9100 89 AZ 0 200 400 600 ø19 0.0 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 流量（slpm,N2） AP9030 入口側圧力： 4.1MPa 1.8 設定圧力（MPa） 最大284.5 1.6 1.4 1.2 1.0 0.8 0.6 0.4 136.7 HP 0.2 28.7 0.0 A AP9110 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 入口側圧力： 1MPa 0.52MPa 0.6 A 0.5 A 79.0 120.7 0.4 0.3 0.2 0.1 0.0 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 5000 フロースイッチ （mm） 設定圧力（MPa） 2×1/4-20 UNC 深8.9 （取付穴） 流量（slpm,N2） 92.5 技術資料／ 用語解説 120.7 99.6 120.7 共通注意事項 FV8 MV8 TW8 FV12 MV12 TW12 FV16 MV16 TW16 200 流量（slpm,N2） 38.1 配管接続方式 0 バキュームジェネレータ ø88.9 BP チェック弁 LP AK ダイヤフラムバルブ 2.0 ø101.6 推奨機種 接ガス部材質 ハステロイ® はヘインズインターナショナル社の登録商標です。 エルジロイ® はエルジロイ・スペシャリティ・メタルズ社の登録商標です。 ベスペル® はデュポン社の登録商標です。 23
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