防汚膜成膜装置 - オプトラン

OPTORUN CO.,LTD.
「薄膜ソリューションを提供するオプトラン」
防汚膜成膜装置
AS Vacuum Coating System
Gener-2350
Gener-2350
本装置は防汚膜
（AS 膜）に特化したスマートフォン・タッチパネル
Suitable for AS coating which is widely used in smart phones and
向けの大型光学薄膜形成装置です。
touch panels.
特長
FEATURES
■ドーム回転は磁気シール駆動による中心回転方式で安定且つ均一膜
■Excellent uniformity by the center drive substrate rotation system.
分布がえられます。
■RF ion source to enhance abrasion resistance (subject to more
■RF イオンソースの搭載により、膜の耐摩擦性が向上。
（4 万回以上の摩擦試験クリア *）
■防汚膜（AS 膜）を大量生産する事が可能。
* 摩擦試験の規格により、摩擦回数は異なることがあります。
Gener-2350 仕様
真空チャンバ
基板ドーム
基板ドーム回転速度
水晶式膜厚計
蒸発源
イオンソース
性能
到達圧力
排気時間
所要諸元
設置寸法
所要電力
所要冷却水流量
所要空気圧
本体重量
than forty thousand abrasion test*)
■Mass production for AS coating.
*The cycles of abrasion can be varied according to standard of
wear resistance test.
Specifications of Gener-2350
φ 2350mm × H1400mm
φ 2200mm, 5 分割式
20rpm
6 点式水晶モニタ
電子銃１基、抵抗加熱１基
RF イオンソース
7.0E-5Pa 以下
15 分以下 ( 大気圧～ 2.0 × 10-3Pa まで）
約 6300 (W) × 9000 (D) ×4000mm (H)
３相、200V、50/60Hz、約 80kVA
220 / 分以上
0.5 ～ 0.7MPa
約 12000kg
Chamber Size
Substrate Dome
Max. Dome Rotation Speed
Crystal Film Thickness Monitor
Evaporation Source
One unit of
Ion Source
PERFORMANCE
Ultimate Pressure
Pumping Speed
φ 2350mm × H1400mm
φ 2200mm, Five-sectional
20rpm
6-point Crystal flim monitor
EB source, One unit of Resistance heater
RF Ion Source
7.0E-5Pa or lower
15 min (from atmospheric pressure to 2.0×10-3Pa）
UTILITY REQUIREMENTS
Installation Space
Power Source
Minimum Water Flow
Air Pressure
Weight
6300 (W) ×9000 (D) ×4000mm (H)
3-phase, 200V, 50/60Hz, 80kVA, approx.
220 /min
0.5 - 0.7 MPa
12000kg, approx.
Abrasion resistance test of AS coating
Contact Angle (degree)
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The abrasion resistance is more than 40,000 times,
the contact angle is kept >100 degrees!
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Abrasion times (Steel Wool #0000, size 1cm × 1cm, 1 kg weight)
Gener-2350
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