45678 設計、製造および品質設計能⼒太陽電池応⽤エンジニアリングチームの機械および材料エンジニアが、お客様およびグリーン，ツィード社内製造向けに設計指針を提供します。お客様のニーズに対応した複雑な部品を製造する際は、ポリマー材料、無機材料、セラミック、⽯英、カーバイド、サファイアの各専⾨家が設計をサポートします。当社の専⾨家はお客様の設計技術者、応⽤エンジニア、資材部と緊密に連絡を取り合って、お客様のご要望に合う信頼性と費⽤効率の⾼い部品を設計製造します。また故障解析も⾏っています。 One Source. Countless Solutions. (1社で無数のソリューション) ⽯英、サファイア、およびセラミック設計ツール⼀般的に使⽤されているSolidWorks (ソリッドワークス) などの設計ソフトの他にも様々なツールを使⽤して性能解析を⾏います。3次元モデリングによりコンポーネントの組⽴やお客様のシステムへの取り付けに問題がないことを確認してから製造を開始します。材料がストレスを受ける場合は、FEA (有限要素分析) モデリングを使⽤してストレスの度合いを評価し、考えられる故障モードを特定します。これは、コンポーネントのダイナミックモード解析とストレス上限評価に特に有効です。 FEA（有限要素分析）当社ブランドの約束世界クラスの企業として、グリーン，ツィード社は以下の分野で競合他社からの差別化を図ります：製造技術グリーン，ツィード社は、様々な製造プロセスとツールを使⽤して、樹脂やエラストマーを基材とした部品を製造しています。当社の成形技術は、エラストマーと樹脂の圧縮成形、静⽔圧成形、射出成形、並びにネット、プレート、コンプレックス輪郭圧縮、および樹脂繊維配置、コンポジット⽤のTechna3™ (テクナ3) があります。グリーン，ツィード社は⾦属、樹脂、セラミックの加⼯も可能です。また、製品の機能性を⾼めるために様々な材料を接合した「ハイブリッド」コンポーネントも製造しています。太陽電池関連装置で使⽤する部品はクリーンルームで製造しています。クリーンルーム品質検査 · 製品およびビジネスソリューションを提供するための各⽤途環境、業界の動向、インダストリアルダイナミックス（産業ビジネスサイクルの分析)とインフルエンサー（商品選択に多⼤な影響を与える⼈）、お客様のビジネスプロセスへの深い理解 · 各⽤途の必要条件全てを満たす最適なソリューションの提供を実現するポリマー、酸化物、炭化物の各素材技術の幅広い専⾨知識 · お客様の期待に応えるだけに留まらず、卓越したソリューションの提供に尽⼒する社員 · 世界各地における現地技術サポートグローバル対応品質と検証当社が提供する商品： · 全システムを最適化するカスタマイズされたコンポーネントグリーン，ツィード社は、ISO 9001とAS 9100の両⽅の認定を受けています。部品の品質証明には、樹脂とエラストマーのCMM測定とテストラボおよび全ての材料の機械特性の測定試験が含まれます。また、プラズマテストラボではプラズマや関連する化学薬品に対する耐性を全ての材料について試験しています。グリーン，ツィード社は、お客様と協⼒して個別のニーズに確実かつ効果的にお応えします。⾼機能材料とカスタマイズされたコンポーネントの設計製造リーダーとして、様々な市場と製品の専⾨知識を深め、お客様の厳しい⽤途条件に応える⾰新的で費⽤効率の⾼いソリューションを提供します。また、他業界で培ってきた技術やアイデアを太陽電池、FPD、半導体の各業界にも応⽤しています。グリーン，ツィード社は全製造システムを最適化するカスタマイズされたコンポーネントをご提供します。140年以上の歴史を持つ当社は、ボンディングおよびコーティング技術を有機および無機間接材と⼀体化させた製品から、お客様に数多くの⾰新的なソリューションをご紹介しています。当社は、半導体、FPD、太陽電池から航空産業、油⽥掘削、⽯油化学の業界の専⾨技術を有します。製造装置の信頼性を確実にする材料とコンポーネントにより、太陽電池業界を⽀援しています。当社のリソースと技術⼒をプロセス環境の改善、製造コストを抑えて製品性能を向上に注⼒しています。 · 営業所：アメリカ、アジア、ヨーロッパ各地 · 製造拠点：⽶国、イギリス、台湾 · 技術センター：⽶国、⽇本、スイスコンポーネント構造をすぐに視覚化し、形状と取り付け具合を評価し、試作品を提供するため、グリーン，ツィード社は独⾃の3次元⾼速試作システムを使⽤してわずか数時間でCAD設計データからABS樹脂部品を作製できます。グローバル対応グリーン，ツィード社 Inside Advantage の詳細については当社ウェブサイトwww.gtweed.com をご参照下さい。当社の強み： · 業界知識 · 材料の専⾨知識 · 意欲に満ちた社員 · 各地でのサポートを可能にするグローバルリソースお客様に提供する利点： · お客様の市場競争⼒の強化 · 総システム費⽤の削減お問合せ先 www.gtweed.co.jp Statements and recommendations in this publication are based on our experience and knowledge of typical applications of this product and shall not constitute a guarantee of performance nor modify or alter our standard warranty applicable to such products. All trademarks are property of their respective owners. Greene, Tweed is an Equal Opportunity Employer © 2009, Greene, Tweed 05/09-GT BR-JP-SC-002 45678 グリーン，ツィードアンドカンパニージャパン株式会社セミコンダクター Tel: +81 (0) 3.3454.3564 Fax: +81 (0) 3.3454.1040 www.gtweed.co.jp 市場展望と太陽電池製品の特⻑製品市場展望製品グリーン，ツィード社は太陽電池の製造プロセスと関連製造装置に注⽬しています。以下の太陽電池製造向けソリューションがあります： · 結晶シリコンウェハーを材料とする太陽電池 · アモルファスおよびアモルファス微細結晶シリコン材料 · CIGSを例とする薄膜フィルムの各種組み合わせまた、⾼効率III-V族化合物技術の要求についてもLED製造の経験から培われた知識を通じて取り組んでいます。 · Gytilon® (ジティロン)：プロセスチャンバースペーサーの電気絶縁材料や材料搬送ローラーとして使⽤可能な丈夫で耐熱性を有する半結晶性樹脂です。 300°C以上の⾼温に耐えることができます。プロセスチャンバー内でのリフトピンや関連サポートに最適で、表⾯を傷つけません。 · Avalon® (アバロン)：⽔溶性化学環境⽤途で幅広く使⽤できる⾼機能の強化 PTFE材料で、コーティングや表⾯処理により疎⽔性の調整が可能です。純材料から強化材料まで、様々な等級と形状の素材があります。間接材料多様な太陽電池製造プロセスにおいて、グリーン，ツィード社がご提供するソリューションと材料は下表の通りです。技術基盤材料技術/ソリューション結晶シリコン薄膜 a-a微細結晶基板搬送樹脂ローラー、トレー、エンドエフェクター、ベアリング樹脂ローラー、アライナー基板洗浄湿式化学樹脂とシールプラズマ洗浄システムコンポーネント光電気混載フィルム · ドーパント混⼊ · ドーパント活性化/拡散 · 活性フィルム蒸着 · 活性フィルム活性化導体蒸着電気メッキシルクスクリーニング最終アニール処理カプセル化⽯英ウェハーホルダー、スピナーチャック⾮適⽤⽯英チャンバー、ウェハーチャック⾮適⽤⾮適⽤⾮適⽤ PECVDシステム部品⾮適⽤⾮適⽤ RTAシステム部品 PVDコンポーネント、シール、シールド、ウェハーチャックウェハーホルダー⾮適⽤ Avalon® ローラー、スキージ RTA（急速アニール処理）システム部品 Avalon ローラー、シール基礎プロセスチャンバー構造チャンバー雰囲気制御電⼒/信号伝達のぞき窓コンポーネント熱制御エラストマーシールマルチピンフィードスルー、真空タイト⽯英、サファイア薄膜熱伝導性フィルムリフトピン/基板ホルダーサファイア、Gytilon® 樹脂、摩擦制御フィルム基板ヒーターセラミック、SiCヒーター、⽯英放射ヒーターグリーン，ツィード社は直径300mmまでの円形ウェハー、⻑⽅形ウェハー、正⽅形ウェハー、および薄膜電池製造⽤の第 8.5世代レベルの基板（2.2m x 2.5m）に対応した様々なサイズの部品を製造する技術があります。部品の製造時のみならずクリーンルーム内での直接取り付けを⽬的とした部品のパッケージ前の洗浄もクリーンルームで⾏います。また、スリットバルブドア⽤の⼤形のExtensis® (イクステンシス) シールを製造することもできます。Extensisシールは独⾃の製造プロセスにより、どのようなデザインやサイズでも製造可能です。製品の特⻑グリーン，ツィード社は⻑年の技術⾰新の実績があり、これからも⾼機能材料の開発を推進していきます。当社はお客様と協⼒して個々の⽤途に最適なソリューションをお届けします。当社の技術者と化学者が⼀丸となり⾰新的な新素材の研究開発に絶えず努めています。また、ダイキン⼯業株式会社との提携により、耐⾷性と耐熱性に優れたエラストマー素材を開発するためのリソースを増強し、開発からご提供するまでの時間を短縮すべく努⼒しています。ベータ試験から試作を通して、厳しい環境に耐え得る⾼品質の製品をお客様に提供します。 2 www.gtweed.co.jp Gytilon® · Chemraz® (ケムラッツ)：様々な腐⾷性薬品への耐性と優れた化学的適合性を有するエラストマーコンパウンドです。ChemrazはPECVDプロセスで優れた耐プラズマ性を⺬し、所有コストを低減します。Chemrazはシール寿命を延⻑し、薄膜CIGS太陽電池のセレン化または硫化プロセスで優れた耐薬品性を発揮します。 · セラミック：様々な熱および電気特性を有する酸化物、窒化物、炭化物の各セラミックを幅広く⽤意しています。セラミックは耐熱性と物理特性に優れるため、スペーサー、プロセスチャンバー、ガス注⼊ノズル、RF回路コンポーネントなどの多くの⽤途に使⽤できます。コラボレーション Chemraz® XRZ · Enduro™ (エンデュロ) コーティング：材料特性を改善するためにいくつかのコーティングが開発されています。例えば、LF10コーティングは、どのような基材にも低温塗布可能で、材料の表⾯を疎⽔性にすることで湿潤と摩擦を低減します。セラミック · ⽯英：プロセスチャンバー、膜蒸着前駆体の供給、放射ヒーター（特に⾼純度が必要な場合）などに広く使⽤される⼀般的な耐熱素材で、⾼度製造技術を⽤いた複雑な部品構成にも使⽤されます。のぞき窓、熱制御リング、RF回路などにも使⽤されます。 · サファイア：機器コンポーネント⽤の新素材です。サファイアは気体プラズマ中のフッ素に対して⾼い耐性を持ち、パターン化基板やブランケット基板の洗浄やエッチングあるいはプロセスチャンバーによく使⽤されます。また、強度が⾼いので摩耗が少なくリフトピンに最適です。 VorazTM · シリコンカーバイド：優れた機械特性をもつ純度の⾼い耐熱素材です。ヒーターやガス供給シャワーヘッドなどの基板に接触するコンポーネントに適しています。湿式化学⽤途に使⽤しても剛性を失わないので基板ホルダーにも適しています。腐⾷性の気体プラズマ雰囲気中でも優れた耐⾷性を⺬します。 · Voraz™ (ボラッツ)：⾼いプラズマ耐性と低粘着性を⺬すエラストマーコンパウンドです。Vorazはプロセスチャンバーの効率を⾼め、ツール使⽤を最⼤限に引き出し、製造装置の稼働時間を改善します。特許申請中のExtensis® (イクステンシス) プロセスにより、第5世代以上の装置のスリットバルブドアやチャンバーリッド向けの⼤型カスタムシールの提供が可能です。⽯英サファイア · XactaPak™ (ザクタパック) ガスケット：装置コンポーネント間の熱伝導および導電性を⾼めるガスケットで、0.5 ∼2mm (厚さ) の様々なサイズがあります。 · Xycomp® (ザイコンプ)：耐薬品性、耐衝撃性、加⼯性、強靭性の全てを兼ね備えた⾼機能コンポジット構造材料です。プロセスチャンバーや電気メッキシステム内の搬送または位置決めコンポーネントに最適で、⻑年にわたって精密な位置決めを保証します。 XactaPak™ ガスケット www.gtweed.co.jp 3 市場展望と太陽電池製品の特⻑製品市場展望製品グリーン，ツィード社は太陽電池の製造プロセスと関連製造装置に注⽬しています。以下の太陽電池製造向けソリューションがあります： · 結晶シリコンウェハーを材料とする太陽電池 · アモルファスおよびアモルファス微細結晶シリコン材料 · CIGSを例とする薄膜フィルムの各種組み合わせまた、⾼効率III-V族化合物技術の要求についてもLED製造の経験から培われた知識を通じて取り組んでいます。 · Gytilon® (ジティロン)：プロセスチャンバースペーサーの電気絶縁材料や材料搬送ローラーとして使⽤可能な丈夫で耐熱性を有する半結晶性樹脂です。 300°C以上の⾼温に耐えることができます。プロセスチャンバー内でのリフトピンや関連サポートに最適で、表⾯を傷つけません。 · Avalon® (アバロン)：⽔溶性化学環境⽤途で幅広く使⽤できる⾼機能の強化 PTFE材料で、コーティングや表⾯処理により疎⽔性の調整が可能です。純材料から強化材料まで、様々な等級と形状の素材があります。間接材料多様な太陽電池製造プロセスにおいて、グリーン，ツィード社がご提供するソリューションと材料は下表の通りです。技術基盤材料技術/ソリューション結晶シリコン薄膜 a-a微細結晶基板搬送樹脂ローラー、トレー、エンドエフェクター、ベアリング樹脂ローラー、アライナー基板洗浄湿式化学樹脂とシールプラズマ洗浄システムコンポーネント光電気混載フィルム · ドーパント混⼊ · ドーパント活性化/拡散 · 活性フィルム蒸着 · 活性フィルム活性化導体蒸着電気メッキシルクスクリーニング最終アニール処理カプセル化⽯英ウェハーホルダー、スピナーチャック⾮適⽤⽯英チャンバー、ウェハーチャック⾮適⽤⾮適⽤⾮適⽤ PECVDシステム部品⾮適⽤⾮適⽤ RTAシステム部品 PVDコンポーネント、シール、シールド、ウェハーチャックウェハーホルダー⾮適⽤ Avalon® ローラー、スキージ RTA（急速アニール処理）システム部品 Avalon ローラー、シール基礎プロセスチャンバー構造チャンバー雰囲気制御電⼒/信号伝達のぞき窓コンポーネント熱制御エラストマーシールマルチピンフィードスルー、真空タイト⽯英、サファイア薄膜熱伝導性フィルムリフトピン/基板ホルダーサファイア、Gytilon® 樹脂、摩擦制御フィルム基板ヒーターセラミック、SiCヒーター、⽯英放射ヒーターグリーン，ツィード社は直径300mmまでの円形ウェハー、⻑⽅形ウェハー、正⽅形ウェハー、および薄膜電池製造⽤の第 8.5世代レベルの基板（2.2m x 2.5m）に対応した様々なサイズの部品を製造する技術があります。部品の製造時のみならずクリーンルーム内での直接取り付けを⽬的とした部品のパッケージ前の洗浄もクリーンルームで⾏います。また、スリットバルブドア⽤の⼤形のExtensis® (イクステンシス) シールを製造することもできます。Extensisシールは独⾃の製造プロセスにより、どのようなデザインやサイズでも製造可能です。製品の特⻑グリーン，ツィード社は⻑年の技術⾰新の実績があり、これからも⾼機能材料の開発を推進していきます。当社はお客様と協⼒して個々の⽤途に最適なソリューションをお届けします。当社の技術者と化学者が⼀丸となり⾰新的な新素材の研究開発に絶えず努めています。また、ダイキン⼯業株式会社との提携により、耐⾷性と耐熱性に優れたエラストマー素材を開発するためのリソースを増強し、開発からご提供するまでの時間を短縮すべく努⼒しています。ベータ試験から試作を通して、厳しい環境に耐え得る⾼品質の製品をお客様に提供します。 2 www.gtweed.co.jp Gytilon® · Chemraz® (ケムラッツ)：様々な腐⾷性薬品への耐性と優れた化学的適合性を有するエラストマーコンパウンドです。ChemrazはPECVDプロセスで優れた耐プラズマ性を⺬し、所有コストを低減します。Chemrazはシール寿命を延⻑し、薄膜CIGS太陽電池のセレン化または硫化プロセスで優れた耐薬品性を発揮します。 · セラミック：様々な熱および電気特性を有する酸化物、窒化物、炭化物の各セラミックを幅広く⽤意しています。セラミックは耐熱性と物理特性に優れるため、スペーサー、プロセスチャンバー、ガス注⼊ノズル、RF回路コンポーネントなどの多くの⽤途に使⽤できます。コラボレーション Chemraz® XRZ · Enduro™ (エンデュロ) コーティング：材料特性を改善するためにいくつかのコーティングが開発されています。例えば、LF10コーティングは、どのような基材にも低温塗布可能で、材料の表⾯を疎⽔性にすることで湿潤と摩擦を低減します。セラミック · ⽯英：プロセスチャンバー、膜蒸着前駆体の供給、放射ヒーター（特に⾼純度が必要な場合）などに広く使⽤される⼀般的な耐熱素材で、⾼度製造技術を⽤いた複雑な部品構成にも使⽤されます。のぞき窓、熱制御リング、RF回路などにも使⽤されます。 · サファイア：機器コンポーネント⽤の新素材です。サファイアは気体プラズマ中のフッ素に対して⾼い耐性を持ち、パターン化基板やブランケット基板の洗浄やエッチングあるいはプロセスチャンバーによく使⽤されます。また、強度が⾼いので摩耗が少なくリフトピンに最適です。 VorazTM · シリコンカーバイド：優れた機械特性をもつ純度の⾼い耐熱素材です。ヒーターやガス供給シャワーヘッドなどの基板に接触するコンポーネントに適しています。湿式化学⽤途に使⽤しても剛性を失わないので基板ホルダーにも適しています。腐⾷性の気体プラズマ雰囲気中でも優れた耐⾷性を⺬します。 · Voraz™ (ボラッツ)：⾼いプラズマ耐性と低粘着性を⺬すエラストマーコンパウンドです。Vorazはプロセスチャンバーの効率を⾼め、ツール使⽤を最⼤限に引き出し、製造装置の稼働時間を改善します。特許申請中のExtensis® (イクステンシス) プロセスにより、第5世代以上の装置のスリットバルブドアやチャンバーリッド向けの⼤型カスタムシールの提供が可能です。⽯英サファイア · XactaPak™ (ザクタパック) ガスケット：装置コンポーネント間の熱伝導および導電性を⾼めるガスケットで、0.5 ∼2mm (厚さ) の様々なサイズがあります。 · Xycomp® (ザイコンプ)：耐薬品性、耐衝撃性、加⼯性、強靭性の全てを兼ね備えた⾼機能コンポジット構造材料です。プロセスチャンバーや電気メッキシステム内の搬送または位置決めコンポーネントに最適で、⻑年にわたって精密な位置決めを保証します。 XactaPak™ ガスケット www.gtweed.co.jp 3 45678 設計、製造および品質設計能⼒太陽電池応⽤エンジニアリングチームの機械および材料エンジニアが、お客様およびグリーン，ツィード社内製造向けに設計指針を提供します。お客様のニーズに対応した複雑な部品を製造する際は、ポリマー材料、無機材料、セラミック、⽯英、カーバイド、サファイアの各専⾨家が設計をサポートします。当社の専⾨家はお客様の設計技術者、応⽤エンジニア、資材部と緊密に連絡を取り合って、お客様のご要望に合う信頼性と費⽤効率の⾼い部品を設計製造します。また故障解析も⾏っています。 One Source. Countless Solutions. (1社で無数のソリューション) ⽯英、サファイア、およびセラミック設計ツール⼀般的に使⽤されているSolidWorks (ソリッドワークス) などの設計ソフトの他にも様々なツールを使⽤して性能解析を⾏います。3次元モデリングによりコンポーネントの組⽴やお客様のシステムへの取り付けに問題がないことを確認してから製造を開始します。材料がストレスを受ける場合は、FEA (有限要素分析) モデリングを使⽤してストレスの度合いを評価し、考えられる故障モードを特定します。これは、コンポーネントのダイナミックモード解析とストレス上限評価に特に有効です。 FEA（有限要素分析）当社ブランドの約束世界クラスの企業として、グリーン，ツィード社は以下の分野で競合他社からの差別化を図ります：製造技術グリーン，ツィード社は、様々な製造プロセスとツールを使⽤して、樹脂やエラストマーを基材とした部品を製造しています。当社の成形技術は、エラストマーと樹脂の圧縮成形、静⽔圧成形、射出成形、並びにネット、プレート、コンプレックス輪郭圧縮、および樹脂繊維配置、コンポジット⽤のTechna3™ (テクナ3) があります。グリーン，ツィード社は⾦属、樹脂、セラミックの加⼯も可能です。また、製品の機能性を⾼めるために様々な材料を接合した「ハイブリッド」コンポーネントも製造しています。太陽電池関連装置で使⽤する部品はクリーンルームで製造しています。クリーンルーム品質検査 · 製品およびビジネスソリューションを提供するための各⽤途環境、業界の動向、インダストリアルダイナミックス（産業ビジネスサイクルの分析)とインフルエンサー（商品選択に多⼤な影響を与える⼈）、お客様のビジネスプロセスへの深い理解 · 各⽤途の必要条件全てを満たす最適なソリューションの提供を実現するポリマー、酸化物、炭化物の各素材技術の幅広い専⾨知識 · お客様の期待に応えるだけに留まらず、卓越したソリューションの提供に尽⼒する社員 · 世界各地における現地技術サポートグローバル対応品質と検証当社が提供する商品： · 全システムを最適化するカスタマイズされたコンポーネントグリーン，ツィード社は、ISO 9001とAS 9100の両⽅の認定を受けています。部品の品質証明には、樹脂とエラストマーのCMM測定とテストラボおよび全ての材料の機械特性の測定試験が含まれます。また、プラズマテストラボではプラズマや関連する化学薬品に対する耐性を全ての材料について試験しています。グリーン，ツィード社は、お客様と協⼒して個別のニーズに確実かつ効果的にお応えします。⾼機能材料とカスタマイズされたコンポーネントの設計製造リーダーとして、様々な市場と製品の専⾨知識を深め、お客様の厳しい⽤途条件に応える⾰新的で費⽤効率の⾼いソリューションを提供します。また、他業界で培ってきた技術やアイデアを太陽電池、FPD、半導体の各業界にも応⽤しています。グリーン，ツィード社は全製造システムを最適化するカスタマイズされたコンポーネントをご提供します。140年以上の歴史を持つ当社は、ボンディングおよびコーティング技術を有機および無機間接材と⼀体化させた製品から、お客様に数多くの⾰新的なソリューションをご紹介しています。当社は、半導体、FPD、太陽電池から航空産業、油⽥掘削、⽯油化学の業界の専⾨技術を有します。製造装置の信頼性を確実にする材料とコンポーネントにより、太陽電池業界を⽀援しています。当社のリソースと技術⼒をプロセス環境の改善、製造コストを抑えて製品性能を向上に注⼒しています。 · 営業所：アメリカ、アジア、ヨーロッパ各地 · 製造拠点：⽶国、イギリス、台湾 · 技術センター：⽶国、⽇本、スイスコンポーネント構造をすぐに視覚化し、形状と取り付け具合を評価し、試作品を提供するため、グリーン，ツィード社は独⾃の3次元⾼速試作システムを使⽤してわずか数時間でCAD設計データからABS樹脂部品を作製できます。グローバル対応グリーン，ツィード社 Inside Advantage の詳細については当社ウェブサイトwww.gtweed.com をご参照下さい。当社の強み： · 業界知識 · 材料の専⾨知識 · 意欲に満ちた社員 · 各地でのサポートを可能にするグローバルリソースお客様に提供する利点： · お客様の市場競争⼒の強化 · 総システム費⽤の削減お問合せ先 www.gtweed.co.jp Statements and recommendations in this publication are based on our experience and knowledge of typical applications of this product and shall not constitute a guarantee of performance nor modify or alter our standard warranty applicable to such products. All trademarks are property of their respective owners. Greene, Tweed is an Equal Opportunity Employer © 2009, Greene, Tweed 05/09-GT BR-JP-SC-002 45678 グリーン，ツィードアンドカンパニージャパン株式会社セミコンダクター Tel: +81 (0) 3.3454.3564 Fax: +81 (0) 3.3454.1040 www.gtweed.co.jp